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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
IST 2013-03-22 東京 NHK放送技術研究所 CMOS-MEMS技術を用いたファブリ・ペロー干渉計による非標識タンパク質センサ
小澤 遼高橋一浩大山泰生二川雅登太斎文博石田 誠澤田和明豊橋技科大
本研究では,超高感度に表面応力の検出が可能なファブリ・ペロー型MEMSセンサと信号処理回路の集積化プロセス技術の開発を行... [more]
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