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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
ME, JSPE-IAIP
(共催)
2022-09-02
13:10
ONLINE オンライン開催 3パスSAR 強度画像を用いた地表面の3次元計測と性能評価
山崎祐輝伊藤康一青木孝文東北大)・上本純平情通機構
 [more] ME2022-76
pp.15-18
IST 2021-03-26
09:25
東京 オンライン開催 プラズマプロセスにより形成される3次元欠陥分布が暗電流特性に及ぼす影響評価
佐藤好弘山田隆善西村佳壽子山崎雅之村上雅史パナソニック)・占部継一郎江利口浩二京大
半導体集積回路の製造工程にはプラズマプロセスが広く用いられている.プラズマ処理中には入射イオンによるダメージにより被加工... [more] IST2021-9
pp.5-8
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