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題 目発表社情報源キーワード 分類
番号
2018年 0月号4K・3Dの手術用顕微鏡
ソニー・オリンパス
医師の疲労軽減
ソニー・オリンパスメディカルソリューションズ日経産業新聞
(2017年9月20日PP.3)
顕微鏡
4K
3D
疲労軽減
360
2017年10月号スピネル型酸化物材料 原子像観察に成功東北大
東大
日刊工業新聞
(2017年7月24日PP.23)
チタン酸リチウム
STM
スピネル型酸化物の一種「チタン酸リチウム」を利用
120
360
2017年 8月号単一原子の内部構造可視化
STEMで電場観察
東大日刊工業新聞
(2017年5月31日PP.21)
単一原子の内部構造を可視化する究極の顕微鏡法360
2017年 7月号光子1個ごと見える顕微鏡開発
光子1個色を識別
産総研日刊工業新聞
(2017年4月6日PP.21)
日経産業新聞
(2017年4月13日PP.8)
計測可能波長200nm〜2000nm,光強度0.16fW,光子顕微鏡,超電導光センサー360
210
2017年 5月号金属内の透過劣化場所特定 計測電子顕微鏡物性機構
東邦大
日刊工業新聞
(2017年2月17日PP.25)
水素脆化の解明
2000x2000画素の解像度で400sの測定時間
360
2016年11月号折り曲げられるスマホなど実現へ日系メーカー電波新聞
(2016年8月29日)
曲がる
有機EL
ディスプレイ
360
2016年 4月号がん早期発見 1センチの壁崩すGEヘルスケア
シーメンス
日経産業新聞
(2016年1月19日PP.1)
PETMRI
360
2016年 3月号ラマン散乱顕微鏡 解像力2倍に阪大日刊工業新聞
(2015年12月3日PP.21)
2本のレーザ光
点線状の光
点の位置をずらした3枚の写真を合成
360
2015年10月号有機FET内部の電子状態を動作中に観測東大,物材機構日刊工業新聞
(2015年7月24日PP.33)
スプリング8,3次元走査型光電子顕微鏡装置,空間分解能70ナノメートル360
2015年 9月号復権モノづくり TRAFAM上野次世代3D積層造形技術総合開発機構
(0年2015月6日PP.30)
1金属3Dプリンタ,レーザ粉体肉盛り法,粉末焼結積層造形法
360
2015年 7月号原子1個を判別可能な電子顕微鏡日立日経産業新聞
(2015年4月13日PP.13)
分解能0.043nm
加速電圧120万ボルト
電子を高速の95%まで加速
360
2015年 5月号ホログラフィ電子顕微鏡日立製作所日刊工業新聞
(2015年2月18日PP.19)
点分解能43ピコメートル
加速電圧1.2メガボルト
360
2015年 5月号金原子結合X線で観測高エネルギー加速器研究機構日経産業新聞
(2015年2月19日PP.10)
100フェムト秒のレーザ照射360
2015年 4月号生体試料 解像度2倍理研日刊工業新聞
(2015年1月29日PP.25)
従来手法に比べ空間解像度を2倍以上に向上させた画像撮影手法を開発360
2014年11月号物質構造や化学的組成を分子レベルで解析する装置堀場製作所日経産業新聞
(2014年8月27日PP.3)
分解能10nm
ラマン分光器とAFMを組み合わせ
TERS
360
660
2014年 7月号透明・半透明フィルムのピンホールを検出する検査装置浜松ホトニクス日経産業新聞
(2014年4月9日PP.13)
最小50μmの微小穴検出
半導体レーザ光源とフォトダイオードによる検出部
検査速度600m/min
360
2014年 2月号市販プリンタで電子回路を印刷東大
英MSリサーチ
米ジョージア工大
日経産業新聞
(2013年11月7日PP.11)
日刊工業新聞
(2013年11月8日PP.25)
化学焼結銀ナノ粒子インク
印刷後の加熱不要
320
330
360
2014年 2月号解像度0.7mmのPET診断装置名大
阪大
東北大
日経産業新聞
(2013年11月14日PP.11)
小動物診断向け
半導体検出器
360
2014年 2月号多方向医療用触覚センサSEMITEC日経産業新聞
(2013年11月25日PP.4)
胃カメラ
カテーテル用
φ1.9mm×1.9mm円筒状
上下左右数gw程度の圧力を検知
MEMS応用
210
360
2013年12月号細胞の活動を動画撮影東京インスツルメンツ日経産業新聞
(2013年9月4日PP.7)
ラマン散光
分子レベルの解像度
1fps
360
2013年12月号近接場光を用いた光学顕微鏡日立日経産業新聞
(2013年9月18日PP.7)
分解能3nm
直径4nmのCNTから近接場光を出す
360
2013年10月号ナノサイズの分子運動を3D観測東大日刊工業新聞
(2013年7月22日PP.19)
SEM
Au粒子で標識
試料の周りを水溶液で包む
360
2013年 8月号グラフェンFET電子状態精密測定東大日刊工業新聞
(2013年5月31日PP.31)
高抵抗領域の形成メカニズムを明らかに
物質の3次元方向の電子・科学状態を解析する走査型光電子顕微鏡
320
360
2013年 7月号生きたままの昆虫を電子顕微鏡で観察可能に浜松医科大日経産業新聞
(2013年4月16日PP.9)
「ナノスーツ」
50〜100nm厚の薄膜で覆う
360
660
2013年 7月号有機分子の構造変化をピコ秒オーダで観測東工大日経産業新聞
(2013年4月23日PP.9)
超短パルスレーザと高輝度超短パルス電子線
分子の動きを画像化
360
2013年 5月号テラヘルツ波を用いた高感度顕微鏡岡山大日経産業新聞
(2013年2月9日PP.7)
フェムト秒レーザを照射
数十μm〜数百μmの物体を測定可能
数分間で計測
360
2013年 5月号肝臓のCT画像を3次元化立命館大
関西医科大
日経産業新聞
(2013年2月25日PP.9)
自動的に変換
手術シミュレーション向け
360
450
2013年 3月号EUV利用のフォトマスク欠陥検査装置東北大
EUVL基盤開発センター
日経産業新聞
(2012年12月19日PP.7)
13.5nm波長のEUV光
解析能力30nm
16nm世代パターン観察に適用可能
160
360
2013年 3月号ヘリウムイオン顕微鏡向け高解像度撮影で新技術産総研
中国四川大
スペインバスク大
日刊工業新聞
(2012年12月25日PP.12)
HIM 見える像を予測
高解像度の画像を撮影
360
2013年 2月号生体組織を染色せず観察する顕微鏡阪大
キヤノン
日経産業新聞
(2012年11月13日PP.10)
誘導ラマン散光
波長1μm〜0.03μmに可変
核や細胞質を見分ける
360
2013年 2月号軟骨などを高精細撮影するX線装置東北大
兵庫県立大
コニカミノルタエムジー
日経産業新聞
(2012年11月20日PP.9)
幅5.3μmのすだれ状格子
干渉波観測して画像化
360
2012年12月号超小型テラヘルツ波プローブ情通機構
スタック電子
日刊工業新聞
(2012年9月25日PP.26)
直径10mm
長さ60mm
ペン型
3THzまで検出
360
2012年10月号プローブを使った半導体描画技術東芝
技術研究組合BEANS研究所
東大
日刊工業新聞
(2012年7月10日PP.23)
回路線幅50nmの微細加工が可能
プローブの先端に庇部と接触部を設けた新構造
260
360
2012年 9月号電子顕微鏡で原子レベルの電場観察東大日刊工業新聞
(2012年6月25日PP.17)
日経産業新聞
(2012年6月27日PP.7)
SEMの検出器を4分割360
660
2012年 7月号手のひらサイズのディジタルホログラフィック顕微鏡千葉大
木更津工高専
日刊工業新聞
(2012年4月17日PP.1)
LEDとウェブカメラを使用
縦80mmx横120mmx高さ55mm
画像分解能は横20μm・縦40μm
30fps
360
320
330
2012年 2月号70nm分解能で角度分解測定東大日刊工業新聞
(2011年11月25日PP.23)
放射光3次元ナノECSA360
2011年11月号生きた細胞観察が可能な新型顕微鏡原子力機構
奈良女子大
日経産業新聞
(2011年8月18日PP.12)
分解能90nm
軟X線
波長数nm
20nm厚の金の薄膜で集光
360
2011年11月号鉄原子1個の触媒作用を動画撮影東大日経産業新聞
(2011年8月23日PP.10)
フラーレンに鉄原子を含む有機分子を結合
CNTに詰め込む
360
2011年11月号固体表面の分子を30fpsで測定高エネルギー加速器研究機構
慶応大
日経産業新聞
(2011年8月30日PP.9)
分子の種類と量を測定
軟X線吸収分光法
触媒開発に応用
360
2011年10月号3D原子像を可視化する電子顕微鏡東北大
堀場製作所
日刊工業新聞
(2011年7月22日PP.23)
日本経済新聞
(2011年7月25日PP.11)
逆X線光電子ホログラフィ
光の波としての性質を使用
走査型電子顕微鏡を改良
360
2011年 6月号試料の反射で凹凸観察するミラー電子顕微鏡日立日経産業新聞
(2011年3月11日PP.9)
視野が広く観察効率10倍
50nm/画素での観察で16nmのずれを見分ける
試料表面をマイナスに帯電させる
360
2011年 2月号薄膜の堆積速度を調整可能なスパッタ装置山口大日刊工業新聞
(2010年11月12日PP.20)
装置1台で薄膜を形成
稼働磁場発生機構
1分間の堆積速度15nmから50nmまで調整可能
360
2011年 1月号水溶液中の金属電気分解反応の観察技術東北大日経産業新聞
(2010年10月27日PP.1)
光学顕微鏡により短時間で原子レベルを観察可能に660
360
2010年 4月号X線量8割減のCT撮影東芝メディカルシステムズ日経産業新聞
(2010年1月13日PP.1)
ノイズ除去
画像補正
画像処理
360
620
2010年 4月号がん細胞転移を精度100倍で観察東北大日経産業新聞
(2010年1月19日PP.11)
nm精度
独自開発の顕微鏡
PAR1
9mmの精度
360
2009年 9月号生きた細胞を3次元観察できるSRS顕微鏡阪大日刊工業新聞
(2009年6月8日PP.18)
光を当てた場所からみて横方向に0.5μm
奥行き方向に1μmの解像度
誘導ラマン散乱(SRS)現象
360
2009年 8月号円偏光を利用した3次元計測技術東北大日経産業新聞
(2009年5月1日PP.9)
顕微鏡・望遠鏡の画像を3次元化
エリプソメータを取り付けたカメラ
反射光
円偏光フィルタ
520
360
2009年 6月号原子レベルで分析可能な透過型電子顕微鏡日本電子日刊工業新聞
(2009年3月5日PP.7)
球面収差補正装置
分解能0.08nm
360
2009年 6月号2層CNTの内部構造を観察する技術日立
名大
東北大
日経産業新聞
(2009年3月23日PP.12)
走査型トンネル顕微鏡(STM)
電子の干渉
先端直径30nm以下のSTM探針
0.1V印加
外側の直径2nm
内側の直径1.4nmの2層CNT
画像処理で電子の密度を色の濃淡で示す
120
360
2008年10月号結像レンズを使わない電子顕微鏡北大
日立
日刊工業新聞
(2008年7月30日PP.28)
TEMと同等の分解能
光の回折パターンを計算処理
SEM
410
360
2008年 9月号CNT成長を原子レベルで観察阪大日刊工業新聞
(2008年6月12日PP.22)
CNTが鉄触媒から成長する様子を原子レベルで捉えることに成功
センタイト(Fe3C)結晶
120
360
2007年11月号マイクロプラズマによる誘電率変化現象京大日刊工業新聞
(2007年8月31日PP.27)
メタマテリアル
生体診断
Al2O3の誘電体を塗布した金属板に約1mm角のアレイ構造の穴
Heガス
パルス電圧
3GHz〜3THz
120
360
2007年 6月号鮮明の動画を撮影でき
撮影速度2.6倍の顕微鏡
金沢大日経産業新聞
(2007年3月9日PP.1)
ナノメートル単位の「探針」で物質の表面をなぞり分子レベルで観察できる原子間力顕微鏡(AFM)360
2006年 9月号色でナノ構造観察する光学顕微鏡阪大日刊工業新聞
(2006年6月21日PP.31)
散乱光の色の変化
約20nmの金属針
波長532nmの光照射
CNTの構造変化を測定
210
320
360
2006年 8月号高速PC板用レーザ直描型露光装置ペンタックスインダストリアルインスツルメンツ電波新聞
(2006年5月29日PP.7)
照度を従来比3倍
新オプティカルエンジン
DI
回路線幅10μm
毎時160面処理
360
2006年 7月号テラヘルツ波の光子画像化に初めて成功東大日刊工業新聞
(2006年4月8日PP.4)
走査型顕微鏡
従来の100倍の速度の光子検出器
既存の1000倍以上の感度
210
320
360
2006年 6月号高速で3次元撮影
-眼病予防などに応用-
筑波大日経産業新聞
(2006年3月2日PP.10)
光干渉断層計(OCT)を50倍高速化
カネボウ化粧品と共同
皮膚の3次元画像撮影
波長1.3μmの近赤外線
目の3次元画像1枚を2秒で撮影
210
360
660
2006年 3月号起立型ダブルゲートMOSトランジスタ
-中性粒子ビームエッチング技術確立-
産総研電波新聞
(2005年12月16日PP.6)
時間変調塩素プラズマ
加速した負イオン効率よく中性化
Si基板表面の平坦性も1nm以下
160
360
2006年 1月号微小流路内で液体の流れ3次元化東京理科大
京大
千葉大
日刊工業新聞
(2005年10月14日PP.25)
流路を1台の高速デジタルビデオカメラで毎秒1000枚撮影
直径1μm程度の微粒子を混ぜた液体を使用
ホログラム
レーザ光照射
干渉しま模様を撮影
μTAS
310
620
360
2005年12月号変調光波形を3次元観測する光電界測定技術日立日刊工業新聞
(2005年9月27日PP.35)
大容量光多値通信
自己ホモダイン干渉計
干渉波の縦成分と横成分を分離して計測し合成して表示
強度と位相で16値変調した40GHzの信号を3次元で可視化
250
440
660
360
2005年11月号最薄の5μmのSiウェハ
-紙並みの曲がりに道-
東京精密日経産業新聞
(2005年8月24日PP.1)
厚さ725μmのウェハを2種類のダイヤモンド砥石で10μm程度まで削った後SiOで研磨するポリッシュグラインダー160
360
2005年10月号LSI配線中欠陥を3次元像化
-超高圧電子顕微鏡-
阪大日刊工業新聞
(2005年7月29日PP.37)
断層撮影
トモグラフィー法
加速電圧300万V
360
660
2005年 9月号単一のT字型量子細線光吸収を初めて観測東大物性研
ベル研
日刊工業新聞
(2005年6月14日PP.27)
量子細線
光吸収測定
量子細線レーザ
光変調器
GaAsとAlGaAsで断面が14×6nm
120
360
660
2005年 6月号テラヘルツ波で2次元断層画像阪大日刊工業新聞
(2005年3月8日PP.1)
実時間
非接触
超音波エコー
電気光学結晶
ビーム範囲数mm
深さ数百μm測定時間100ms
10フレーム/秒
360
660
2005年 5月号電子線描画装置にダイヤ住友電工日刊工業新聞
(2005年2月16日PP.1)
EB装置
ダイヤ電子源
10倍大きい照射電流
360
120
2005年 3月号直径1.5mmのギヤードモータ東北大
並木精密宝石
YKK
電波新聞
(2004年12月28日PP.2)
NiZr基の金属ガラス
長さ9.4mm
単体直径288μm
遊星ギヤ
起動トルク0.1mN・m
260
360
2005年 1月号ナノ空孔3次元解析
-次世代半導体量産化に貢献-
Selete日経産業新聞
(2004年10月6日PP.1)
透過型電子顕微鏡(TEM)
数十枚の顕微鏡画像を合成
65nm半導体
多孔質ローK膜
最適な絶縁膜を選べる
660
360
2004年12月号走査型トンネル電子顕微鏡(STM)
-半導体の不純物分布を数ナノレベルで計測-
半導体MIRAIプロジェクト日経産業新聞
(2004年9月6日PP.7)
Si表面をNH4Fで処理
洗浄用純水中の酸素濃度を減らし
映像ノイズを減らす
660
360
2004年12月号FeRAM最適結晶選別新技術松下電器日経産業新聞
(2004年9月15日PP.9)
強誘電体薄膜に電子線照射
結晶粒の大きさや向きを検出
230
360
2004年12月号超精密切削平坦化技術
-先端LSI高密度実装可能に-
富士通
ディスコ
東芝機械
日刊工業新聞
(2004年9月28日PP.1)
超精密フライス加工
突起状電極のバンプを平坦化
半導体露光装置並みの超精密な吸着法
200mm径ウェハの面内吸着精度±0.5μm
加工精度の面内±1μm
加工後高さばらつき標準偏差±0.24μm
表面粗さ0.012μm
360
2004年11月号ナノチューブの炭素原子の配列・格子欠陥産総研日経産業新聞
(2004年8月19日PP.6)
透過型電子顕微鏡
電子ビームに加える電圧を低下
感度5〜6倍向上
360
660
2004年 9月号ナノ結晶の原子構造を高速に決定
-解析時間1/100に-
高輝度光科学センタ
東工大
日刊工業新聞
(2004年6月29日PP.33)
大型放射光施設Spring-8
0.05nm のX線
原子4層分の縞状ナノ細胞配列
解析時間数分
360
660
2004年 7月号次世代LSI向けマスク欠陥検査技術東芝
Selete
日経産業新聞
(2004年4月13日PP.7)
198.5nmの遠紫外光採用
マスク1枚を2時間程度で検査
欠陥の種類によっては20nm程度も検出
360
2004年 7月号電子線ホログラフィでCMOS解析


図使用
ファインセラミックスセンター(JFCC)日経産業新聞
(2004年4月19日PP.8)
半導体断面電位解析
不純物の分布を利用
360
430
660
2004年 4月号フェムト秒レーザ使う顕微鏡阪大
理化学研
日経産業新聞
(2004年1月23日PP.7)
日刊工業新聞
(2004年1月23日PP.24)
LSI故障診断
磁界分布変化を検出
分解能3μm
LTEM
360
2004年 2月号X線撮像器
-X線乱反射でIC実装を検査-
アイビット日経産業新聞
(2003年11月14日PP.1)
Al配線材に対応
解像度50μm
後方散乱線も利用
360
660
2004年 2月号ナノレベルの顕微鏡
-DNAを動画撮影-
金沢大日本経済新聞
(2003年11月28日PP.17)
高速原子間力顕微鏡(AFM)
探針の振動周波数600kHz
360
660
2004年 1月号直径0.46nmの走査顕微鏡向け電極慶応大日刊工業新聞
(2003年10月20日PP.1)
光ファイバを加工し先端を電極化
フッ酸のエッチング溶液
アクリル系ポリマー溶液
直径1.1〜980nm程度に制御可能
160
360
2003年 7月号細胞を生きたまま観察オリンパス光学
東工大
日本経済新聞
(2003年4月18日PP.17)
可視光顕微鏡
波長500nmで175nmの物質を観測
360
2006年 9月号色でナノ構造観察する光学顕微鏡阪大日刊工業新聞
(2006年6月21日PP.31)
散乱光の色の変化
約20nmの金属針
波長532nmの光照射
CNTの構造変化を測定
210
320
360
2006年 8月号高速PC板用レーザ直描型露光装置ペンタックスインダストリアルインスツルメンツ電波新聞
(2006年5月29日PP.7)
照度を従来比3倍
新オプティカルエンジン
DI
回路線幅10μm
毎時160面処理
360
2006年 7月号テラヘルツ波の光子画像化に初めて成功東大日刊工業新聞
(2006年4月8日PP.4)
走査型顕微鏡
従来の100倍の速度の光子検出器
既存の1000倍以上の感度
210
320
360
2006年 6月号高速で3次元撮影
-眼病予防などに応用-
筑波大日経産業新聞
(2006年3月2日PP.10)
光干渉断層計(OCT)を50倍高速化
カネボウ化粧品と共同
皮膚の3次元画像撮影
波長1.3μmの近赤外線
目の3次元画像1枚を2秒で撮影
210
360
660
2003年 5月号1000倍感度のX線撮像技術東大
日立
筑波大
高エネルギー加速器研究機構
日刊工業新聞
(2003年2月25日PP.5)
X線位相CT
位相型X線イメージング
位相コントラスト
360
660
2003年 4月号超音波利用の非接触マニピュレータ産総研日刊工業新聞
(2003年1月24日PP.5)
定在波音場
微小物体を自在に3次元移動
1.75MHz音源で実験
260
360
2003年 4月号細胞レベルの観察可能なCT国立がんセンター
東芝
日本経済新聞
(2003年1月24日PP.15)
CT
分解能8μm
採取した組織の細胞壁を観測
360
2003年 3月号新顕微鏡
-材料の歪みを100nmレベルで観察-
農工大日経産業新聞
(2002年12月5日PP.11)
近接場光
先端の直径が10nm
透過型
360
660
2003年 2月号ナノ対応の3次元電子顕微鏡日本電子
東大
日本経済新聞
(2002年11月22日PP.15)
CT手法
様々な角度から電子照射
分解能5〜10nm
撮影2時間
立体画像処理2時間
360
320
2003年 2月号多層CNTで10倍高輝度の電子線
-安定で超寿命-
蘭フィリップス日刊工業新聞
(2002年11月28日PP.5)
多層CNT(MWCNT)
タングステンチップの上に固定
120
360
2002年12月号ナノ応力電子顕微鏡
-素材構造を1nm単位で観察-
京都工芸繊維大日本経済新聞
(2002年9月13日PP.17)
ナノ応力電子顕微鏡360
2002年11月号電子顕微鏡
-最高解像度0.075nm-
米IBM
ニオン
日刊工業新聞
(2002年8月13日PP.4)
走査型電子顕微鏡
磁気レンズ収差を0.1nm以下に動的補正
7枚の磁気レンズ
360
320
2002年10月号産業用X線CT日立
トヨタ
日本経済新聞
(2002年7月30日PP.11)
高エネルギーX線
厚さ35cmの鉄・厚さ1mのアルミまで可
測定対象は最大1.5m・500kgまで
誤差0.1mm
360
2002年 9月号新観察技術
-磁気ヘッドの記録磁界分布をnmスケールで可視化-
日立電波新聞
(2002年6月25日PP.2)
ヘッド表面から30nm領域の記録磁界を可視化
透過型電子顕微鏡
660
230
360
2002年 6月号MRI造影剤-投与量1/10に-日本シューリング
名大
日本経済新聞
(2002年3月8日PP.17)
フラーレン
C82
金属ガドリウム
120
360
2002年 6月号SNOMを使い100nm記録ピットを観測リコー日刊工業新聞
(2002年3月27日PP.7)
走査型近接場光顕微鏡(SNOM)
偏光制御機構
光源780mm
230
360
2002年 4月号近接場光学顕微鏡
-100nm程度の物体判別-
東大日本経済新聞
(2002年1月21日PP.25)
近接場光学顕微鏡
生きている細胞観察用
分解能100nm
波長も観察
光ファイバ
16ギガビットDRAM用
360
2002年 3月号立体動画CT東芝日経産業新聞
(2001年12月28日PP.1)
1回転0.5秒で13cm幅を撮影360
520
2001年11月号X線診断装置用検出器東芝日経産業新聞
(2001年8月7日PP.1)
縦横1500列の画素数
23 角の検出器
非晶質セレン
変換効率70%
210
360
2001年11月号X線CTから立体画像を抽出・再現するソフト名大日経産業新聞
(2001年8月24日PP.9)
0.6mm間隔の断画画像
医療用CT画像
360
520
2001年 8月号,9月号電子線ホログラフィ法ファインセラミックセンター日刊工業新聞
(2001年6月27日PP.7)
フレネル回折光の補正で精度が3〜6倍アップ顕微鏡
660
360
2001年 7月号配線不良を早期発見NEC日本経済新聞
(2001年5月18日PP.17)
レーザSQUID顕微鏡
断線・ショートの検査
660
360
320
2001年 7月号短パルスレーザ顕微鏡阪大日経産業新聞
(2001年5月23日PP.9)
フェムト秒レーザ近赤外線レーザーを照射
色素分子を利用
リアタイムで観察可能
360
2001年 5月号原子配列を立体撮影できる新形顕微鏡奈良先端科技院大日刊工業新聞
(2001年3月5日PP.9)
日経産業新聞
(2001年3月5日PP.9)
円偏光X線
新形顕微鏡
360
450
2001年 4月号スピンSTMで新手法
-原子レベルで磁化分布検出-
東芝日刊工業新聞
(2001年2月22日PP.1)
スピン走査トンネル顕微鏡
ダブルバイアス法
分解能1nm
トンネル電流1nA以下
360
2001年 3月号超音波診断装置
-立体画像の撮影可能に-
東芝日経産業新聞
(2001年1月24日PP.1)
2次元プローブ
64×64素子
30フレーム/sの立体画像
360
450
2001年 2月号特徴電子顕微鏡使い検出科技庁日仏共同研究チーム東京新聞
(2000年12月22日PP.10)
金属原子ガドニウム
カーボンナノチューブ
チューブの直径1.6nm
320
360
2001年 2月号光の波長
計測精度10000倍に
工技院計量研
英バース大
日経産業新聞
(2000年12月21日PP.7)
チタン・サファイア固体レーザ
光ファイバ
0.1nm間隔の物差し
卓上サイズの装置
320
360
2001年 2月号X線レーザ装置を小形化豊田工大日経産業新聞
(2000年12月20日PP.13)
波長15.4nmのX線レーザ
X線光電子顕微鏡
350
250
360
2001年 2月号小形硬X線発生装置立命館大日刊工業新聞
(2000年12月1日PP.7)
卓上サイズの装置
硬X線発生
200k電子V以上
350
360
2000年10月号新形X線顕微鏡
-細胞や染色体鮮明に-
明大
千葉大
日経産業新聞
(2000年8月24日PP.9)
X線顕微鏡
走査形電子顕微鏡を利用
10nmに絞った電子ビーム
分解能0.1μm
立体的な像
360
2000年 7月号脳機能計測の新技術日立
日立メディコ
ナックイメージテクノロジ
特殊教育総合研
日本経済新聞
(2000年5月27日PP.13)
MRI
速度5倍
画質4倍
360
2000年 7月号人工声帯で発声するロボット早大
NTT
日経産業新聞
(2000年5月16日PP.8)
人工声帯
ロボット
発声メカニズム
620
360
2000年 6月号微細な磁界分布を観察する顕微鏡東海大日刊工業新聞
(2000年4月6日PP.6)
走査形マイクロホールプローブ顕微鏡(SHPM)
ホールセンサ
走査トンネル顕微鏡
1μm以下の分解能
360
2000年 5月号干渉形電子顕微鏡
-世界最高の分解能-
日立日本経済新聞
(2000年3月7日PP.3)
日経産業新聞
(2000年3月8日PP.5)
電子顕微鏡
分解能49.8pm
電子線ホログラフィ
360
2000年 1月号3次元CT用高速画像再構成・表示技術ソニー木原研日経産業新聞
(1999年11月19日PP.5)
電波新聞
(1999年11月19日PP.2)
日刊工業新聞
(1999年11月19日PP.7)
X線カメラ
分解能0.06mm
MPU最大78個
3次元CT

コーンビーム形X線

最大10GFLOPS
420
520
360
2000年 1月号3次元電子顕微鏡
-ナノ構造を立体で観察-
理化学研
日本原子力研
名大
工学院大
日立
日刊工業新聞
(1999年11月3日PP.5)
日経産業新聞
(1999年11月4日PP.4)
分解能0.2nm
3次元画像
3次元顕微鏡
画像処理
エネルギー分析
360
320
520
1999年12月号光CT装置島津製作所
浜松ホトニクス機械技術研北大
日刊工業新聞
(1999年10月5日PP.6)
近赤外光
200ns間隔の100ps光パルス
770nm・800nm・830nmの3波長
320
210
360
1999年12月号超微細放電加工装置
-せん孔時間1/100以下に-
松下電器日経産業新聞
(1999年10月25日PP.1)
直径20μmの微細穴360
1999年 9月号歯科用小形X線CT
-歯の断面像,簡単に-
日大日本経済新聞
(1999年7月3日PP.11)
撮影17秒
パソコン処理10分
撮影領域4cmφ×
 3cm
分解能0.25mm
360
1999年 9月号次世代半導体素子
-微細構造を精密検査-
富士通研
阪大
日経産業新聞
(1999年7月13日PP.5)
次世代半導体素子
微細構造
顕微鏡
360
1999年 6月号X線立体撮影システム日立製作所日経産業新聞
(1999年4月1日PP.5)
日刊工業新聞
(1999年4月1日PP.6)
解像度0.4mm540
360
1999年 5月号ステッパ解像度倍増の光学露光技術キヤノン日経産業新聞
(1999年3月2日PP.1)
二重露光360
160
1999年 4月号LSI遠隔操作で性能評価NTT日経産業新聞
(1999年2月23日PP.5)
超高圧電子顕微鏡360
440
1999年 1月号STMで元素識別
-X線当て光電子検出-
東北大
金属材料研
日刊工業新聞
(1998年11月30日PP.1)
光電子
STM
360
1998年10月号高性能CT
-検査速度8倍-
東芝日経産業新聞
(1998年8月28日PP.5)
日本経済新聞
(1998年8月28日PP.13)
ヘリカルスキャンCT
高感度X線検出器
360
1998年10月号脚光浴びる極低温技術
-超電導の応用を拡大-
メーカ各社日刊工業新聞
(1998年8月12日PP.4)
超電導120
360
1998年 8月号ナノ結晶の原子レベル挙動
観察に成功
金属材料研日刊工業新聞
(1998年6月19日PP.4)
金属結晶
イオン照射
ナノ結晶
キセノン
電子顕微鏡
360
660
1998年 7月号有機材料の表面化学構造東芝日刊工業新聞
(1998年5月28日PP.7)
AFM
アミノ酸
360
1998年 5月号走査型トンネル顕微鏡
-144個の原子を一挙に操作-
米コーネル大日経産業新聞
(1998年3月24日PP.5)
走査型トンネル顕微鏡
STM
大容量メモリー
原子記憶素子
360
230
1998年 3月号光電子顕微鏡
-原子レベルの精度に-
NTT
日経産業新聞
(1998年1月26日PP.5)
放射光
エネルギー分解能0.05eV
ビーム径0.16μm
原子間化学結合状態と電子のエネルギー状態を観測
360
1997年12月号走査型水素検出顕微鏡日本電子
豊田工大
日経産業新聞
(1997年9月26日PP.5)
走査型水素検出
顕微鏡
分解能1μm以下
360
1997年10月号ナノメートルの領域で硬さ測定科学技術庁日経産業新聞
(1997年8月25日PP.5)
AFM
ダイヤモンド針
360
660
1997年10月号電子顕微鏡を小型化できる新技術富士通研日本経済新聞
(1997年8月23日PP.10)
Si冷陰極
解像度0.2μm
電子銃
360
1997年 9月号レーザ顕微鏡
-撮影速度30倍 細胞活動克明に-
横河電機日本経済新聞
(1997年7月28日PP.17)
共焦点型レーザ顕微鏡
深さ分解能0.5μm
時間分解能1ms
360
1997年 7月号LB膜で高密度記録・再生キヤノン日経産業新聞
(1997年5月12日PP.5)
分子素子
LB(ラングミュア
ブロシト)膜
次世代メモリー
1Tb/cm2
SPM
分子素子材料
高密度記録再生
メモリー
記録速度2μs/b
読出し100kbps
SPM書込み
AFM読出し
130
360
1997年 6月号医用画像を立体表示日本ビクター
GEYMS
電波新聞
(1997年3月31日PP.1)
日経産業新聞
(1997年4月24日PP.1)
医用画像
立体表示
レンズ板
450
360
430
1997年 5月号色素分子による光メモリー-情報量DVDの200倍-東芝日経産業新聞
(1997年3月4日PP.1)
色素分子
光メモリー
原子間力顕微鏡記録
光ファイバ読取り
Tb級メモリー
Si基板に有機分子蒸着
2010年頃実用化へ
色素
DVD
130
230
360
1997年 2月号超高密度記録技術日立製作所日本経済新聞
(1996年12月14日PP.12)
1.2Tb/cm2
1Mbps以上の速度で読出し
原子間力顕微鏡
230
360
1996年12月号光磁気効果を紫外線領域で測定可能な新システム豊田工大日経産業新聞
(1996年10月29日PP.5)
日刊工業新聞
(1996年10月29日PP.11)
測定装置320
360
1996年11月号超高解像度外観検査装置富士電機電波新聞
(1996年9月26日PP.26)
平面検査装置
2048画素ラインセンサ
DSPによる並列処理
210
360
330
1996年10月号レーザ光で断層像撮影
-反射光のずれ画像化-
東大
浜松ホトニクス
日経産業新聞
(1996年8月29日PP.5)
レーザ光
CT
干渉縞
250
360
1996年10月号立体像が得られる新型光学顕微鏡通信総研日本経済新聞
(1996年8月24日PP.10)
光学顕微鏡
立体像
360
450
1996年 7月号1Tbの光ディスク記録技術日立製作所日経産業新聞
(1996年5月13日PP.5)
顕微鏡
光ディスク
高密度
走査型近接場光顕微鏡
1Tb
ディスク
相変化ディスク
170Gb/inch2
読出し速度10Mbps
SNOM
相変化型
12cmディスクに1Tb
230
260
360
1996年 6月号X線顕微鏡
-生物試料そのまま観察-
理化学研日経産業新聞
(1996年4月12日PP.5)
X線顕微鏡
CCD
360
1996年 3月号ディジタルX線撮影装置
-量半分で鮮明画像-
島津製作所日経産業新聞
(1996年1月14日PP.13)
ディジタルX線360
310
320
1996年 3月号自律走行ロボット
-カメラ画像だけで-
筑波大日経産業新聞
(1996年1月8日PP.5)
ロボット310
360
420
1995年 9月号量子干渉効果を観測NTT日刊工業新聞
(1995年7月20日PP.7)
半導体中の超電導電流
HEMT+超電導電極
量子効果
観測技術
120
660
360
1995年 8月号皮膚ガン診断装置豪ポーラーテクニクス日経産業新聞
(1995年6月28日PP.2)
画像処理
ME
520
620
360
1995年 8月号分解能15倍の光学顕微鏡NTT日経産業新聞
(1995年6月14日PP.5)
日刊工業新聞
(1995年6月14日PP.7)
光学顕微鏡
分解能20nm
360
1995年 5月号次世代半導体装置向け非接触の基板搬送技術
-5kgの基板触れずに浮揚-
カイジョー日経産業新聞
(1995年3月13日PP.1)
5kg
7mm浮上
360
160
1995年 4月号樹脂熱圧着方式
-LCDのフレーム面積を大幅に削減-
シャープ電波新聞
(1995年2月9日PP.7)
リードフレーム250
360
1995年 4月号酸化Si高速成膜LCD
-大型化に弾み-
日本真空技術日経産業新聞
(1995年2月7日PP.1)
大型LCD
CVD
360
250
1995年 2月号コンパクトな力センサ東大日経産業新聞
(1994年12月2日PP.5)
力センサ
AFM(原子間力顕微鏡)
210
360
1994年11月号超高密度記録の光ディスク
-相変化光ディスク1Tb/cm2-
松下電器産業電波新聞
(1994年9月17日PP.1)
日刊工業新聞
(1994年9月17日PP.5)
相変化光ディスク
1Tb/cm2
3.5インチ
1800時間
AFM利用
原子間顕微鏡
探針記録方式(AFM)方式
ビット径10nm
230
360
1994年10月号超真空原子間力顕微鏡広島大日経産業新聞
(1994年8月9日PP.4)
顕微鏡
高解像度
分解能0.1
360
1994年 8月号元素分布高分解能で高速撮影日立製作所日経産業新聞
(1994年6月24日PP.5)
透過型電子顕微鏡360
1994年 8月号レーザ干渉計利用の小型装置
-0.4nmの高分解能-
ニコン日経産業新聞
(1994年6月22日PP.3)
レーザ干渉計360
1994年 8月号放射光利用の高精細血管造影装置東海大日経産業新聞
(1994年6月14日PP.5)
X線撮影
放射光
分解能直径85μm
360
1994年 6月号半導体デバイス用マスク観察走査顕微鏡日本電子電波新聞
(1994年4月15日PP.2)
顕微鏡360
1994年 6月号3顕微鏡を複合化広島大日刊工業新聞
(1994年4月5日PP.6)
走査トンネル顕微鏡
原子間力顕微鏡
走査容量顕微鏡
360
1994年 5月号微粒子内部の3次元立体構造
-原子レベルで解明-
東北大日刊工業新聞
(1994年3月18日PP.7)
3次元立体構造
ミクロトープ法
360
1994年 5月号256MDRAMの開発対応エキシマステッパ出荷ニコン電波新聞
(1994年3月17日PP.9)
160
360
1994年 5月号高周波透磁率測定器アモルファス
電子デバイス研
日刊工業新聞
(1994年3月12日PP.1)
測定器
高周波透率測定
1GHz
パラレルライン法
360
1994年 4月号世界最小の物差し
-0.2μmの寸法を校正-
日立製作所電波新聞
(1994年2月25日PP.2)
測定用標準試料
マイクロスケール
260
360
1994年 3月号物質の凹凸と性質を同時に調べる新型顕微鏡セイコー電子
東工大
日経産業新聞
(1994年1月31日PP.5)
走査型近視野
原子力間顕微鏡
光ファイバ針
分子レベル調査
360
1994年 3月号新走査型顕微鏡電総研日本経済新聞
(1994年1月8日PP.12)
走査型マクスウェル顕微鏡(SMM)
nmレベル
360
1994年 2月号高感度MRI
-脳機能を画像化-
新技術事業団日経産業新聞
(1993年12月20日PP.5)
ME
脳機能
360
1994年 1月号液体ヘリウム不要の超電導磁石
-新冷凍機による-
東芝電波新聞
(1993年11月20日PP.2)
日刊工業新聞
(1993年11月20日PP.5)
超電導磁石
新技術で4.2Kまで冷却
360
1994年 1月号超電導小型SRリンク三菱電機電波新聞
(1993年11月16日PP.1)
シンクロトロン
超電導
超微細加工SRリンク
軌道間長9.2cm
世界最小
360
160
1994年 1月号電子放射顕微鏡
-有機物質表面の分子一層を観察-
東大
日本電子
日経産業新聞
(1993年11月4日PP.5)
電子放射顕微鏡360
1993年12月号高温超電導体磁束量子観測
-動的観察に成功-
日立製作所電波新聞
(1993年10月22日PP.1)
日経産業新聞
(1993年10月22日PP.4)
超電導体磁束量子観測
高温超電導
360
1993年12月号10nm測定エバネッセント場顕微鏡阪大日刊工業新聞
(1993年10月14日PP.5)
エバネッセント場顕微鏡360
1993年11月号シャトル型真空チャンバ日立製作所電波新聞
(1993年9月21日PP.1)
真空チャンバ360
1993年11月号磁化分布直接観察電子顕微鏡
-20nmの磁化分布直接観察-
日立製作所日刊工業新聞
(1993年9月21日PP.6)
スピンSEM
分解能20nm
磁気記録媒体の評価
電子顕微鏡
360
1993年10月号骨の微細構造を立体的に表現奈良先端大学院大日刊工業新聞
(1993年8月6日PP.5)
X線マイクロCT360
1993年 9月号クリーンルーム不要のIC製造システム米テキサスインスツルメンツ日経産業新聞
(1993年7月28日PP.1)
ウェハ加工システム
加工時間短縮
360
1993年 9月号光ファイバ研磨機NTTアドバンステクノロジ日刊工業新聞
(1993年7月20日PP.11)
光ファイバ
研磨機
240
360
1993年 9月号原子レベル観察の特殊顕微鏡阪大
日立製作所計測エンジニアリング
日刊工業新聞
(1993年7月6日PP.1)
特殊ヒータ付
原子レベル観測・分析
電子顕微鏡
360
1993年 7月号超音波力顕微鏡工技院機械技研日経産業新聞
(1993年5月19日PP.5)
超音波力顕微鏡
原子レベル観察
顕微鏡
超音波振動子
解像力5nm
360
1993年 4月号世界最小の歯車東芝電波新聞
(1993年2月9日PP.2)
日経産業新聞
(1993年2月9日PP.5)
日刊工業新聞
(1993年2月9日PP.12)
日本工業新聞
(1993年2月9日PP.13)
マイクロマシン
マイクロギア
放電加工
タングステンワイヤ
歯車
直径0.3mm
世界最小
160
360
1992年 9月号光学ヘッドの小型化技術
-光信号の検出部品1個の素子に集約-
東芝日経産業新聞
(1992年7月15日PP.5)
ホログラム素子
光ディスク駆動装置
360
230
1991年 1月号幅1nmの溝刻む日本電子日経産業新聞
(1990年11月22日PP.0)
STM360
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