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研究会
発表日時
開催地
タイトル・著者
抄録
資料番号
IST
2021-03-26
09:25
東京
オンライン開催
プラズマプロセスにより形成される3次元欠陥分布が暗電流特性に及ぼす影響評価
○
佐藤好弘
・
山田隆善
・
西村佳壽子
・
山崎雅之
・
村上雅史
（
パナソニック
）・
占部継一郎
・
江利口浩二
（
京大
）
半導体集積回路の製造工程にはプラズマプロセスが広く用いられている．プラズマ処理中には入射イオンによるダメージにより被加工...
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IST2021-9
pp.5-8
BCT
,
KYUSHU
,
IEEE-BT
,
IEEE-AP-S-FUKUOKA
(共催)
2020-01-23
14:30
鹿児島
宝山ホール（鹿児島市山下町5-3）
長方形DGSを装荷した平面型低損失Magic-Tの設計
○
中原弘貴
・
田中高行
・
豊田一彦
（
佐賀大
）
本稿では，接地導体を意図して構造的に削除する技術であるDGS（Defected Ground Structure）を用い...
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BCT2020-5
pp.17-20
IST
,
CE
(共催)
2012-03-30
東京
機械振興会館
低Noise/高飽和電荷量CMOS Image Sensorの開発
○
糸長総一郎
・
水田恭平
・
片岡豊隆
・
池田晴美
・
柳田将志
・
石渡弘明
・
田中裕介
・
若野寿史
・
的場義久
・
大石哲也
・
山本 亮
・
荒川伸一
・
小町 潤
・
勝俣幹生
・
渡邉慎也
（
ソニー
）
PD領域のSi基板をエッチングしない画素専用素子分離(FLAT isolation)と専用トランジスタ(FLAT tra...
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