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製造加工技術他素子 関係の注目記事
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予定
題 目発表社情報源キーワード 分類
番号
2017年 8月号3次元MRAM 積層プロセス開発産総研日刊工業新聞
(2017年5月17日PP.29)
CMOS形成ウェハとTMR薄膜ウェハを別々に形成後圧着230
260
2017年 5月号縦型トランジスタ積層湘南工科大日刊工業新聞
(2017年2月24日PP.25)
パターン面積10-20%小さく
製造コスト30%以下
220
260
2016年 9月号計算科学で新物質合成
新たなLED開発の礎に
レアメタルを使わない赤色発光半導体

http://www.titech.ac.jp/news/2016/035528.html
東工大など日経産業新聞
(2016年6月22日PP.8)
日刊工業新聞
(2016年6月22日PP.31)
マテリアルズ・インフォマティクス
コンピュータ利用
新物質合成
窒化カルシウム亜鉛
窒素の3元素で構成
希少元素を使わない赤色発光半導体
230
250
260
2016年 6月号有機半導体動作速度2倍

http://www.toray.co.jp/news/it_related/detail.html?key=DA8EA1B0DF6BA34349257f8000172E84?OpenDocument
東レ日経産業新聞
(2016年3月24日PP.10)
有機半導体
カーボンナノチューブ
動作速度2倍
フィルムに印刷
260
220
2016年 3月号ICの指紋で偽造防ぐ

http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2015/pr20151207/pr20151207.html
産総研日刊工業新聞
(2015年12月7日PP.17)
ICの指紋
ICチップの作成時に自然に発生する性能の違いを利用してチップに固有の番号をつける技術
認証性能3倍以上
220
260
620
2015年11月号「フォトニック結晶ナノ光ファイバ」の二つの作製方法を開発電通大
石原産業
日刊工業新聞
(2015年8月18日PP.17)
フェムト秒レーザを用いてナノファイバ自身に光共振器を形成
外部回折格子を接触させることで光共振器機能を組込む方法
光子機能を制御
240
260
2015年10月号1500度Cでも耐酸化 SiCセラ複合材料京大日刊工業新聞
(2015年7月30日PP.31)
SiCセラミックス
曲げ強度
耐酸化1500度
260
2015年 9月号組成後も書き換え可能
分子回路部品を開発

http://www.titech.ac.jp/news/2015/031658.html
東工大
東大
日刊工業新聞
(2015年6月22日PP.16)
電子回路を組んだ後でも回路部品の機能を入れ替えられる素子を一つの有機分子で実現,かご状分子と,その中に入れる分子の組合せで抵抗とダイオード,導線を作り分け120
220
260
2015年 9月号SiCウエハー ローム
6インチに大口径化
ローム電波新聞
(2015年6月30日PP.1)
シリコンカーバイドウエハー,大口径化260
2015年 8月号パワー半導体向けSiC単結晶膜
高速で製造
電中研など日刊工業新聞
(2015年5月13日PP.19)
直径150ミリ
膜厚10マイクロメートルのSiC単結晶膜を
一日当たり100枚。膜厚の均一性2%以下
不純物密度の不均一性4%以下
260
2015年 8月号強い光弱めるフィルム東京工業大学日経産業新聞
(2015年5月20日PP.8)
一定の強度以上の光だけを弱めるフィルム素材を開発260
2015年 2月号マイクロレンズアレイ用金型複合加工技術

http://www.sophia.ac.jp/jpn/info/news/2014/11/globalnews_1274/20141125?kind=0
上智大日刊工業新聞
(2014年11月25日)
マイクロレンズアレイ用の金型を切削とマイクロプレスで製作する複合加工技術,裸眼3D動画用MLA260
2015年 1月号半導体ダイヤモンドの高速成長法を開発金沢大学,アリオス,産総研日刊工業新聞
(2014年10月6日PP.20)
結晶の成長速度は1時間当たり100μm,球形チャンバー内で炭素をプラズマでラジカル状態まで活性化し,ダイヤモンドの種基板と反応させ結晶を成長させる,120
260
2014年12月号高導電性を持ち光透過性40%の銅薄膜の開発工学院大日刊工業新聞
(2014年9月10日PP.1)
膜厚40nm
常温常圧で溶液をガラス基板に塗布し熱処理で薄膜化する技術を開発。従来手法に比べ装置コストは1/200に。
120
260
2014年11月号リチウム電池の寿命を6倍以上に伸ばす新材料の開発京大
シャープ
日刊工業新聞
(2014年8月4日PP.18)
リン酸化鉄リチウム電池の充放電サイクルを25000回以上に
計算科学と合成実験を組み合わせた高速材料探索手法を確立
250
260
2014年11月号ナトリウムイオン電池の充電容量を5倍に高める技術の開発東京理科大日経産業新聞
(2014年8月4日PP.10)
黒リンをマイナス電極に使用
従来のハードカーボン使用時比5倍の充電容量を実現
レアメタルフリーの電池の可能性が高まる
260
250
2014年11月号パワー半導体の性能向東大日経産業新聞
(2014年8月5日PP.8)
パワー半導体の性能低下の原因になる不純物を1/3に減らす製造技術を開発。熱処理温度を高めた260
2014年11月号 LEDやレーザー用の新基板材料の開発東北大
福田結晶技術研究所
日経産業新聞
(2014年8月21日PP.10)
基板に使う結晶をSc
Al
Mgの酸化物から試作
結晶制作の炉内構造を見直し成功
サファイアに比べ結晶の欠陥を1/10に
直径2インチの結晶
250
260
110
2014年10月号厚さ1μmの薄型フィルムにトランジスタ回路印刷山形大日刊工業新聞
(2014年7月2日PP.19)
ガラス基板上に高分子の薄型フィルム(パリレン-C)を形成
インクジェット法で線幅5?mでトランジスタ回路を印刷
ガラスから電子回路を作製したフィルムを剥がす技術などを開発
260
2014年10月号曲がる透明誘電フィルム東工大日経産業新聞
(2014年7月28日PP.14)
アルミの蒸着フィルムを使用
高分子繊維を貼り付けアルカリ性溶液に浸すだけで製造可能
250
260
2014年 9月号半導体チップを低コストで積層する技術の開発慶応大日経産業新聞
(2014年6月12日PP.7)
磁力線を使いプロセッサやメモリーを磁力線により非接触接続
製造コスト40%減
低消費電力
44GB
220
260
2014年 9月号常温大気中で金属接合 産総研日刊工業新聞
(2014年6月27日PP.22)
MEMS
封止材の歪み防止
表面粗さ0.8nrmsの金メッキパターンを作成
160
260
2014年 7月号透明基板上にCNTで回路形成名大日経産業新聞
(2014年4月16日PP.10)
配線パターンを形成したポリフッ化ビニリデン製シートを原版とする
CNTを透明基板に転写
ITOの代替
樹脂シートに溝を作りCNTを振りかけて転写
160
260
2014年 4月号印刷で高速かつ大面積なTFTシートJAPERA
NEDO
日刊工業新聞
(2014年1月29日PP.1)
真空装置不要
省設備化
露光装置不要
厚さ50μmのPENフィルム
縦300mm横400mmのTFTアレイシートを8時間で作成
アモルファスシリコンと同程度の性能
220
260
2014年 3月号より低電圧で動作するトンネルFET東大日経産業新聞
(2013年12月18日PP.6)
日刊工業新聞
(2013年12月27日PP.13)
Znの拡散による不純物分布を持つ新型接合技術
動作電圧0.3V
接合部にZn拡散
従来の1/3の電圧で動作
220
260
120
2014年 2月号触媒使用率を減らせる剣山型構造理研
九大
日経産業新聞
(2013年11月25日PP.10)
触媒量を数万分の一
φ100nm
長さ数μm
Pd粒子を付着
0.49ppmで反応
260
2013年12月号有機半導体を微細加工する露光技術など富士フイルム
ベルギーImec
日経産業新聞
(2013年9月27日PP.9)
線幅0.5μmまで加工
非フッ素系レジスト
365nmのi線による露光技術により製造
160
260
2013年 9月号多層グラフェンを用いた微細配線の作成技術産総研日刊工業新聞
(2013年6月18日PP.23)
250℃で1cm2当たり1000万Aという高密度電流を流しても150時間通電可能
抵抗率9.1μΩcm
Cu同等
260
120
2013年 8月号非磁性金属に磁気抵抗効果東北大日刊工業新聞
(203年5月17日PP.21)
220
260
2013年 7月号高精度超音波を発振する半導体素子NTT日経産業新聞
(2013年4月19日PP.10)
MEMS応用
GaAs
85μm×1.4μm×250μm
セーザー
温度2.5Kで2.52MHz(バラツキ70Hz)を入力し174kHz(バラツキ0.08Hz)で発振
220
260
2013年 6月号周波数揺らぎ100万分の1の振動子NTT日刊工業新聞
(2013年3月19日PP.29)
長さ250μm・幅85μm・厚さ1.4μmの板バネ
SASER
フォノンレーザ
MEMS
レーザ応用
水晶振動子置換え
260
250
160
2013年 4月号EBG構造によるアンテナへの電磁ノイズ抑制NEC日刊工業新聞
(2013年1月17日PP.27)
プリント基板内層にEBG構造
特定周波数を遮断
EBGにメタマテリアル
2.1mm角のユニットセル
240
260
2012年12月号高分子材料だけの太陽電池で変換効率2.7%京大
住友化学
日刊工業新聞
(2012年9月13日PP.21)
フルオレン
分子量大きい高分子材採用
250
260
2012年11月号熱電素子併用し太陽電池の効率を5割向上名大
中国電子科技大
日経産業新聞
(2012年8月17日PP.5)
太陽電池の下に熱電素子を張り合わせる
複合材を挟むと発電効率13.8%
色素増感型
250
260
2012年10月号プローブを使った半導体描画技術東芝
技術研究組合BEANS研究所
東大
日刊工業新聞
(2012年7月10日PP.23)
回路線幅50nmの微細加工が可能
プローブの先端に庇部と接触部を設けた新構造
260
360
2012年10月号ガラス表面のレーザー加工技術産総研
YEデータ
埼玉県産業振興公社
日経産業新聞
(2012年7月23日PP.13)
「LIBWE法」
色素溶液塗布
レーザ照射で1μm削る
3mm角の加工に20秒
260
2012年 7月号CNT製トランジスタの印刷技術単層CNT融合新素材研究開発機構
産総研
NEC
日刊工業新聞
(2012年4月19日PP.17)
日経産業新聞
(2012年4月20日PP.10)
半導体型ナノチューブ
プラスチックフィルムに印刷
出力電流のばらつき30%
印刷面にあらかじめ単分子膜を形成しインクの吸着を促進
インクに純度95%以上の半導体型ナノチューブを使用
220
260
2012年 6月号厚さ0.3mmの高出力2次電池NEC日経産業新聞
(2012年3月5日PP.9)
有機ラジカル電池
充放電を500回繰り返しても75%の容量を維持
250
260
2012年 6月号有機ELディスプレイの駆動素子を印刷で作製山形大日本経済新聞
(2012年3月26日PP.11)
日経産業新聞
(2012年3月30日PP.10)
Agの微小粒子インク
100pixel/inch
厚さ125μm
ポリエステルフィルム
ペンタセン
工程のすべてを150℃以下
250
260
220
2012年 5月号光IC・光ファイバ結合技術NEC
産総研
日経産業新聞
(2012年2月7日PP.10)
光ファイバを16本横に並べてつなげた結合部
ファイバ直径125μm
中央の直径10μmの領域を光が通る
240
260
2012年 5月号ビットパターンを応用したHD大容量化技術東北大
日立
東芝
富士電機
日経産業新聞
(2012年2月24日PP.10)
5Tb/in2
直径17nmの磁性粒子が規則的に並ぶ
230
260
2011年 7月号光の干渉で着色できるレーザ加工技術フェトン
神奈川県産業技術センター
東工大
日刊工業新聞
(2011年4月27日PP.1)
周期構造を形成
間隔500〜800nmで制御
300m/分で加工する
近赤外線レーザと緑色レーザを当てnmサイズの周期構造を連続加工
160
250
260
460
2011年 6月号高出力LED製造技術名大
エルシード
日経産業新聞
(2011年3月3日PP.11)
日刊工業新聞
(2011年3月25日PP.28)
モスアイ構造
光出力が従来の1.7〜2.5倍
500nmのコーン形状を規則的に配置
加工時間1分程度
基板に凹凸で反射抑制
260
250
160
2011年 5月号微小凹凸でLSI接合九大日経産業新聞
(2011年2月4日PP.10)
突起電極と対向電極を30℃で20秒押しつけると接合
電気抵抗83mΩ
銅でできた直径数μmの突起と溝をかみ合わせて接合
加熱不要
220
260
2011年 4月号半導体材料を紫外線で研磨する技術熊本大日経産業新聞
(2011年1月26日PP.9)
紫外線を照射して表面を酸化
酸化した部分を研磨
SiCやGaNなどの硬い素材に適用可能
260
2010年 9月号世界最薄のプリント基板トッパンNECサーキットソリューションズ日経産業新聞
(2010年6月2日PP.1)
ベースプレート不要
厚さ0.34mm
260
2009年10月号絶縁膜の欠陥1/10のトランジスタ東工大日経産業新聞
(2009年7月7日PP.11)
酸化ランタンに複数のセリウム酸化物を積層
過剰な酸素を制御
二酸化セリウム
三酸化二セリウム
230
260
2009年 9月号厚さ150μmのセラミックコンデンサ京セラ日経産業新聞
(2009年6月11日PP.1)
独自の化学処理
電極の厚さ8μm
世界最薄
誘電体の形に添って薄く平らに電極が付着
260
2009年 5月号大きさ1/8のSSD
-半導体チップを立体的に積層-
慶応大日経産業新聞
(2009年2月16日PP.11)
半導体チップ間を無線で通信
電磁誘導
NANDフラッシュメモリーを6枚積層
消費電力1/2
通信回路の大きさ1/40
230
260
2009年 4月号異種チップを基板に集積する技術東北大日経産業新聞
(2009年1月15日PP.11)
水の表面張力利用
スーパー・ヘテロインテグレーション
水滴は結合を促す薬剤を含有
精度0.4μm
260
2008年12月号携帯カメラ用高解像度レンズ東伸精工日経産業新聞
(2008年9月18日PP.1)
表裏の中心のずれ最大0.5μm
小型プラスチックレンズ
1000万画素以上の解像度に対応
310
260
2008年11月号CNTの導電ゴム素材東大
理化学研
産総研
日本経済新聞
(2008年8月8日PP.42)
CNTとゴム状のポリマを混合
20cm四方の集積回路シート
70%引き伸ばしても安定駆動
フッ素系
120
260
2008年 9月号金使用量6割削減可能な半導体パッケージ新手法TOWA日経産業新聞
(2008年6月24日PP.1)
コンプレッションモールド法
液体状樹脂に半導体チップを浸して固める
配線ワイヤ直径16μm
260
2008年 5月号演算能力20倍の3次元LSI東芝
米スタンフォード大
日本経済新聞
(2008年2月18日PP.23)
CNT
素子配線
ReRAMを演算回路と積層
220
260
2008年 3月号厚さ266μmのLCD向け偏光板住友化学日刊工業新聞
(2007年12月11日PP.15)
輝度向上フィルムの厚さを大幅に薄くし
接着剤の均一性を原材料の配合と粘度を調整して確保
250
260
2008年 2月号液晶向け駆動IC実装に樹脂セイコーエプソン日経産業新聞
(2007年11月5日PP.17)
かまぼこ形状のコア樹脂(バンプ)
COG
260
2007年12月号厚さ300μmのチップ内蔵基板TDK日刊工業新聞
(2007年9月25日PP.1)
ICチップ厚さ50μm
ベアチップのまま配線
モジュール部屋の高さを従来比20〜30%低くできる
4層基板
260
2007年12月号蛍光発光する有機ナノチューブ産総研日刊工業新聞
(2007年9月19日PP.29)
オーガニックナノチューブAIST
ブドウ糖
オレイン酸
両親媒性
自己集合の際に蛍光分子を添加
薬物伝達システム(DDS)



120
250
260
2007年11月号強誘電体により光の波長を変える素子物材機構
早大
日刊工業新聞
(2007年8月20日PP.18)
日経産業新聞
(2007年8月21日PP.10)
変換効率1000倍
接着リッジ導波路
波長1.5815μmの光から波長0.79075μmの第二高調波を1%以上の効率で発生
Mgを添加したLiNbO3の強誘電体膜
エキポシ樹脂でSi基板上に接着
120
220
260
2007年10月号半導体層にCNTを用いたTFT素子東北大
ブラザー工業
阪大
日経産業新聞
(2007年7月4日PP.13)
ポリエステル系樹脂製基盤上に金とクロムの合金で3つの電極作成
絶縁膜にポリイミド樹脂
インクジェット技術で積層
220
260
120
2007年 9月号反射率1/10の光学ガラス松下電器
NEDO
日経産業新聞
(2007年6月7日PP.13)
精密なSiO2製の型をレンズ表面に押しつけ微細な凹凸構造を作って反射を抑制
凹凸の頂点間隔300nm
250
260
310
2007年 7月号スローライト用いて光変調器を小型化東工大
米コーニング
日刊工業新聞
(2007年4月10日PP.1)
直径4μm程度に集光した光ファイバの光を30°の角度で入射
消光比6dB
損失1.5dB以下
240
260
2007年 6月号マイクロピラミッド構造を酸化亜鉛薄膜上に作製大阪市大日刊工業新聞
(2007年3月8日PP.26)
高周波マグネトロンスパッタリング
650℃で20時間
膜厚2μm
一辺2μm
高さ2μm
発光効率数十倍増強
六角錘
アルゴンと酸素の希薄混合ガス
260
160
250
2007年 6月号鉄白金微粒子を基板上に成膜
-HDD容量10倍以上-
東芝日経産業新聞
(2007年3月27日PP.9)
垂直磁気記録方式
CVD
酸化マグネシウム基板
直径5nmの微粒子
1.8インチHDDで1Tb
130
160
230
260
2007年 6月号LED封止用新材料
-封止時間1/50-
日立化成日経産業新聞
(2007年3月29日PP.1)
加圧下で160℃に加熱すると数分で硬化
マス目状の型で数百個のLEDを一気に封止可能
複数の樹脂材料を組合わせて開発
110〜-40℃まで温度変化しても劣化なし
120
160
250
260
2007年 5月号半導体チップ間の無線高速通信慶応大日経産業新聞
(2007年2月20日PP.10)
半導体チップ内に30μm角のコイルを加工
15μm間隔のコイルで1Gbpsの通信
消費エネルギー0.14pJ
220
240
260
340
2007年 4月号次世代HD用酸化アルミ膜山形富士通
富士通研
神奈川科学技術アカデミー
日刊工業新聞
(2007年1月11日PP.27)
酸化アルミニウム膜
ハードディスク
25nm間隔の穴
磁性金属
記録容量5倍以上
1Tbpi
230
260
2007年 4月号銅・銅直接接合で100万端子チップ間接続東大
電子実装工学研
日刊工業新聞
(2007年1月16日PP.29)
接合精度3〜6μmピッチに微細化
表面活性化接合
バンプを持たない構造
260
2007年 4月号0.02mmの超薄型有機ELディスプレイ東大日刊工業新聞
(2007年1月19日PP.1)
有機EL層の極薄の樹脂で挟んだ超薄型光ディスプレイ
ポリパラキシリレン(パリレン)
CVD法でEL層を堆積
250
160
260
2007年 4月号位置決め精度3nmの小型駆動装置東大
仏国立科学研究センター(CNRS)
日経産業新聞
(2007年1月31日PP.15)
大きさ縦0.5mm×横5mm
12枚のT字型板をバネでつなぐ
最大変位8.6μm
250
260
2007年 3月号液晶フィルタ色欠陥自動修正装置NTN日経産業新聞
(2006年12月6日PP.1)
白抜け欠陥
黒欠陥
CCDカメラで撮影
250
260
2007年 3月号8枚積層4GbDRAMNECエレクトロニクス
エルピーダメモリ
沖電気
日経産業新聞
(2006年12月14日PP.1)
ワンチップ方式より開発期間を3〜6年先行
チップを貫通する配線・電極
チップ間を最短距離で接続
230
260
2007年 3月号150lm/Wの白色LED日亜化学工業日経産業新聞
(2006年12月20日PP.3)
発光層に乱反射を抑える構造
電極の透明度を高め発光効率を1.5倍に向上させた
250
260
2007年 2月号単層CNT加工技術産総研日経産業新聞
(2006年11月27日PP.9)
日刊工業新聞
(2006年11月27日PP.23)
スーパーグロース法
シートや針など様々な形の塊状に固める
単層CNTを多様な形状にデザイン
配向高密度化集合体
高純度で超長尺な単層CNTを束ねる
160
220
260
2007年 2月号基板上の光配線自在に東海大日経産業新聞
(2006年11月10日PP.8)
光硬化性樹脂
緑色の光を照射
240
260
2007年 2月号ガラス基板に微細バネ構造理研日経産業新聞
(2006年11月16日PP.10)
ガラス基板の表面を水をはじく物質でコーティング
光硬化性樹脂
銀イオン水溶液
屈折率マイナスの光学素子
一辺2μmの立方体の上に微細なバネがのった形状
5μm間隔で800個
160
220
240
260
2007年 1月号画素ピッチ0.3mmの超高精細PDPNHK
パイオニア
ノリタケカンパニーリミテッド
NBC
日経産業新聞
(2006年10月3日PP.11)
電波新聞
(2006年10月3日PP.2)
発光効率の低下を防止して1ルーメン/W
6.5インチ
270×480画素
スーパーハイビジョン
プラズマディスプレイ
注入するガス圧力の最適化
250
260
2007年 1月号不要発光量を94%抑制したレーザ発振源京大
JST
日刊工業新聞
(2006年10月13日PP.28)
GaAsの2次元フォトニック結晶
結晶中の発光中心に100〜200の量子ドットを導入
250
260
2006年12月号フィルム中に金ナノ粒子を作製
-立体ナノ配線に道-
阪大日刊工業新聞
(2006年9月4日PP.28)
PVAフィルム
ラジカル前駆体(ベンゾフェノン)と金イオン1〜5%をドープ
波長が異なる二つのレーザを照射
ギ酸がない場合に比べ金ナノ粒子の生成速度は約20倍
260
160
2006年12月号異種材料を分子間結合力で薄膜接合沖電気
沖データ
電波新聞
(2006年9月8日PP.1)
エピフィルムボンディング(EFB)
薄膜化したLEDアレイと駆動ICを結合
250
260
2006年11月号特殊フィルムで半導体を実装ソニーケミカル&インフォメーションデバイス日経産業新聞
(2006年8月3日PP.1)
異方性導電膜(ACF)
パッドの材質に均等に圧力がかかるものを使用
120
160
260
2006年11月号光導波路向け微細金型アルプス電気日経産業新聞
(2006年8月11日PP.1)
MEMS
導線幅10μm
ナノインプリント
光導波路
160
260
2006年11月号MEMS技術を用いた携帯電話用高周波スイッチオムロン日刊工業新聞
(2006年8月18日PP.9)
開閉回数10億回以上
量産技術確立
膜厚制御などの加工精度1%以下
160
240
260
2006年 9月号液晶導光板をインクジェットで生産
-金型不要
コスト1/10-
ミヤカワ日経産業新聞
(2006年6月22日PP.1)
オンデマンドマルチドロップ(ODMD)技術
ヘッドからポリカーボネート板に6plのエポキシ樹脂を300万個/秒で吹き付け紫外線照射
14〜15型まで対応可能
250
260
2006年 8月号湿式で電流効率2倍の有機EL九州電力日刊工業新聞
(2006年5月2日PP.1)
電流効率41.7cd/A
インクジェット方式
アルコール系溶媒に溶ける電子輸送材料
120
250
260
2006年 8月号箱振って仮想物体を体感東大日経産業新聞
(2006年5月25日PP.9)
液体や粉体を体感
触覚ディスプレイ
加速度センサ
電磁石
箱を叩く装置
力の伝え方で情報を示す
210
260
320
2006年 8月号抵抗などを内部に印刷したプリント積層基板
-厚さ従来の6割-
トッパンNECサーキットソリューションズ日経産業新聞
(2006年5月30日PP.1)
8層
チップの厚み30μm程度
配線構造見直し
基板の厚さ0.5mm
コンデンサは銅配線の上に誘電体樹脂を印刷し導電性樹脂で挟み込む
抵抗は銅配線を銀メッキし上から炭素樹脂を印刷
160
260
2006年 3月号無線機能を備えた曲がるCPU半導体エネ研
TDK
日経産業新聞
(2005年12月16日PP.1)
暗号処理機能
ガラス基板上に形成したトランジスタをプラスチック基板上に転写
13.56MHz帯
IC部分は14mm角
通信距離は数mm
厚み0.2mm
1.8V駆動で消費電力4mW
160
220
260
340
2006年 3月号光をねじるナノ「卍」東大朝日新聞
(2005年12月6日PP.7)
厚さ95nm
偏光の向きが1.5度回転
500nm角の「卍」
120
250
260
2006年 3月号横方向の解像度1.5倍の液晶ディスプレイ
-カラーフィルタを3枚から2枚にした高精細LCD-
キヤノン日経産業新聞
(2005年12月21日PP.10)
10.4インチの試作品
水平方向に1.5倍の解像度
グリーンとマゼンタのカラーフィルタ
赤・青に近い微妙な色合いの表現は困難
反射型
30万色が限界
省電力型
250
260
2006年 3月号金属ナノ構造で光ナノイメージング技術理化学研日刊工業新聞
(2005年12月22日PP.21)
細い銀線(銀ナノ円柱)を剣山のように並べた構造
表面プラズモン
ナノサイズの微細な構造までがクリアに結像
160
210
120
260
2006年 2月号折り曲げて使える光ファイバNTT日刊工業新聞
(2005年11月9日PP.24)
日経産業新聞
(2005年11月9日PP.12)
ホーリーファイバを直径4mmの厚い被覆材で覆う
光カールコード
240
260
2006年 2月号Si基板にナノサイズのらせん孔
-深さ25μm
10分で形成-
阪大日刊工業新聞
(2005年11月16日PP.25)
直径100nm
Pt粒子表面にH2O2が還元されて発生した活性酸素がSiを酸化しSiO2発生
HFによりSiO2が解けて孔発生
160
260
2006年 2月号全メディア記録再生チップ松下電器日刊工業新聞
(2005年11月18日PP.11)
チップセット
BDとDVD信号処理の一体化
220
260
2006年 1月号高音域が聞きやすい補聴器
-電気信号で鼓膜振動-
電通大
リオン
日経産業新聞
(2005年10月17日PP.10)
PCシミュレーションにより電気コイルの位置を正確に決定
鼓膜を直接振動
8kHzでも聞き取れる大きさの振動
520
260
2005年12月号電気を使わない小型液体レンズシンガポール素材工学研(IMRE)日経産業新聞
(2005年9月5日PP.2)
直径10μm〜10mm
1.5cm角以下にパッケージ
焦点距離3mm〜∞
10倍ズーム
液体への圧力レンズの形状を変化
310
260
2005年12月号燃料電池内蔵携帯音楽プレーヤ東芝フジサンケイビジネスアイ
(2005年9月17日PP.10)
注入口に新結合機構
メタノール
出力100mmWと300mmW
250
260
2005年11月号半導体パッケージHMT三井ハイテック日経産業新聞
(2005年8月26日PP.1)
最大端子数304で大きさ12mm×12mm
チップと端子間を直接全線で接続
260
2005年 9月号携帯向け高歩留まり1.4mm厚の複合電子部品日本IBM
新潟精密
日経産業新聞
(2005年6月24日PP.1)
パッケージ・オン・パッケージ(PoP)技術
動作試験可能な基板を積層
電池スペース確保可能
260
220
2005年 9月号ハンダ使わず異種金属接合
-超音波複合振動で実現-
アサヒEMS日刊工業新聞
(2005年6月29日PP.1)
CuとAl
AlとFe
原子間吸引力
毎秒2万回転と4万回転の試験装置
260
460
2005年 5月号次世代MPU「セル」の技術概要をISSCCで発表ソニー
東芝
米IBM
日経産業新聞
(2005年2月9日PP.2)
日本経済新聞
(2005年2月9日PP.11)
マルチコア構造
処理能力10倍
9個のマルチコア
220
260
2005年 5月号交流駆動LEDナイトライドセミコンダクター
徳島大
日経産業新聞
(2005年2月16日PP.1)
二つの回路を逆向きの電流で作動
試作品は1mm角
20個の素子の回路を二つ組合わせる
切り替え不要
250
260
2005年 3月号直径1.5mmのギヤードモータ東北大
並木精密宝石
YKK
電波新聞
(2004年12月28日PP.2)
NiZr基の金属ガラス
長さ9.4mm
単体直径288μm
遊星ギヤ
起動トルク0.1mN・m
260
360
2005年 2月号透明で曲がるトランジスタ科技機構
東工大
読売新聞
(2004年11月25日PP.3)
朝日新聞
(2004年11月25日PP.3)
日経産業新聞
(2004年11月25日PP.8)
プラスチックのフィルム
InGaZnアモルファス酸化物半導体
220
260
2004年11月号色素増感型太陽電池の発電素子
-マイクロ波で焼結-
東北大日経産業新聞
(2004年8月24日PP.7)
ガラス電極を金属板上に置いてマイクロ波を当てる
発泡Ni板
TiO2
250
260
2004年10月号携帯電話のズーム機構体積半減イーメックス日経産業新聞
(2004年7月28日PP.7)
イオン伝導アクチュエータ
電圧印加で屈曲するプラスチック
10mm角
厚み11mm
レンズズーム機構
310
260
2004年 9月号永久磁石式で磁界5.5T実現NEOMAX日刊工業新聞
(2004年6月10日PP.1)
磁気回路
NMR装置
パーメンジュール
57cm角高さ49cm
ネオジム系磁石
250
260
2004年 9月号65nm次世代半導体
-配線強化で歩留まり2倍に向上-
東芝
ソニー
日経産業新聞
(2004年6月24日PP.9)
配線の剥落を防ぐ技術
高密度配線
層間絶縁膜
電子ビームで配線材料強度高める
160
220
260
2004年 9月号世界最小親指サイズの燃料電池東芝日刊工業新聞
(2004年6月25日PP.1)
電波新聞
(2004年6月25日PP.1)
日本経済新聞
(2004年6月25日PP.13)
パッシブ機構
サイズ8.5g
22mm×56mmに小型化
出力100mW
ダイレクトメタノール2mlで最大20時間駆動
DMFC
250
260
2004年 8月号超薄型CNTキャパシタ
-プリント配線板に組込む-

図使用
日立造船
関西大
日刊工業新聞
(2004年5月18日PP.1)
厚さ200μmまでの電気二重層キャパシタ
5000μF/p2
高速充放電
160
250
260
2004年 7月号プラスチックフィルム基板上にTFT
-自在に曲がるCPU-

5と合わせて一記事に
半導体エネルギー研日刊工業新聞
(2004年4月8日PP.1)
低温p-SiTFTでCPU形成
8ビットCPU
素子数3万程度
動作周波数25MHz/5V・13MHz/3.3V
220
260
160
2004年 7月号チップ積層密度1.7倍にSiPコンソーシアム日経産業新聞
(2004年4月13日PP.6)
チップ間に樹脂
パッケージ後厚さ1.2mmなら5枚のチップ積層可
チップオンワイヤ技術
260
2004年 6月号多層プリント配線板技術
-5Gbps
4000ピン対応-
富士通研
FICT
富士通
日刊工業新聞
(2004年3月9日PP.1)
高速伝送層と高密度実装層を独立に作製し張り合わせる
0.8mmピッチ
BGA
260
2004年 5月号CCDの大きさ1/4にASET
三洋電機
日経産業新聞
(2004年2月23日PP.9)
大きさ縦2.5mm×横3.6mm
画素数縦288×横352
Si基板に銅薄膜で縁取りしたφ50μm程度の穴
210
260
2004年 4月号光スイッチのワンチップ化
-微細加工で1/10サイズに-
NTT日経産業新聞
(2004年1月15日PP.7)
3cm角で厚さ5mm
直径600μm鏡100個を配置
光ルータ
光スイッチ・LSI一体化
240
260
220
2004年 4月号業界最多の9層積層MCP東芝日経産業新聞
(2004年1月22日)
チップ一枚70μm
パッケージの厚さは最薄で1.4mm
5種類のメモリーの組合せ可能
260
2004年 3月号極低損傷プラズマエッチング技術
-次世代CCD量産に道-
東北大
三洋電機
日刊工業新聞
(2003年12月10日PP.1)
暗電流を劇的に低減
マイクロレンズ
パルス変調プラズマエッチング
CF4(下付)
210
260
2004年 3月号精度高い指紋認識センサNTT日経産業新聞
(2003年12月26日PP.8)
表面に50μm角のポリミド材料の突起が57334個
縦1.6cm×横1.3cm
触れると突起部下の空洞部が変化し静電容量変化
静電容量型
210
260
620
2004年 2月号フィルムに印刷する薄膜トランジスタ凸版印刷日本経済新聞
(2003年11月1日PP.1)
液晶ディスプレイ用TFT
厚さ50μm
折り曲げ可能
印刷手法のみで形成
220
260
250
2004年 2月号45nmの回路線幅形成
-フッ素レーザで形成-
Selete日経産業新聞
(2003年11月21日PP.7)
内蔵レンズ開口率0.9
CaFレンズ
160
260
2003年11月号最小・最薄のメガピクセルCCDカメラモジュールシャープ電波新聞
(2003年8月27日PP.6)
容積1.44cm3
高さ9.7mm
1/4インチ型
出力画素数1144×880
210
260
2003年11月号携帯電話用カメラ
-ピント調整が出荷時不要に
コスト3割削減-
三菱電機日経産業新聞
(2003年8月27日PP.9)
センサに直接プラスチック材料取付け
接着剤を横から塗布
260
2003年 9月号基幹系光通信機器の中核部品のコスト半減超先端電子技術開発機構日経産業新聞
(2003年6月6日PP.6)
マイクロレンズ不要
複合部品内にL字型の導波路
3p角×高さ3o
240
260
2003年 9月号動摩擦ゼロの分子ベアリング福岡教育大
成蹊大
日刊工業新聞
(2003年6月11日PP.4)
グラファイト
単層のC60
MEMS
摺動機構
260
2007年 3月号液晶フィルタ色欠陥自動修正装置NTN日経産業新聞
(2006年12月6日PP.1)
白抜け欠陥
黒欠陥
CCDカメラで撮影
250
260
2007年 3月号8枚積層4GbDRAMNECエレクトロニクス
エルピーダメモリ
沖電気
日経産業新聞
(2006年12月14日PP.1)
ワンチップ方式より開発期間を3〜6年先行
チップを貫通する配線・電極
チップ間を最短距離で接続
230
260
2007年 3月号150lm/Wの白色LED日亜化学工業日経産業新聞
(2006年12月20日PP.3)
発光層に乱反射を抑える構造
電極の透明度を高め発光効率を1.5倍に向上させた
250
260
2007年 2月号単層CNT加工技術産総研日経産業新聞
(2006年11月27日PP.9)
日刊工業新聞
(2006年11月27日PP.23)
スーパーグロース法
シートや針など様々な形の塊状に固める
単層CNTを多様な形状にデザイン
配向高密度化集合体
高純度で超長尺な単層CNTを束ねる
160
220
260
2007年 2月号基板上の光配線自在に東海大日経産業新聞
(2006年11月10日PP.8)
光硬化性樹脂
緑色の光を照射
240
260
2007年 2月号ガラス基板に微細バネ構造理研日経産業新聞
(2006年11月16日PP.10)
ガラス基板の表面を水をはじく物質でコーティング
光硬化性樹脂
銀イオン水溶液
屈折率マイナスの光学素子
一辺2μmの立方体の上に微細なバネがのった形状
5μm間隔で800個
160
220
240
260
2007年 1月号画素ピッチ0.3mmの超高精細PDPNHK
パイオニア
ノリタケカンパニーリミテッド
NBC
日経産業新聞
(2006年10月3日PP.11)
電波新聞
(2006年10月3日PP.2)
発光効率の低下を防止して1ルーメン/W
6.5インチ
270×480画素
スーパーハイビジョン
プラズマディスプレイ
注入するガス圧力の最適化
250
260
2007年 1月号不要発光量を94%抑制したレーザ発振源京大
JST
日刊工業新聞
(2006年10月13日PP.28)
GaAsの2次元フォトニック結晶
結晶中の発光中心に100〜200の量子ドットを導入
250
260
2006年12月号フィルム中に金ナノ粒子を作製
-立体ナノ配線に道-
阪大日刊工業新聞
(2006年9月4日PP.28)
PVAフィルム
ラジカル前駆体(ベンゾフェノン)と金イオン1〜5%をドープ
波長が異なる二つのレーザを照射
ギ酸がない場合に比べ金ナノ粒子の生成速度は約20倍
260
160
2006年12月号異種材料を分子間結合力で薄膜接合沖電気
沖データ
電波新聞
(2006年9月8日PP.1)
エピフィルムボンディング(EFB)
薄膜化したLEDアレイと駆動ICを結合
250
260
2006年11月号特殊フィルムで半導体を実装ソニーケミカル&インフォメーションデバイス日経産業新聞
(2006年8月3日PP.1)
異方性導電膜(ACF)
パッドの材質に均等に圧力がかかるものを使用
120
160
260
2006年11月号光導波路向け微細金型アルプス電気日経産業新聞
(2006年8月11日PP.1)
MEMS
導線幅10μm
ナノインプリント
光導波路
160
260
2006年11月号MEMS技術を用いた携帯電話用高周波スイッチオムロン日刊工業新聞
(2006年8月18日PP.9)
開閉回数10億回以上
量産技術確立
膜厚制御などの加工精度1%以下
160
240
260
2006年 9月号液晶導光板をインクジェットで生産
-金型不要
コスト1/10-
ミヤカワ日経産業新聞
(2006年6月22日PP.1)
オンデマンドマルチドロップ(ODMD)技術
ヘッドからポリカーボネート板に6plのエポキシ樹脂を300万個/秒で吹き付け紫外線照射
14〜15型まで対応可能
250
260
2006年 8月号湿式で電流効率2倍の有機EL九州電力日刊工業新聞
(2006年5月2日PP.1)
電流効率41.7cd/A
インクジェット方式
アルコール系溶媒に溶ける電子輸送材料
120
250
260
2006年 8月号箱振って仮想物体を体感東大日経産業新聞
(2006年5月25日PP.9)
液体や粉体を体感
触覚ディスプレイ
加速度センサ
電磁石
箱を叩く装置
力の伝え方で情報を示す
210
260
320
2006年 8月号抵抗などを内部に印刷したプリント積層基板
-厚さ従来の6割-
トッパンNECサーキットソリューションズ日経産業新聞
(2006年5月30日PP.1)
8層
チップの厚み30μm程度
配線構造見直し
基板の厚さ0.5mm
コンデンサは銅配線の上に誘電体樹脂を印刷し導電性樹脂で挟み込む
抵抗は銅配線を銀メッキし上から炭素樹脂を印刷
160
260
2003年 6月号高密度多層プリント配線基板
-厚さ1/5-
大日本印刷日経産業新聞
(2003年3月20日PP.1)
銅基盤に配線層を積層した後に銅基盤を取り除く方式
配線二層0.09mm
三層0.15mm
ビルドアップ基板
網の目上素材
260
2003年 5月号半導体EB露光装置
-つなぎ精度実用化レベル-
ニコン
Selete
日経産業新聞
(2003年2月6日PP.1)
回路半導体EB露光装置
つなぎ精度23nm
65nmプロセス用
2005年の製品化
260
330
2003年 4月号液状セラミックを塗布した新型放熱器
-放熱効率20倍に-
沖電気
セラミション
日経産業新聞
(2003年1月20日PP.1)
ヒートシンク
液状セラミック
放熱効率
熱を遠赤外線に変換
260
2003年 4月号超小型の高周波部品
-消費電力1/1000-
オムロン日経産業新聞
(2003年1月23日PP.1)
超小型高周波リレー
MEMS技術
5GHz/10GHz対応品
消費電力はそれぞれ0.1mW・0.05mW
制御電圧24V
240
260
2003年 4月号超音波利用の非接触マニピュレータ産総研日刊工業新聞
(2003年1月24日PP.5)
定在波音場
微小物体を自在に3次元移動
1.75MHz音源で実験
260
360
2003年 1月号フェライト直接めっき東工大
東北大
NECトーキン
日経産業新聞
(2002年10月9日PP.3)
従来の60倍のノイズ除去効果
厚さ3μm
90℃以下でめっき加工
260
2002年10月号光スイッチ大きさ1/10住友電工日経産業新聞
(2002年7月11日PP.1)
マイクロマシン技術
親指爪程度
従来価格の1/4
約10mm角で4mmの歯が16本
切替時間1.3μs
240
260
440
2002年10月号樹脂の超微小部品を金型で製作
-光スイッチ開発に道-
クラスターテクノロジー日刊工業新聞
(2002年7月24日PP.1)
1μmの樹脂形成品
集中イオンビーム
160
260
2002年 8月号繊維混ぜ込み偽造防止ニッパツ日本経済新聞
(2002年5月3日PP.13)
磁気繊維
ICカード
磁気パターンとIC内の情報を照合
230
260
430
520
2002年 7月号ナノ精度で一括製造する微細加工技術と製造装置
- 材料問わず3次元加工 -
富士ゼロックス日刊工業新聞
(2002年4月2日PP.1)
断面パターン薄膜
Arビーム清浄
高精度圧接
260
2002年 6月号ナノサイズのカプセル型白金微粒子千葉大日刊工業新聞
(2002年3月19日PP.1)
カプセル型白金微粒子
20nm
表面積が30000m2/モル
260
160
2002年 5月号微小歯車
-直径0.2mm-
セイコーインスツルメンツ
北川工業
昭和電工
日本経済新聞
(2002年2月7日PP.13)
射出成型
プラスチック
カーボンナノファイバ
直径80〜100nm
620
260
2002年 5月号携帯電話内蔵用カメラ
-小型でもズームやオートフォーカス-
東芝日本経済新聞
(2002年2月16日PP.13)
携帯電話用
静電気アクチュエータ
310
260
2002年 3月号4層構造のスタックドCSPシャープ日経産業新聞
(2001年12月19日PP.6)
64Mbと16Mbフラッシュメモリー+16Mbと4Mb SRAM
100μm/chip
パッケージサイズ8×11×厚さ1.4mm
230
260
2002年 3月号熱を伝えるプラスチック
一行紹介
日立日本経済新聞
(2001年12月28日PP.13)
熱電導率従来の5倍
エポキシ樹脂
基本的に並びやすい構造の分子
160
260
2002年 1月号超高速光ネットワークスイッチ
-LSI-CMOS設計感覚で実装-
NEC日刊工業新聞
(2001年10月1日PP.9)
CMOS
40Gb/s
LSI
分散処理用ネットワーク
RHINET
220
260
240
2002年 1月号LSI間を光データ転送できる配線技術沖電気日経産業新聞
(2001年10月4日PP.7)
日刊工業新聞
(2001年10月4日PP.11)
光配線基板
1.55μmの光源
石英基板
240
260
2001年12月号多層実装基板加工技術
-超精密・3次元加工を実現-
東成エレクトロビーム日刊工業新聞
(2001年9月18日PP.7)
Siウェハ
実装用多層構造基板
マイクロマシン
マイクロ光センサへの応用
260
2001年11月号形状記憶合金製ビス
-ネジ取り外し熱で簡単-
シャープ
トーキン
日経産業新聞
(2001年8月14日PP.1)
形状記憶合金160
260
2001年11月号複合メモリーシャープ日経産業新聞
(2001年8月27日PP.5)
フラッシュメモリーとRAMの一体化
64Mb フラッシュ×2と32Mb RAM×1をパッケージ
スタックドCSP
8mm×11mm
230
260
2001年 8月号,9月号半導体材料でミクロンの折り紙
-一辺1/20mmの折り紙-
ATR環境適応通信研日本経済新聞
(2001年6月8日PP.17)
格子定数の違い
GaAs
InGaAs
160
260
2001年 8月号,9月号ナクテク使い立体配線東芝日本経済新聞
(2001年6月15日PP.17)
銅メッキ
線幅15μm
数10nm径の穴の開いたプラスチックシート
光の強弱で配線と貫通部を作成
260
160
2001年 7月号半導体チップ多段積層技術東芝日本経済新聞
(2001年5月4日PP.11)
放熱ギャップ
チップonチップ
230
260
2001年 7月号導電性皮膜
-セラ基板
皮膜容易に-
東芝日刊工業新聞
(2001年5月21日PP.1)
電導性皮膜
ショットコーティング
260
2001年 6月号弾性表面波を使った超小形モータ東大
東工大
日経産業新聞
(2001年4月13日PP.9)
SAWフィルタ
酸化ニオブ・リチウム
位置決め精度40nm
移動速度1.1m/s
260
250
240
2001年 5月号ナノレベル加工機
-先晩部分の曲率半径5μm-
理化学研日刊工業新聞
(2001年3月26日PP.1)
V字溝加工260
2001年 5月号プリント配線板に内蔵する液体冷却技術NEC日刊工業新聞
(2001年3月22日PP.6)
銅製マイクロヒートシンク埋込み260
2001年 5月号デカップリングキャパシタ
-ノイズを高効率で吸収-
富士通研日刊工業新聞
(2001年3月14日PP.7)
薄膜キャパシタ
30pH
Si基板
チタン酸バリウム・ストロンチウム(BST)セラミック薄膜使用
260
2001年 3月号カーボンナノコイル作成
-ディスプレイなどへ応用-
大阪府立大
豊橋技科大
日経産業新聞
(2001年1月23日PP.10)
カーボンナノコイル
太さ数十nm
カーボンナノチューブ
有機分子の高温ガス
反応温度650〜800℃
直径数10nm
マイクロマシン用ばね
150
120
260
2001年 3月号光信号で基板間伝送アイカ工業日経産業新聞
(2001年1月17日PP.1)
光伝送シート
光バックプレーンボード
ノイズ抑制
1GHz
260
340
240
2001年 2月号ICチップの直接装着新日鉄日経産業新聞
(2000年12月6日PP.9)
ハンダボール
超音波振動で整列
フリップチップ
260
2000年10月号放電加工・超音波加工技術東大日刊工業新聞
(2000年8月8日PP.7)
超音波加工160
260
2000年 6月号多層構造電子回路作成技術茨城大日本工業新聞
(2000年4月4日PP.15)
多層構造電子回路
レーザマイクロ造形法
オール・ソリッドステート・システム
微粉体テープ
160
260
2000年 5月号カーボンナノチューブで電子銃作成電総研日本経済新聞
(2000年3月27日PP.19)
直径2〜3nmφ
Si突起
炭化水素系ガス
カーボンナノチューブ
放電開始電圧10V
電子銃
260
250
150
2000年 4月号電磁波フィルタ
-パソコンの情報漏洩防止-
コトヴェール日経産業新聞
(2000年2月1日PP.18)
電磁波
ポリイミド
260
1999年11月号Si接合技術NEC
科学技術振興事業団
電波タイムズ
(1999年9月20日PP.2)
カーボンナノチューブ260
160
1999年 9月号単一電子素子量産用製造技術東芝日本経済新聞
(1999年7月19日PP.19)
自己組織化
超微細加工
半導体基板
20〜30nmの凹凸
単一電子素子
製造技術
エッチング
160
220
260
120
1999年 8月号世界初の微細立体配線技術
-レーザ2種を基板に同時照射-
三洋電機日経産業新聞
(1999年6月3日PP.5)
エキシマレーザ
微細配線技術
マイクロマシン用
可視光レーザ
二波長励起レーザ
CVD
160
260
1999年 8月号幅3nmの電線
-微小機械などに応用へ-
物質工学研日経産業新聞
(1999年6月15日PP.5)
誘電性繊維260
160
1999年 6月号世界初の球面集積回路
-球状半導体にIC形成-
米ボールセミコンダクタ日本経済新聞
(1999年4月6日PP.11)
日刊工業新聞
(1999年4月13日PP.11)
球面集積回路
球状Si
N形MOS
球状半導体
インバータ回路
220
260
160
1999年 6月号超小スキャニングセンサオムロン日経産業新聞
(1999年4月4日PP.4)
スキャナ210
260
0
1999年 3月号マイクロマシン技術応用の超小形リレーオムロン日経産業新聞
(1999年1月20日PP.5)
マイクロマシン260
1999年 3月号マイクロマシン技術による磁気ヘッド制御システム情報ストレージ研究推進機構(SRC)日本工業新聞
(1999年1月14日PP.18)
静電マイクロアクチュエータ
情報記録装置
トラッキング制御
20Gb/in2
260
230
1999年 3月号小型走行マシン
-光をエネルギー源に駆動-
農工大日刊工業新聞
(1999年1月14日PP.5)
圧電
磁性
260
1999年 2月号トランジスタパッケージ
-最小の環境配慮型-
三洋電機日本経済新聞
(1998年12月11日PP.11)
チップサイズパッケージ
鉛使用量ゼロ
260
1999年 1月号磁気ディスク製造装置
-記録密度を10倍に-
FTS社
東工大
日経産業新聞
(1998年11月13日PP.22)
多層連続成膜
高密度磁気ディスク
磁性体
縦並び配列
230
260
1998年12月号レーザ走査素子
-超小型
消費電力は1/100-
日本信号日経産業新聞
(1998年10月20日PP.1)
光デバイス
マイクロマシン
レーザ光走査
バーコードリーダ
マイクロマシン技術
210
260
230
1998年 9月号最薄のTFT型LCD日本IBM日経産業新聞
(1998年7月14日PP.1)
導光体1.7mm250
260
1998年 7月号メモリー実装に新技術
-4倍の高密度化可能-
日立製作所日経産業新聞
(1998年5月27日PP.9)
メモリー
実装技術
スライドパッケージ方式
230
260
1998年 7月号新実装基板技術
-5倍の高密度実装可能-
NEC日刊工業新聞
(1998年5月26日PP.1)
高密度実装
基板技術
260
1998年 5月号リサイクルで完全再生できる樹脂NEC日経産業新聞
(1998年3月20日PP.1)
リサイクル
外装
樹脂
エコポリカ
260
160
1998年 4月号1GHZの信号を分配するクロック技術NEC日経産業新聞
(1998年2月9日PP.5)
クロック分配
ローカルクロック
LIS
220
260
1998年 3月号初の128MbDRAM日立製作所日本工業新聞
(1998年1月27日PP.4)
DRAM230
260
1998年 3月号DRAMメモリーセルを最小にできる技術NEC日経産業新聞
(1998年1月13日PP.5)
DRAM
4GbDRAM
位置ズレ防止
230
260
1998年 3月号電磁波の発生を抑制する技術-30%以下に-NEC日経産業新聞
(1998年1月7日PP.5)
プリント基板
電磁波放出
260
1998年 2月号半導体の超小型パッケージ
-技術供与へ-
NEC日本経済新聞
(1997年12月5日PP.11)
チップとほぼ同等の大きさ
ワイヤボンドなし
実装面積1/9
重量1/31
260
1998年 1月号微小部品
磁力制御で運搬する新システム
富士電機総研日経産業新聞
(1997年11月14日PP.4)
パレット移動
磁力
セラミック基板
260
1997年 8月号超小型駆動装置
-半導体熱膨張で大きな力-
オムロン日経産業新聞
(1997年6月5日PP.5)
マイクロマシン
アクチュエータ
260
250
1997年 5月号不要な電磁波ノイズ抑制技術NEC日経産業新聞
(1997年3月19日PP.5)
電磁波ノイズ
プリント配線基板
260
1997年 4月号電磁波吸収する炭素繊維岐阜大日経産業新聞
(1997年2月14日PP.5)
電磁波
炭素繊維
260
1997年 2月号混載LSI向け配線形成技術富士通研日経産業新聞
(1996年12月11日PP.5)
電波新聞
(1996年12月11日PP.5)
プラグ
アスペクト比8
ビアホール
アルミニウム
DRAM
MPU
260
220
230
1997年 2月号FED基本素子
-低い電圧で安定動作-
東芝
電総研
富士通研
日経産業新聞
(1996年12月9日PP.5)
日本経済新聞
(1996年12月9日PP.17)
日経産業新聞
(1996年12月26日PP.4)
6ホウ化ランタン陰極
低電圧駆動
陰極にトランジスタ
長寿命化
FED
Siの鋳型
陰極
28V動作
3〜5Vの低電圧動作可能性
開口制御性向上
0.15μm幅開口
PN接合分離
250
260
1997年 2月号単分子積層膜,簡単につくる手法上智大日経産業新聞
(1996年12月5日PP.5)
単分子
有機高分子
積層膜
260
1997年 1月号2nmのSi細線
-電子線露光で作製-
NTT日経産業新聞
(1996年11月5日PP.6)
幅2nm
エッチング
電子線露光
Si細線
単一電子トランジスタ
120
260
160
1996年12月号レーザ利用で細胞融合効率化東北大日経産業新聞
(1996年10月11日PP.4)
レーザ
細胞融合
460
260
1996年10月号半導体の素子分離技術
-回路線幅0.25μmまで対応-
松下電器産業
松下電子
日経産業新聞
(1996年8月28日PP.5)
CMOS
トレンチ法
0.25μm幅
BとPを含むSiO2
260
160
1996年10月号ほぼチップサイズのLSI樹脂パッケージシャープ電波新聞
(1996年8月1日PP.5)
CSP260
1996年 8月号4GbDRAM用光露光技術富士通
富士通研
東芝
電波新聞
(1996年6月12日PP.1)
日経産業新聞
(1996年6月12日PP.5)
日本経済新聞
(1996年6月12日PP.13)
日経産業新聞
(1996年6月14日PP.5)
日経産業新聞
(1996年6月14日PP.14)
メモリー
DRAM
露光技術
230
260
160
1996年 8月号超高速LSI配線技術NEC日刊工業新聞
(1996年6月12日PP.8)
超高速LSI
配線技術
低誘電率
260
220
1996年 8月号MOS電界効果のトランジスタ
-半導体素子の不純物混入-
松下電器産業日経産業新聞
(1996年6月12日PP.5)
プラズマドーピング220
260
1996年 7月号メモリー多層化に新手法NEC日経産業新聞
(1996年5月22日PP.5)
メモリー
DRAM
多層化
230
260
1996年 7月号1Tbの光ディスク記録技術日立製作所日経産業新聞
(1996年5月13日PP.5)
顕微鏡
光ディスク
高密度
走査型近接場光顕微鏡
1Tb
ディスク
相変化ディスク
170Gb/inch2
読出し速度10Mbps
SNOM
相変化型
12cmディスクに1Tb
230
260
360
1996年 6月号青色半導体レーザの新製造
-基板に炭化ケイ素利用-
富士通研日経産業新聞
(1996年4月18日PP.5)
青色レーザ
炭化ケイ素
SiC基板
高性能レーザ反射面
AlNでバッファ層形成
GaNレーザ
半導体レーザ
製造技術
250
260
1996年 5月号真空マイクロ素子電総研日経産業新聞
(1996年3月27日PP.5)
平面ディスプレイ
真空マイクロ素子
微細加工技術
安定動作
FET構造
冷陰極
220
250
260
1996年 5月号波長多重光メモリー
-基礎実験に成功-
富士通研日刊工業新聞
(1996年3月14日PP.7)
光メモリー
波長多重
大容量
1Tb/cm2に道
量子箱
ホールバーニング(PHB)効果
0.48msのホール寿命
量子サイズばらつきで波長多重
230
130
260
1996年 4月号液晶ディスプレイ
-広い視野角,製造も容易-
農工大日経産業新聞
(1996年2月28日PP.5)
液晶ディスプレイ
2分割法
250
260
1996年 4月号ミリ波フリップチップIC技術
-50GHz帯MFICアンプ試作-
松下電器産業
松下電子
電波新聞
(1996年2月10日PP.1)
誘電体
ミリ波
MFIC
220
260
1996年 3月号最高速バイポーラトランジスタ
-Si使い最高速素子-
日立製作所日経産業新聞
(1996年1月9日PP.5)
バイポーラ
70GHz
Siトランジスタ
Woベース電極
バイポーラトランジスタ
遅延時間14.3/s
220
260
1996年 3月号2本指マイクロハンド工技院機械技研電波新聞
(1996年1月3日PP.7)
マイクロマシン
2本指
260
1996年 2月号新DRAMセル構造
-MPUとDRAMの混載容易に-
富士通研日刊工業新聞
(1995年12月12日PP.7)
電波新聞
(1995年12月12日PP.6)
DRAM
MPU
裏面配線
セル構造
CMP(研磨平坦化)
多層配線
230
160
220
260
1996年 2月号光ファイバを直接固定する並列結合技術松下電器産業日刊工業新聞
(1995年12月8日PP.7)
電波新聞
(1995年12月8日PP.1)
光インタフェース
裏面にガイド穴
結合効率80%
光ファイバ
240
250
260
1995年12月号次世代画像表示素子DMD米TI日本経済新聞
(1995年10月9日PP.15)
電波新聞
(1995年10月21日PP.5)
DMD
1.5cm×1.1cmに44万枚の鏡
250
260
1995年11月号ドーナツ構造アルミ電解コンデンサ
-コンデンサ発熱半減-
日本ケミコン電波新聞
(1995年9月14日PP.8)
日経産業新聞
(1995年9月14日PP.9)
ドーナツ構造
コンデンサ
260
1995年 9月号窒化アルミ製マルチチップモジュール京セラ電波新聞
(1995年7月29日PP.5)
マルチチップモジュール
20層
1テラFLOPS
260
220
1995年 9月号高熱伝導性の封止樹脂
-発熱の大きな大型ASICをプラスチックでパッケージ-
東芝日刊工業新聞
(1995年7月5日PP.7)
エポキシ樹脂+複合セラミック
4W/mケルビン
160
260
1995年 8月号半導体レーザ
-Si基板上に高速光配線に応用-
沖電気日経産業新聞
(1995年6月19日PP.1)
化合物半導体レーザとSiの直接接合
光配線
250
260
1995年 7月号静電気駆動マイクロアクチュエータ名大
日立製作所
日刊工業新聞
(1995年5月18日PP.8)
マイクロマシン
マイクロアクチュエータ
260
160
1995年 5月号静電浮上搬送装置KAST日刊工業新聞
(1995年3月10日PP.6)
日経産業新聞
(1995年3月28日PP.5)
搬送装置
静電気浮上
160
260
1995年 5月号次世代画像表示装置ソニー
TI
日本経済新聞
(1995年3月4日PP.10)
DMD(ディジタル
マイクディスプレイ)
ミラーデバイス
マイクロミラー
半導体チップ状に形成
350
260
1995年 3月号ミクロ電磁スイッチを使った光路切替え技術
-光ファイバ接続変更,簡単に-
NTT日経産業新聞
(1995年1月9日PP.5)
光ファイバ
光スイッチ
電磁スイッチ
ミクロ電磁スイッチ
ファイバ網の接続変更装置
240
260
1995年 2月号圧電素子の振動利用したアクチュエータミノルタ日経産業新聞
(1994年12月20日PP.5)
圧電リニアアクチュエータ
マイクロマシン
260
250
1995年 1月号直径1mmの発電機三菱電機日本経済新聞
(1994年11月21日PP.19)
マイクロマシン
発電機
直径1mm
260
350
1995年 1月号超小型の回転角速度センサ村田製作所日本経済新聞
(1994年11月12日PP.13)
回転角速度センサ
マイクロマシン
210
260
1994年12月号超小型ICパッケージ
-ICの面積1/4に-
松下電器産業
松下電子
日経産業新聞
(1994年10月3日PP.1)
小型ICパッケージ
スタッドバンプ方式
260
1994年11月号ワイヤレスで給電技術テルモ日本工業新聞
(1994年9月8日PP.1)
光伝送
マイクロマシン
電源供給
260
340
1994年10月号大量の液晶含ませる高分子材料
-1sec以下で形状変化-
工技院物質工研日経産業新聞
(1994年8月30日PP.5)
マイクロマシン260
1994年10月号みみずの運動を応用したマイクロロボット東工大日経産業新聞
(1994年8月26日PP.5)
マイクロロボット
細管内移動
260
1994年10月号直径5mmの電磁モータ富士電機日経産業新聞
(1994年8月16日PP.1)
電波新聞
(1994年8月19日PP.10)
モータ
マイクロマシン
トルク3.5μNm
260
250
1994年 8月号光電変換方式でエネルギー供給三洋電機日経産業新聞
(1994年6月30日PP.1)
マイクロマシン
光電変換デバイス
250
260
1994年 8月号誤差実用範囲に小型のエンコーダ東芝日経産業新聞
(1994年6月21日PP.4)
マイクロマシン
光ファイバエンコーダ
コーダ
250
260
1994年 5月号分散型機械に自己修復機能工技院機械研日経産業新聞
(1994年3月15日PP.5)
分散型機械
自己修復機能
260
1994年 4月号世界最小の物差し
-0.2μmの寸法を校正-
日立製作所電波新聞
(1994年2月25日PP.2)
測定用標準試料
マイクロスケール
260
360
1994年 4月号超小型継電器NTT日経産業新聞
(1994年2月18日PP.1)
超小型リレー
レーザ動作
10ms
光で切替え
Si基板に集積
マイクロマシン
幅200μm
長さ1.5m厚さ10μm
260
240
1994年 4月号Si薄板による微小光学素子NTT日経産業新聞
(1994年2月7日PP.4)
160
260
1994年 3月号小型静電マイクロモータ松下技研日経産業新聞
(1994年1月21日PP.5)
日刊工業新聞
(1994年1月21日PP.9)
電波新聞
(1994年1月21日PP.1)
モータ
マイクロマシン
直径1.4mm
長さ10mm
マイクロモータ
100rpm
静電モータ
260
250
1994年 2月号超微細の半導体回路パターン
-作成技術を開発-
電総研日刊工業新聞
(1993年12月14日PP.17)
回路線幅0.1μm
エッチング工程不要
260
1994年 2月号寿命100倍の新構造トランジスタ三菱電機日経産業新聞
(1993年12月10日PP.5)
窒素イオン注入260
220
1994年 2月号世界最小MOSトランジスタ
-ゲート長世界最小実現-
東芝電波新聞
(1993年12月3日PP.1)
日経産業新聞
(1993年12月3日PP.5)
日刊工業新聞
(1993年12月3日PP.7)
日本工業新聞
(1993年12月3日PP.6)
MOSトランジスタ
ゲート長0.4μm
超微細加工技術
世界最小
100GbpsのDRAM
1.5V動作
従来ゲート長0.07μm
固層拡散法
220
260
1994年 1月号微小駆動機構東大日経産業新聞
(1993年11月24日PP.5)
マイクロマシン
アクチュエータ
260
1994年 1月号マイクロアクチュエータ工業技術院大阪工業技研日刊工業新聞
(1993年11月10日PP.5)
マイクロマシン
アクチュエータ
260
1994年 1月号両面チップIC三井ハイテック
米インテル
日経産業新聞
(1993年11月9日PP.1)
薄型IC製造技術
記憶容量2倍
DDTSOPパッケージ
フラッシュメモリー
リードフレーム
両面実装
220
260
230
1994年 1月号世界最小の冷却装置
-4cm角-
富士通朝日新聞(夕刊)
(1993年11月8日PP.9)
超小型冷却器
4×1cm
CPUチップを80℃に
260
1994年 1月号液晶膜を大面積化工業技術院物質工学工業技研日刊工業新聞
(1993年11月2日PP.6)
液晶配向膜
偏光エキシマレーザ
250
260
1993年 6月号真空マイクロ素子
-先端の鋭さ世界最高のエミッタアレイ-
東芝日刊工業新聞
(1993年4月22日PP.7)
真空マイクロ素子
先端曲率10nm
260
1993年 5月号微小リレー
-300μm角のバネで電流制御-
NTT日経産業新聞
(1993年3月15日PP.5)
製造加工技術
300μm角
1.8μmt
1kHz切換
260
1993年 4月号化合物半導体使った超高速トランジスタ
-新技術で量産化に道-
NTT日経産業新聞
(1993年2月17日PP.5)
220
260
1993年 4月号AlGaAs化合物の選択成長技術三菱化成日刊工業新聞
(1993年2月3日PP.6)
MOCVDHSE法
選択成長技術
量子化機能素子
レーザ
260
250
1993年 2月号超微細MOSトランジスタ
-ゲート長0.1μm以下に-
東芝日刊工業新聞
(1992年12月21日PP.8)
超微細加工技術
PMOSトランジスタ
固相拡散ドレイン(SPDD)構造
ゲート長0.08μm
260
220
1993年 2月号爆薬を利用したヘテロダイヤモンドの合成工技院科学技研日経産業新聞
(1992年12月11日PP.4)
半導体材料
爆薬ホウ素
炭素
窒素
160
260
1993年 2月号1GbDRAM用0.2μm以下の超微細パターン形成技術松下電器産業電波新聞
(1992年12月15日PP.1)
日経産業新聞
(1992年12月15日PP.5)
日刊工業新聞
(1992年12月15日PP.9)
電波新聞ハイテクノロジ
(1992年12月17日PP.1)
ArFエキシマレーザ
1GbDRAM
微細加工技術
260
230
1993年 2月号SOIを用いた新タイプのDRAMソニー日刊工業新聞
(1992年12月15日PP.9)
DRAM
SOI
512MbDRAM向け
220
260
1993年 1月号g線で0.35μmGaAsIC東芝日刊工業新聞
(1992年11月24日PP.5)
イメージリバース
量産技術
260
1993年 1月号イオン注入だけで新素子NTT日刊工業新聞
(1992年11月17日PP.6)
インプレーン
ゲート構造
メゾスコピック素子へ応用
260
1993年 1月号量子ドットの大きさを制御NTT日経産業新聞
(1992年11月13日PP.5)
量子ドット
電子閉込め
260
1993年 1月号高真空中でGaAs基板微細加工技術
-量子細線構造を試作-
新技術事業団日刊工業新聞
(1992年11月11日PP.15)
量子細線デバイス
超高真空
電子ビーム照射
量子細線構造
超高速スイッチング素子
260
220
1992年12月号単結晶アルミ配線形成技術東芝日刊工業新聞
(1992年10月29日PP.7)
260
1992年12月号窒化鉄磁性薄膜新成膜技術リコー電波新聞
(1992年10月30日PP.2)
260
1992年11月号高真空反応性ICB法三菱電機電波新聞
(1992年9月8日PP.2)
260
1992年 9月号光集積素子形成技術日電電波新聞
(1992年7月15日PP.6)
日経産業新聞
(1992年7月15日PP.5)
日刊工業新聞
(1992年7月15日PP.9)
複数素子を1チップ上に作製260
1992年 6月号0.075μmで加工できる感光樹脂富士通研日経産業新聞
(1992年4月7日PP.1)
日刊工業新聞
(1992年4月7日PP.6)
フォトレジスト
電子線描画
160
260
1992年 5月号青色発光素子製造技術確立日新電機日経産業新聞
(1992年3月3日PP.1)
250
260
1992年 4月号最先端メモリー技術相次ぐ日電
東芝
電波新聞
(1992年2月19日PP.6)
日経産業新聞
(1992年2月19日PP.8)
日刊工業新聞
(1992年2月19日PP.9)
日電:64MDRAM 16MSRAM
東芝:5V動作4MフラッシュEEPROM
3.3V動作
MOSRAM
230
260
1992年 2月号ゲート長0.1μmCMOSNTT日経産業新聞
(1991年12月13日PP.5)
製造加工技術
1Gbメモリーへ道
260
1992年 2月号次々世代超LSI
-1Gb級超LSIに道-
日立製作所日経産業新聞
(1991年12月10日PP.5)
製造加工技術
半地下電極
220
260
1992年 2月号半導体露光装置キヤノン日経産業新聞
(1991年12月2日PP.1)
超微細加工技術
0.35μm
QUEST
260
1992年 1月号マイクロマシンセンター発足通産省電波新聞
(1991年11月18日PP.1)
マイクロマシン260
1992年 1月号超小型モータ
-外形3mm長さ5mm-
東芝電波新聞
(1991年11月6日PP.1)
日刊工業新聞
(1991年11月6日PP.9)
3mmφ×5mm
マイクロマシン
260
600
1991年12月号立体IC
-5層構造試作-
三洋電機日刊工業新聞
(1991年10月24日PP.1)
単結晶横方向に成長
量産性あり
3次元回路素子
5層構造
横方向固相成長技術
260
220
1991年12月号X線露光用光源装置新技術事業団日経産業新聞
(1991年10月11日PP.5)
小型電子波動リング
SR装置

260
1991年11月号無機
有機超格子
東大日刊工業新聞
(1991年9月10日PP.5)
単結晶多層積層
MBE法
光素子
VOフタロシアニン
220
260
1991年11月号極薄絶縁膜形成技術沖電気日経産業新聞
(1991年9月5日PP.5)
酸窒化シリコン膜,厚さ5nm
256M〜1GbDRAM用
260
1991年10月号256MDRAM向き新プロセス技術日立製作所電波新聞
(1991年8月28日PP.9)
製造プロセス260
1991年10月号新光演算素子三菱電機日本工業新聞
(1991年8月21日PP.13)
光ニューロチップ
DHPT
光演算素子
220
260
1991年10月号高速
低電圧動作の新型素子
-電子走行層厚み0.15μm-
東芝日刊工業新聞
(1991年8月16日PP.5)
薄膜SOIに匹敵のSJET
SJET
220
260
1991年 9月号レーザで微細溝加工理研日刊工業新聞
(1991年7月4日PP.5)
0.17mm間隔
干渉縞
表面プラズマ波
260
1991年 7月号CCDイメージセンサ
-チップ上に周辺回路も-
日電電波新聞
(1991年5月30日PP.7)
CCDリニアイメージセンサ
19倍高感度
出力増幅回路内蔵
周辺回路内蔵
260
1991年 7月号高速64kSRAM
-セル面積1/6-
日立製作所電波新聞
(1991年5月29日PP.7)
日経産業新聞
(1991年5月30日PP.5)
セル面積1/6
アクセス時間1.5ns
260
1991年 7月号256MDRAM向け微細配線技術日電日経産業新聞
(1991年5月28日PP.1)
アルミ合金配線0.25μm
口径で深さ1μm
260
1991年 5月号3次元IC日電電波新聞
(1991年3月27日PP.1)
電波タイムズ
(1991年3月29日PP.2)
3次元IC
6層構造(世界初)
4Gbメモリーの可能性
2層×3枚残り合わせ
DUALCMOS+CUBIC技術
260
1991年 3月号追記型CD
反射層にアルミ使用
日本ビクター日経産業新聞
(1991年1月25日PP.0)
12インチ230
260
1991年 3月号超LSI素子
信頼性向上
沖電気日経産業新聞
(1991年1月16日PP.0)
絶縁膜を亜酸化窒素処理220
260
1991年 2月号1原子層ずつ制御の薄膜形成日電日刊工業新聞
(1990年12月26日PP.0)
260
1991年 2月号半導体に0.15μmの微細加工沖電器日経産業新聞
(1990年12月14日PP.0)
260
1991年 1月号高温超電導体薄膜でジョセフソン素子東芝日経産業新聞
(1990年11月26日PP.0)
260
160
1991年 1月号64Mb級DRAMの10nm厚極薄窒化Si膜形成技術沖電気電波新聞
(1990年11月16日PP.0)
急速加熱法で極薄膜のSiN
純酸素を亜酸化窒素に置き換え
260
1990年11月号Si基板にInP素子NTT日経産業新聞
(1990年9月24日PP.0)
β=200260
1990年 9月号酸化物1層制御の新薄膜製法東工大
住友セメント
日刊工業新聞
(1990年8月2日PP.0)
酸化セリウム3Aを30層260
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