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SiC 関係の注目記事
学会誌に掲載された記事は青色で表示しています。

掲載
予定
題 目発表社情報源キーポイント 分類
番号
2011年 3月号炭化ケイ素(SiC)製ナノものさしがNITEの標準物質DBに登録関西学院大日刊工業新聞
(2010年12月21日PP.20)
耐酸化性に優れ経年劣化しにくい
段差が0.5nmの標準物質が登録
SiC製
160
2008年 9月号グラフェン薄膜をSi基板に作製東北大日刊工業新聞
(2008年6月25日PP.22)
日経産業新聞
(2008年6月25日PP.11)
厚さ80nmの炭化ケイ素の薄膜作製
熱処理
電子移動度数万cm2/Vs
120
160
2008年 3月号世界初のトレンチ型SiC MOSFETと大電流容量を実現したSiC SBDローム電波新聞
(2007年12月21日PP.1)
1cm角で300A
900V耐圧
オン抵抗2mΩcm2
JFET抵抗
SBD逆方向耐圧660V
160
220
2007年 4月号Siチップ上での光データ通信の速度遅延方法米IBM電波新聞
(2007年1月3日PP.2)
最大100個の小型リングを縦接続した共振器を構築する光遅延線
既存のSiCMOS製造ツール利用可
240
340
2005年 3月号SiCを用いた低抵抗パワーMOSFET三菱電機電波新聞
(2004年12月17日PP.2)
耐圧1.2kV
電流1Aでオン抵抗率12.9mΩcm2
チャンネルエピタキシャル成長層形成技術
単位セル25×25μm
チャネル長2μm
160
220
2001年 5月号内部抵抗1/10のトランジスタ電総研日経産業新聞
(2001年3月19日PP.11)
SiCトランジスタ
MOSFET
1kV-1mΩ
220
2001年 5月号最高移動度と最小抵抗実現のSiC素子電総研
新機能素子研究開発協会
(FED)
日刊工業新聞
(2001年3月16日PP.7)
チャネル移動度140cm2/Vs
4H-SiC-MOSFET
エンハンスメント形
ソースドレインのシート抵抗38Ω
220
2001年 1月号SiCパワー素子松下電器電波新聞
(2000年11月22日PP.1)
SiCパワー素子
DACFET
ナノ制御δドープ層状構造
113cm2/Vs
220
2001年 1月号SiCパワー素子松下電器電波新聞
(2000年11月22日PP.1)
SiCパワー素子
DACFET
ナノ制御δドープ層状構造
113cm2/Vs
220
1999年12月号炭化シリコンFETを試作京大日刊工業新聞
(1999年10月11日PP.5)
チャネル移動度95.9c /V/s
c面->a面で移動度15〜17倍
4H-SiCと6H-SiCで確認
220
1996年 7月号X線露光用マスク
-表面平らで高純度-
NTT日経産業新聞
(1996年5月23日PP.5)
炭化ケイ素160
1996年 6月号青色半導体レーザの新製造
-基板に炭化ケイ素利用-
富士通研日経産業新聞
(1996年4月18日PP.5)
青色レーザ
炭化ケイ素
SiC基板
高性能レーザ反射面
AlNでバッファ層形成
GaNレーザ
半導体レーザ
製造技術
250
260
1996年 4月号光通信の信号処理用IC
-SiCMOSで作製-
NEC日経産業新聞
(1996年2月16日PP.5)
光通信
Si
LSI
CMOS
MUX/DEMUX
3Gbps
220
240
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