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題 目発表社情報源キーポイント 分類
番号
2018年 2月号低波長の2光子融合
高エネ光変換技術開発
東工大日刊工業新聞
(2017年11月17日PP.23)
深共晶溶媒
波長530nmの緑の光を440nmの青に42%の効率で変換
120
2018年 2月号高い耐熱・熱伝導性
完全CNT製 放熱シート開発
富士通研日刊工業新聞
(2017年11月30日PP.21)
熱伝導率1mK/80W 700℃以上の高温に耐える
カーボンナノチューブ
120
2018年 1月号GaNトランジスタの結晶層を発見物材機構日刊工業新聞
(2017年10月26日PP.23)
絶縁層とGaNの界面に1.5nmのガリウム磁化膜の薄層220
2018年 0月号ナノ多層薄膜
常温常圧で容易構築
大阪府大日刊工業新聞
(2017年9月20日PP.27)
π電子の相互作用により積層されやすいフラットな形状の分子を使用160
2017年11月号壊れず拭き取り可能
モスアイ構造フィルム開発
理科大日刊工業新聞
(2017年8月9日PP.23)
ナノインプリント技術で転写130
160
2017年10月号シリコン・化合物半導体融合 により高性能光変調器作製
光通信大容量化に道
NTT日刊工業新聞
(2017年7月19日PP.30)
日経産業新聞
(2017年7月21日PP.8)
インジウムリン系化合物半導体 従来比役10倍の変調効率
変調領域波
0.25nm
32Gbpsの変調性能

シリコンフォトニクス
光変調器
シリコン基板
小型化
240
2017年10月号電子が偏る様子観測東京農工大日経産業新聞
(2017年7月28日PP.12)
レーザ
微細加工
電子の偏り
ナノメートルサイズ
120
250
160
2017年 9月号ゲルマニウムLSIに一歩 超薄膜構造均一化産総研日刊工業新聞
(2017年6月7日PP.23)
10nm以下の均一な超薄膜構造160
2017年 9月号電子伝導性と白色発光発見名大日刊工業新聞
(2017年6月20日PP.34)
カーボンナノリング120
2017年 9月号量子ナノディスク作成 発光効率100倍に東北大日刊工業新聞
(2017年6月22日PP.25)
窒化物量子ドット発光ダイオード
直径5nmの窒化インジウムガリウムと窒化ガリウムの3次元構造を持つ量子ドット(量子ナノディスク)
発光効率100倍
直径5nmの窒化インジウムガリウムと窒化ガリウムの3次元構造を持つ量子ドット
160
250
2017年 8月号白色発光する透明高分子立命館大日刊工業新聞
(2017年5月29日PP.21)
波長366nmの紫外線を当てると
400n-700nmの可視光を発光
紫外線を当てると可視光領域全体で発光
発光効率5%
曲面対応
120
2017年 7月号光子1個ごと見える顕微鏡開発
光子1個色を識別
産総研日刊工業新聞
(2017年4月6日PP.21)
日経産業新聞
(2017年4月13日PP.8)
計測可能波長200nm〜2000nm,光強度0.16fW,光子顕微鏡,超電導光センサー360
210
2017年 7月号レーザ発振・高速変調動作 ナノワイヤで実証NTT日刊工業新聞
(2017年4月7日PP.23)
10Gbpsの高速変調動作に成功240
2017年 7月号カーボンナノベルト初合成名大日刊工業新聞
(2017年4月14日PP.23)
パラキシレンを炭素原料
直径約0.8nm
120
2017年 7月号物質表面のナノ構造アルミ
思い通りの色彩に

アルミニウムのナノ構造体で「色」を作る
-半永久的に失われず塗料より軽い「メタマテリアル・カラー」-
http://www.riken.jp/pr/press/2017/20170426_1/
理化学研究所日刊工業新聞
(2017年4月27日PP.23)
メタマテリアル160
2017年 6月号深紫外LED5倍効率化理研日刊工業新聞
(2017年3月29日PP.31)
外部量子効率
275nmで 20.3%
水銀ランプの効率に迫る水準
250
2017年 5月号蓄電容量4倍の電極材東大日経産業新聞
(2017年2月9日PP.8)
電池
電極材料
カーボンナノチューブ
120
250
2017年 5月号単一超電導ナノチューブ利用
トランジスタ開発
東大日刊工業新聞
(2017年2月27日PP.21)
二硫化タングステンナノチューブにおいて超電導の発現を発見。単一ナノチューブにおける超電導の初めての報告。220
2017年 4月号素子の接合面 非破壊評価英ヨーク大日刊工業新聞
(2017年1月9日PP.13)
SEMの加速電圧制御
深さ100nmまで連続的に観察
660
2017年 3月号3次元フィン型ゲルマニウムトランジスタ開発東北大など日刊工業新聞
(2016年12月6日PP.23)
中性粒子ビーム加工
フィン幅6nm
従来比オン電流約6倍
220
2017年 2月号電子多い電流で量子効果
大電流で量子効果
NTTなど日経産業新聞
(2016年11月9日PP.8)
量子コンピュータ
量子効果
超電導
物理現象
2枚のアルミニウムで酸化アルミを挟んだ約90nm厚のジョセフソン結合
120
2017年 2月号折曲げ自由自在 テラヘルツ検出器東工大日刊工業新聞
(2016年11月16日PP.25)
日経産業新聞
(2016年11月16日PP.8)
カーボンナノチューブ(CNT)
従来のCNTテラヘルツセンサと比べ感度50倍
210
2017年 1月号600℃でも機能維持する不揮発性メモリー素子
600度でも記録保持
千葉工大など日刊工業新聞
(2016年10月17日PP.16)
日経産業新聞
(2016年10月27日PP.8)
白金のナノギャップ構造を利用
二つの白金電極をナノレベルの間隔を隔てて並べた
半導体が動作しない高温環境下でも動作
230
2016年12月号透明な強磁性体
電気機器への応用期待
電磁材料研日経産業新聞
(2016年9月30日PP.12)
ナノグラニュラー膜
磁性体の透明度
120
2016年11月号シリコンナノ構造を活用した熱電変換素子東北大など日刊工業新聞
(2016年8月22日PP.21)
直径10nm以下
高さ30nm〜100nmのシリコンナノワイヤを1平方cmあたり10の11乗個
既存の素子に比べ
安価で汎用性が高く
大幅な小型化も可能
210
250
2016年11月号角状分子がつながる
ナノ炭素材料開発
NEC日刊工業新聞
(2016年7月1日PP.29)
カーボンナノブラシ
角状炭素分子がつながった繊維
電気を通しやすい
120
2016年11月号電子の移動
1個ずつ制御
シリコン単電子転送素子 
電流再定義へ一歩
NTT日経産業新聞
(2016年7月6日PP.8)
日刊工業新聞
(2016年7月6日PP.23)
シリコン半導体素子
1GHz動作で10-6以下の転送エラー率
直径10nmのシリコン線上に2個のシリコントランジスタを配置した200nmの素子
220
660
2016年11月号波長変えられる蛍光材料
カーボンナノチューブ応用
九大日経産業新聞
(2016年7月11日PP.8)
化学修飾する分子の長さで波長を自由に調整250
2016年 9月号超電導ナノワイヤで特異現象

http://www.keio.ac.jp/ja/press_release/2016/osa33qr000001r2pm.html
慶大
物材機構
群馬大
日刊工業新聞
(2016年6月8日PP.21)
超電導ナノワイヤ
超高感度光検出器
カーボンナノチューブ
量子位相スリップ
幅10nmのナノワイヤ
窒化ニオブ結晶
120
220
2016年 9月号電圧で曲がる光ファイバー豊橋技科大日刊工業新聞
(2016年6月20日PP.19)
ナノファイバ
光ファイバ
アクチュエータ
圧力センサ
電圧100Vで4%膜厚増
 -100Vで9%縮む
210
240
250
2016年 9月号量子情報光チップに道

http://www.kyoto-u.ac.jp/ja/research/research_results/2016/160523_1.html
京大日刊工業新聞
(2016年5月20日PP.29)
フォトニック結晶
ナノ共振器
量子情報光チップ
光を数10ps以内に転送
120
220
2016年 6月号Q値
世界最高水準150万
光ナノ共振器大量作成

http://www.osakahu-u.ac.jp/info/publicity/release/2015/pr20160316.html
大阪府大
産総研
日刊工業新聞
(2016年3月17日PP.27)
Q値150万
光ナノ共振器
フォトリソグラフィ法
大量作成
240
160
2016年 6月号有機半導体動作速度2倍

http://www.toray.co.jp/news/it_related/detail.html?key=DA8EA1B0DF6BA34349257f8000172E84?OpenDocument
東レ日経産業新聞
(2016年3月24日PP.10)
有機半導体
カーボンナノチューブ
動作速度2倍
フィルムに印刷
260
220
2016年 6月号光の粒の波長変換
損失なく光子波長変換

http://www.ntt.co.jp/news2016/1603/160326a.html
NTT日本経済新聞
(2016年3月28日PP.8)
日刊工業新聞
(2016年3月28日PP.26)
量子情報通信
波長変換量約3nm
量子暗号通信
相互位相変調
240
220
2016年 4月号クリアで高効率な赤色蛍光体を開発豊橋技科大日刊工業新聞
(2016年1月11日PP.13)
発光波長625nm 酸化物系蛍光体材料
120
250
210
2016年 4月号記憶性能2倍を実現する次世代不揮発メモリ技術産総研日刊工業新聞
(2016年1月11日PP.13)
19nmの素子サイズのスピントルク書き込み型磁気ランダムアクセスメモリーの実現
230
2016年 4月号曲面上でも圧力計測
折り曲げても性能維持

http://www.t.utokyo.ac.jp/foe/press/setnws_2016012614100745
7986881185.html
東大日刊工業新聞
(2016年1月26日PP.25)
日経産業新聞
(2016年1月29日PP.8)
ナノファイバ
フレキシブル
圧力センサ
210
2016年 1月号世界最小の磁性粒子

http://www.s.u-tokyo.ac.jp/press/9679/
東大日刊工業新聞
(2015年10月7日PP.35)
ナノメートルサイズのハードフェライト磁石
粒子サイズ5n〜40nm,8nmで,5Kエルステッドの保持力
低価格で大量生産可能
磁気テープやプリンター用磁性トナーへの応用
120
2016年 1月号光の振動変える半導体ナノフォトニクス工学推進機構日経産業新聞
(2015年10月29日PP.8)
進行方向に向かって一定方向だけ振動する光(直線偏光)の角度を変える半導体。高速液晶に応用
LCDの10倍以上高速
光の振動方向
250
120
2015年12月号光集積回路を作るための層間信号伝達技術産総研日刊工業新聞
(2015年9月9日PP.23)
厚み600nmの中間層を超えても減衰17%240
2015年11月号薄膜でも特性劣化せず
強誘電体エピタキシャル膜

http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0720150804eaab.html
東工大
東北大
日刊工業新聞
(2015年8月4日PP.23)
結晶方位がそろった単結晶膜
組成を変え薄膜を成長させる基材
15nm
強誘電体相400℃
120
160
2015年11月号折り曲げ変形自在
柔らかいトランジスタ開発
トランジスタ
柔剛兼備

http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2015/pr20150812/pr20150812.html
鳥居・浜田・澤谷産総研
(0年2015月8日PP.12)
13
(6年0月2015日PP.8)
26
(5年0月0日)
19衣類のように柔らかく
曲げたり伸ばしたりしても壊れないトランジスタを開発。単層カーボンナノチューブ
イオンゲル
シリコンゴム
医療用の人体圧力分布センサー開発
オンオフ比1万
220
210
2015年11月号「フォトニック結晶ナノ光ファイバ」の二つの作製方法を開発電通大
石原産業
日刊工業新聞
(2015年8月18日PP.17)
フェムト秒レーザを用いてナノファイバ自身に光共振器を形成
外部回折格子を接触させることで光共振器機能を組込む方法
光子機能を制御
240
260
2015年11月号世界最短波長0.15ナノメートル
原子準位レーザ開発

http://www.uec.ac.jp/about/publicity/media_release/pdf/20150827.pdf
電通大
理研
高輝度光科学研
東大
阪大
京大
日刊工業新聞
(2015年8月27日PP.33)
波長従来比10分の1以下
0.15nm
世界最短波長の原子準位レーザを開発
250
2015年10月号新ナノデバイス開発
もつれ電子対を離れた量子ドットに分離

http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0720150702eabl.html
理研,阪大,東大日刊工業新聞
(2015年7月2日PP.21)
もつれ電子対
非局所性
量子ドット
ナノデバイス
140
2015年10月号有機FET内部の電子状態を動作中に観測東大,物材機構日刊工業新聞
(2015年7月24日PP.33)
スプリング8,3次元走査型光電子顕微鏡装置,空間分解能70ナノメートル360
2015年 9月号ナノワイヤ型の量子ドットレーザを開発

http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0720150630eaaf.html
東大日刊工業新聞
(2015年6月30日PP.21)
世界最小となるナノワイヤ型の量子ドットレーザ,従来に比べ面積は1/100以下,直径290nmのガリウムヒ素製ナノワイヤ,特性温度133K,27℃でレーザ動作に成功240
250
2015年 8月号波長可変
広範に
東北大
情報通信機構
日刊工業新聞
(2015年5月26日PP.25)
1.2マイクロから1.244マイクロメートルの波長範囲
幅400ナノ
高さ220ナノの光導波路
250
2015年 8月号EUV露光用のレジストを開発EUVL基盤開発センター日経産業新聞
(2015年5月28日PP.1)
波長13.5nmのEUVに高感度で反応120
2015年 7月号原子1個を判別可能な電子顕微鏡日立日経産業新聞
(2015年4月13日PP.13)
分解能0.043nm
加速電圧120万ボルト
電子を高速の95%まで加速
360
2015年 5月号固体蛍光体で最短波長の真空紫外光源名工大日刊工業新聞
(2015年2月10日PP.21)
波長140〜220nm
三フッ化マグネシウムカリウム薄膜
250
2015年 5月号カーボンナノチューブの透明導電膜産総研日経産業新聞
(2015年2月10日PP.8)
日刊工業新聞
(2015年2月10日PP.21)
空気中で1000時間以上安定
表面抵抗率60オーム/スクエア
CNTを網目のように配線,ヨウ化銅薄膜の表面にCNTを塗布して強力な光を照射,瞬間的に温度が上昇してヨウ化銅がNTの内部に入り込む
120
2015年 5月号量子ドット立体型ディスプレイ
各面に異なる画像表示

http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0720150218eaaq.html
千葉大日刊工業新聞
(2015年2月18日PP.19)
直径5〜10nmの微細構造セレン化カドミウム製の量子ドットをシリコン樹脂に混ぜた立方体を3次元配置
紫外光を当てると発行する量子ドットを使った立体ディスプレイ
面ごとに異なる画像を同時に表示
250
450
2015年 5月号半導体線幅20nmに対応するナノインプリントリソグラフィ用テンプレートを開発

http://www.dnp.co.jp/news/10107733_2482.html
大日本印刷日経産業新聞
(2015年2月20日PP.6)
微細な回路パターンをテンプレートに作製
紫外線硬化樹脂を利用
160
2015年 4月号光で電圧が発生素子作製東北大
日本原子力研究開発機構
日刊工業新聞
(2015年1月14日PP.27)
直径30ナノから90ナノメートルの金微粒子
磁性ガーネット
表面プラズモン共鳴
10mx5mmの素子
120
220
250
2015年 4月号SiC基板
低温プラズマで微細加工
理化学研究所
慶大
日進工具
日刊工業新聞
(2015年1月14日PP.27)
表面粗さ1ナノメートル以下
送り速度2倍
160
2015年 4月号白熱電球 効率2倍阪大日経産業新聞
(2015年1月28日PP.10)
フィラメントに大きさ数百ナノメートルの穴を多数空けた
LEDに匹敵する効率を狙える
250
2015年 3月号1ナノ素子で微弱光伝送
東大
LSI配線に応用へ

http://www.t.u-tokyo.ac.jp/epage/release/2014/2014112601.html
東大日経産業新聞
(2014年12月3日PP.10)
電子の代わりに光を使うLSIを実現する可能性220
2015年 3月号貴金属を含まない電極東北大日刊工業新聞
(2014年12月15日PP.13)
3次元ナノ多孔質グラフェン120
2015年 3月号「量子もつれ光子対」高速30倍で生成

http://www.nict.go.jp/press/2014/12/19-1.html
情通機構,電通大日刊工業新聞
(2014年12月22日PP.18)
従来比3倍以上高速,1550nm付近の光ファイバ通信波長帯において2個の光子が特殊な相関を持ち結びつく,高速で安定性の高い周波数コム光源を内蔵した2.5GHzの駆動型レーザシステム240
2015年 2月号近赤外光で細胞遠隔操作産総研,東北大他日刊工業新聞
(2014年11月20日PP.26)
近赤外光で熱を発生させる角状炭素構造物「カーボンナノホーン(CNH)」と活性酸素を発生させる色素を組合せた複合体を合成,熱の発生公立が倍,細胞内へのカルシウム流量がCNHの14倍120
2015年 2月号多波長3次元カラー画像を瞬時に記録

http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0720141120eaai.html
関西大日刊工業新聞
(2014年11月20日PP.26)
ホログラフィーを利用して波長情報を選択的に分離・抽出,画像を重ね合せて撮影,空間約800nmの構造を可視化できる分解能,フェムト秒撮影430
2015年 2月号アモルファス合金のナノワイヤによる磁気センサ東北大日刊工業新聞
(2014年11月25日PP.15)
コバルトと鉄を50対50,直径100nm〜3000nm,応答速度従来比1000倍以上210
2015年 1月号16ギガバイトNAND型フラッシュメモリー

http://www.toshiba.co.jp/about/press/2014_10/pr_j0202.htm
東芝日刊工業新聞
(2014年10月3日PP.8)
回路線幅15nmのNANDチップ搭載,従来比約26%小型化,スマートフォンやタブレット向け,コントローラ一体型230
2015年 1月号単電子転送の高速化NTT日刊工業新聞
(2014年10月7日PP.25)
3.5GHで単電子転送,ナノメートル寸法で2層ゲート構造を持つシリコントランジスタをウエハーレベルで作成120
220
2015年 1月号真空より低い屈折率のメタマテリアルを開発理研
国立大湾大
日刊工業新聞
(2014年10月27日PP.19)
日経産業新聞
(2014年10月28日PP.9)
3次元構造,屈折率0.3〜1.9,32.8Thzの電磁波に対して屈折率0.35,ナノメートル寸法の共振器アンテナ素子を大量集積120
2015年 1月号紙製のディスプレイ東大日経産業新聞
(2014年10月29日PP.10)
銀ナノ粒子のインク,温度で色が変わるインク250
2014年12月号バイオ技術で3D構造の量子ドットLED作製東北大学原子分子材料科学高等研究機構日刊工業新聞
(2014年9月5日PP.19)
バイオ技術で3D構造,柱状の3次元量子ドット構造を20nm間隔で高密度に配列,発光波長760ナノメートル120
250
2014年12月号高導電性を持ち光透過性40%の銅薄膜の開発工学院大日刊工業新聞
(2014年9月10日PP.1)
膜厚40nm
常温常圧で溶液をガラス基板に塗布し熱処理で薄膜化する技術を開発。従来手法に比べ装置コストは1/200に。
120
260
2014年11月号物質構造や化学的組成を分子レベルで解析する装置堀場製作所日経産業新聞
(2014年8月27日PP.3)
分解能10nm
ラマン分光器とAFMを組み合わせ
TERS
360
660
2014年11月号レアアース使わずに赤色LED照明を実現レンゴー日経産業新聞
(2014年8月29日PP.3)
鉱物のゼオライトが入った水溶液に銀イオンを混ぜ
特殊な薬品を加えてろ過
約200度で乾燥
穴の大きさが0.4nmのA型ゼオライトを使用
250
2014年 9月号ガラス原料に化学品を分散させる技術の開発日本板硝子日経産業新聞
(2014年6月30日PP.15)
製造で使用する溶液を独自開発しシリカ中に科学品を分散させる技術を開発
酸化チタンを分散した光拡散シートでは
従来の4〜5倍の効果
径4μmのシリカ粒子に数十から数百nmの化学品を分散
160
2014年 8月号低消費電力の光メモリーを開発NTT日本経済新聞
(2014年5月27日PP.15)
フォトニック結晶
光ナノ共振器
100bitを集積
120
230
2014年 7月号グラフェンナノリボン(GNR)を従来法比10倍の高効率で合成京大日刊工業新聞
(2014年4月9日PP.21)
ラジカル重合型化学気相成長法
3種類のGNRを合成可能
120
2014年 7月号燃料電池の白金触媒を削減九大日経産業新聞
(2014年4月11日PP.10)
CNTの表面にPtを塗布
粒径1.2nmのPt微粒子
質量活性8倍に向上
150
160
120
2014年 7月号高品質薄膜を低コストで作成産総研日経産業新聞
(2014年4月23日PP.10)
BaTiO3の場合220℃・20気圧・70時間で1辺15nmのサイコロ状微粒子
厚さ500nの薄膜
850度で1時間熱処理
誘電率3000
160
2014年 6月号基板に塗布印刷可能な単層CNTコート剤産総研
単層CNT融合新材料研究開発機構
日刊工業新聞
(2014年3月5日PP.17)
スーパーグロース法
0.5重量%で溶媒に分散
膜厚を数百nm〜数十μmで制御
最小線幅50μm
120
2014年 5月号スピントロニクス活用で電池の寿命を延ばすMCU東北大
NEC
日刊工業新聞
(2014年2月11日PP.13)
不揮発レジスタの書き込み電力を削減
回路線幅90nmのCMOS回路と三端子MTJ素子を組み合わせたICチップ
220
2014年 5月号28Gbps伝送可能な60GHzミリ波無線機IC東工大日刊工業新聞
(2014年2月12日PP.14)
ミキサファースト型IC
消費電力が送信機168mW・受信機155mW・発信器64mW
65nmのCMOSプロセス技術
60GHz帯
64QAM
220
340
2014年 5月号GaN系量子ドットで室温単一光子源東大日刊工業新聞
(2014年2月13日PP.19)
日経産業新聞
(2014年2月13日PP.11)
有機金属気相成長法(MOCVD)で直径50nm・高さ1.5μmのGaNナノワイヤを作製
通常の半導体製造技術で製造可能
120
160
2014年 5月号化合物半導体ナノワイヤとSi光結晶混載で集積する技術NTT日刊工業新聞
(2014年2月21日PP.17)
直径90nmのインジウム・ヒ素・リンによる化合物半導体
人工的なSi光結晶中の幅約150nmの溝に載せる
Siチップ上に化合物半導体素子を混載
120
2014年 5月号低消費電力のSRAM東芝
ルネサスエレクトロニクス
日経産業新聞
(2014年2月12日PP.7)
配線幅65nm
消費電力1/100
230
2014年 4月号マイクロ波帯の小型発振器産総研
キヤノンアネルバ
大阪大
日経産業新聞
(2014年1月9日PP.11)
日刊工業新聞
(2014年1月9日PP.21)
ナノコンタクト型スピントルク発振素子
振動子を100nm以下で作成
240
2014年 4月号電子の動きを観察北大
筑波大
日経産業新聞
(2014年1月22日PP.6)
プラズモニック太陽電池
nmオーダのAu微粒子
250
2014年 4月号ペンタセンの単結晶化で高いエネルギー変換効率を実現京都工繊大
英ケンブリッジ大
日刊工業新聞
(2014年1月29日PP.21)
物理気相成長(PVD)装置を使用
励起子の拡散長は350nm-700nm
150
2014年 4月号製造コスト1/100の赤外線カメラ東大日経産業新聞
(2014年1月31日PP.15)
1200nmの波長を効率よく取り込む310
210
2014年 3月号低消費電力の書き換え可能な20nm素子東北大
京大
日経産業新聞
(2013年12月11日PP.6)
日刊工業新聞
(2013年12月27日PP.13)
線幅20nm
磁性体にCo・Fe・Bを混ぜたものを使用
書き換え消費電力が数フェムトジュール
230
2014年 3月号グラフェンで幅20nmの微細配線産総研日刊工業新聞
(2013年12月13日PP.27)
電気抵抗率は最低4.1μmΩcm
断線しにくい
サファイア基板上に約1000℃7-15層のグラフェンを合成
銅配線なみの抵抗率
160
120
2014年 3月号単層CNTの量産技術

・1と合わせる
産総研
名城ナノカーボン
日刊工業新聞
(2013年12月26日PP.15)
φ1〜4nm
「eDIPS法」
従来の100倍速
160
120
2014年 2月号市販プリンタで電子回路を印刷東大
英MSリサーチ
米ジョージア工大
日経産業新聞
(2013年11月7日PP.11)
日刊工業新聞
(2013年11月8日PP.25)
化学焼結銀ナノ粒子インク
印刷後の加熱不要
320
330
360
2014年 2月号効率80%超のナノワイヤ単一光子検出器情通機構日刊工業新聞
(2013年11月8日PP.25)
酸化膜をもつSi基板
10nm厚の超電導窒化ニオブのナノワイヤ
ジッタ68ps
210
2014年 2月号光子の進み方を揃える量子コンピュータ向け技術NTT日経産業新聞
(2013年11月13日PP.6)
日刊工業新聞
(2013年11月13日PP.23)
量子ビットのタイミングを合わせる
Si製光導波路
φ210nmの穴を400個
22〜55℃で調製
120
2014年 2月号変換効率の高い量子ドット太陽電池東大日経産業新聞
(2013年11月18日PP.11)
φ20〜30nmの粒子
1兆個/cm2
試作品5.5mm格で変換効率15%
250
2014年 2月号触媒使用率を減らせる剣山型構造理研
九大
日経産業新聞
(2013年11月25日PP.10)
触媒量を数万分の一
φ100nm
長さ数μm
Pd粒子を付着
0.49ppmで反応
260
2014年 1月号高感度なスピントルクダイオード阪大
産総研
日刊工業新聞
(2013年10月21日PP.16)
磁気トンネル接合素子
半導体ダイオードの3倍感度
ナノサイズ磁石利用
非線形効果
220
2014年 1月号太陽電池の感度高める新構造理研
東大
日経産業新聞
(2013年10月24日PP.11)
有機薄膜太陽電池
1nm厚の絶縁層を追加
効率0.4%から0.53%に
250
2014年 1月号市販試薬で3D炭素ナノ分子を合成京大日刊工業新聞
(2013年10月30日PP.23)
6個の炭素原子からなるベンゼン環
有機分子の3次元構造の精密制御
有機エレ材料に活用
2013年12月号炭素繊維表面にグラフェン被膜インキュベーション・アライアンス日刊工業新聞
(2013年9月6日PP.10)
独自の高速科学気相成長法で,半焼き状態の樹脂有機物を炭化する際に発生する水素などが原料,直径1〜50μm,グラフェンの厚さ1〜2nmの繊維120
2013年12月号変換効率7.34%の有機太陽電池用材料


12と一つに
阪大
ダイキン工業
電波新聞
(2013年9月18日PP.1)
フラーレン
性能10倍に
ナノチューブ活用
乾かさず細胞解析
120
250
2013年12月号近接場光を用いた光学顕微鏡日立日経産業新聞
(2013年9月18日PP.7)
分解能3nm
直径4nmのCNTから近接場光を出す
360
2013年12月号有機半導体を微細加工する露光技術など富士フイルム
ベルギーImec
日経産業新聞
(2013年9月27日PP.9)
線幅0.5μmまで加工
非フッ素系レジスト
365nmのi線による露光技術により製造
160
260
2013年11月号薄膜中のスピン方向検出技術日本原子力機構
千葉大
高エネ研
日経産業新聞
(2013年8月5日PP.11)
表面から2nmまでX線照射し放出電子を解析120
660
2013年11月号電導性優れるCNT信州大日刊工業新聞
(2013年8月13日PP.15)
電気を通す線上の結晶性硫黄原子鎖を1nm程度の円筒空間中に作製120
220
2013年11月号電極に炭素材料を使ったキャパシタ豊橋技科大
湘南合成樹脂製作所
日経産業新聞
(2013年8月28日PP.6)
カーボンナノバルーン100mV/sの電圧で電極1g当たり13ファラド220
150
2013年10月号幅広い波長の光を吸収させる太陽電池用素材東大日経産業新聞
(2013年7月4日PP.11)
直径0.5〜1μmの量子ドット

Cd-SeとZnOの5nm微粒子を樹脂で固め青・緑色レーザ光を照射。近接場光。紫外光は波長を伸ばし
赤外光は縮める波長変換効果を確認
120
250
2013年10月号量子ドットでCNTの発光効率18倍に高める京大
東大
日刊工業新聞
(2013年7月8日PP.15)
光励起
幅1nm長さ100nm
励起子がCNT線上で動く速度は100ps
CNTの壁に酸素分子埋め込み励起子が端部や欠陥部から逃がさず発光させる
120
250
2013年10月号大容量HD向けナノパターンを高速生産素形材センタ
明昌機工
東北大
日経産業新聞
(2013年7月11日PP.11)
微細構造
レーザ光で加熱
φ25nmパターンを45nmピッチで作成
従来の15倍高速
230
2013年10月号湾曲した”うねり構造”の炭素ナノ分子名大日刊工業新聞
(2013年7月15日PP.11)
ワープド・ナノグラフェン
第4のナノカーボン
7角形構造と5角形構造が集積配置
緑色に発光
120
2013年10月号ナノサイズの分子運動を3D観測東大日刊工業新聞
(2013年7月22日PP.19)
SEM
Au粒子で標識
試料の周りを水溶液で包む
360
2013年10月号導電性の高い透明な紙阪大日経産業新聞
(2013年7月25日PP.11)
折りたたみ可能
φ15nmのセルロース繊維
Agナノワイヤを貼り付け
120
2013年10月号量子暗号通信向けの小型光源物材機構日経産業新聞
(2013年7月31日PP.6)
量子もつれ光子
AlGaAs薄膜にGaAs量子ドット
一辺15nm厚さ1.5nmの三角形
250
2013年 9月号変換効率2倍の太陽電池北大
大阪府立大
日経産業新聞
(2013年6月3日PP.11)
金微粒子
カーボンナノチューブ
φ数十nmのAu微粒子2個でφ1nmのCNTを挟む
波長785nmの光で実験
250
2013年 9月号0.37V動作のトランジスタを採用したロジックIC超低電圧デバイス技術研究組合
NEDO
日刊工業新聞
(2013年6月11日PP.21)
日経産業新聞
(2013年6月11日PP.9)
SOTBトランジスタを用いたSRAM
シリコン基板上に厚さ10nmの絶縁膜・その上に電極
SOTB
最小電圧0.37Vの演算用LSI
220
230
2013年 9月号多値構造セルでMROM高速化東芝日刊工業新聞
(2013年6月13日PP.21)
1セル当たり2ビットの多値構造
40nm世代CMOSプロセスで試作
230
2013年 9月号磁化の向きを電圧で高効率制御産総研日刊工業新聞
(2013年6月24日PP.14)
スピントロニクス
1.5nmの金属磁石層
MgOの絶縁層で挟んだ構造
230
2013年 8月号ナノ粒子で紫外線を捕集北大日経産業新聞
(2013年5月8日PP.7)
太陽電池の効率向上
光を当てると電子発生
250
2013年 8月号アルミ(Al)微粒子を使ったLED京大日経産業新聞
(2013年5月13日PP.11)
青色光を受けて赤色光を励起する色素を含む樹脂の層とガラス基板の間に直径140nmの円柱型Al微粒子を多数埋め込んだシートを挟んだ250
2013年 8月号ナノアンテナでLEDの発光強度を増強京大
蘭AMOLF研
フィリップス研
日刊工業新聞
(2013年5月16日PP.21)
ガラス基板上に金属Al粒子の周期構造を作製し650nmのポリマー膜を塗布150
250
2013年 8月号光を使わずレーザ発振国立情報学研日経産業新聞
(2013年5月29日PP.1)
「励起子」
消費電力1/100
800nmの電磁波をあてる
240
2013年 7月号生きたままの昆虫を電子顕微鏡で観察可能に浜松医科大日経産業新聞
(2013年4月16日PP.9)
「ナノスーツ」
50〜100nm厚の薄膜で覆う
360
660
2013年 7月号積層型Si太陽電池の吸収率向上東工大日経産業新聞
(2013年4月22日PP.11)
AuやAgの微粒子を塗布
粒子径10〜45nm
効率2〜3ポイント向上
250
2013年 7月号ナノワイヤを効率的に作る手法北大
物材機構
日刊工業新聞
(2013年4月25日PP.28)
10〜20nmの幅の線維状構造物に触媒になる物質を結合
アミロイドペプチド
SCAP法
120
2013年 7月号合金微粒子含むナノ炭素京大日経産業新聞
(2013年4月24日PP.6)
パラジウム
白金
カーボンナノホーン
120
2013年 7月号CNTから陽子ビーム阪大
中部大
日刊工業新聞
(2013年4月25日PP.28)
ナノチューブ内部に水素化合物を充填し強力なレーザを照射160
2013年 6月号4波長Si集積レーザ富士通研日刊工業新聞
(2013年3月21日PP.13)
シリコンフォトニクス
反射ミラーによる波長選択
光増幅素子をSi上に0.5μmで貼り合わせた
波長間隔12±0.5nmの4波長を+5dBmで生成
240
2013年 5月号液晶の色むら抑制東洋紡
慶応大
日刊工業新聞
(2013年2月6日PP.11)
20
(0年0月0日)
液晶ディスプレイの色むらを抑えるポリエステルフィルム
従来フィルムの最大1/10となる10
000nmに抑える
250
2013年 5月号単純構造で製造容易なレーザ素子産総研日経産業新聞
(2013年2月15日PP.10)
ランダムレーザ
平均粒径約212nm のZnO微粒子
厚さ100μmに成膜
380nm波長でレーザ発振
ZnOなどでできた膜が光源
250
2013年 4月号ナノ分子をコマ状に回転東北大日経産業新聞
(2013年1月9日PP.7)
フラーレン
CNT
外径2nmで内径1nm
120
2013年 4月号10nmサイズの光信号制御用技術NTT
東工大
日経産業新聞
(2013年1月16日PP.6)
グラフェン
プラズモンの伝わる速さを制御
光信号のオンオフ
LSI消費電力を1/100に
120
2013年 4月号短時間で鏡から透明へ変化する調光ミラーシート産総研日経産業新聞
(2013年1月24日PP.11)
Mg合金とPdの薄膜
370x260mm角で切替え時間5秒
従来比6倍高速
透過率60%
厚さ100nm以下
250
2013年 4月号持ち運び型燃料電池産総研日刊工業新聞
(2013年1月29日PP.29)
液化石油ガス(LPG),カセットボンベで発電,ナノサイズの酸化セリウム,出力50Wの電気を24時間維持250
2013年 3月号LSI集積度を100倍以上高める技術東大
理研
日経産業新聞
(2012年12月11日PP.9)
原子3個分のMoS2薄膜
0.6nm厚
トランジスタ
120
220
2013年 3月号低消費電力のSTT-MRAM東芝日刊工業新聞
(2012年12月11日PP.25)
不揮発性磁性体メモリ
垂直磁化方式
30nmプロセス
待機電力を従来比1/10に低減
230
2013年 3月号カーボンナノグラフェンを常温高速合成名大日刊工業新聞
(2012年12月18日PP.16)
アルコール液とプラズマ放電
合成スピードがエタノール100mlで0.61mg/min・ブタノール100mlで1.7mg/min
CVD法
160
2013年 3月号EUV利用のフォトマスク欠陥検査装置東北大
EUVL基盤開発センター
日経産業新聞
(2012年12月19日PP.7)
13.5nm波長のEUV光
解析能力30nm
16nm世代パターン観察に適用可能
160
360
2013年 2月号安価な各色対応LED蛍光体物材機構日経産業新聞
(2012年11月2日PP.8)
Ge微粒子
粒径1〜12nmで波長350〜1280nmを発光
紫外LEDの蛍光体
250
2013年 2月号長寿命の深紫外線LED日機装日経産業新聞
(2012年11月2日PP.1)
波長255〜250nm
寿命は約1万時間

窒化ガリウム(GaN)
アルミニウム(Al)
250
2013年 2月号エレクトロクロミック素子の印刷製造法産総研
東和製作所
関東化学
日経産業新聞
(2012年11月21日PP.7)
日刊工業新聞
(2012年11月21日PP.23)
ナノ粒子インク
+0.4〜-0.4Vで青色から透明に変化
スプレー印刷とスクリーン印刷の組合せ
化学反応
インク
電子ペーパ
調光ガラス
酸化還元反応
プルシアンブルー
160
250
2013年 1月号膜厚10nmの金属酸化膜トランジスタ物材機構
理研
日刊工業新聞
(2012年10月18日PP.24)
酸化タングステン(W2O3)
100℃で成膜が可能
120
220
2013年 1月号銀微粒子で太陽電池の効率向上大日本塗料
三菱マテリアル
九大
日経産業新聞
(2012年10月26日PP.9)
表面プラズモン共鳴
一辺20〜100nm
厚さ10nmの三角形板状粒子
250
2012年12月号太陽光から効率よくレーザ光に変換できる材料北大日刊工業新聞
(2012年9月24日PP.23)
CaとYとAlの酸化物の結晶にCrとNdを混ぜたもの
浮遊帯溶融
500nm付近で吸収大
150
120
250
2012年11月号化合物型太陽電池の効率向上東大日経産業新聞
(2012年8月8日PP.9)
InGaAsとGaAsPの400nm薄膜結晶層
25.2%の変換効率
幅3〜5μmの微細なギザギザ構造
250
2012年11月号スピンの向きを微小電流で制御理研
東大
物材機構
日刊工業新聞
(2012年8月8日PP.19)
日経産業新聞
(2012年8月23日PP.11)
FeGe化合物
-23〜-3℃かつ150mT磁界
φ70nmのスキルミオンの結晶を観察
スピンの渦巻きを形成
5A/cm2で渦巻きが動く
縦165μm
横100μm
厚さ100nm〜30μmの超小型素子
120
2012年11月号10兆分の1秒の高速撮影が可能な3次元計測システム京都工繊大
千葉大
日刊工業新聞
(2012年8月20日PP.16)
ディジタルホログラフィ
光源にフェムト秒パルスレーザを使用
中心波長800nmに対応し
画素ごとに独立させた偏光素子をカメラに搭載
430
660
2012年11月号炭素・水素原子でカゴ状分子名大
産総研
日経産業新聞
(2012年8月28日PP.9)
半導体の性質
青色光を出す
内側に他の分子・原子を取り込める
C120個・H78個で構成
直径2nmで内側に1.8nmの空間
120
2012年10月号プローブを使った半導体描画技術東芝
技術研究組合BEANS研究所
東大
日刊工業新聞
(2012年7月10日PP.23)
回路線幅50nmの微細加工が可能
プローブの先端に庇部と接触部を設けた新構造
260
360
2012年10月号イリジウム錯体をナノサイズの穴で一つずつ合成東工大日刊工業新聞
(2012年7月18日PP.19)
1.3nmの穴を無数にもつゼオライトにIrイオンと配位子を導入しマイクロ波を当てて作成
配位子「ppy」で緑色
配位子「dfppy」で青色に発光
リン光
150
2012年10月号1000℃までの熱を電気に変換する素材物材機構
東北大
日経産業新聞
(2012年7月27日PP.10)
ホウ素(B)に微量のAl
Yを加えた材料
B原子で構成する直径0.5nm球状分子が立体的に積み重なり
球と球の隙間にAlとYが入る
n型p型2種類の半導体の温度差で電気が発生
120
2012年 9月号Co薄膜によるメモリー技術京大日経産業新聞
(2012年6月7日PP.11)
磁壁
数10nm〜数100nm
磁壁移動によりメモリー記録
130
2012年 9月号純緑色レーザーソニー
住友電工
日刊工業新聞
(2012年6月22日PP.8)
日経産業新聞
(2012年6月22日PP.4)
GaN結晶を斜めに切った基板
発振波長530nm
光出力100mW
輝度2倍
250
2012年 9月号低コストの青色発光性ナノカプセル東工大日刊工業新聞
(2012年6月26日PP.1)
Pd不使用
外形2nm以下のカプセル
発光効率80%
250
2012年 8月号p型Geに磁性体のスピン情報を室温で入力産総研日刊工業新聞
(2012年5月16日PP.20)
160
(0年0月0日)
p型のGeFe
厚さ2nmのMgOを積層した電極を作成し
スピン情報をFeからGeへ入力
ハンル効果
スピン情報80nm
120
220
2012年 8月号高密度な酸化チタンメソ結晶阪大日刊工業新聞
(2012年5月24日PP.21)
直径30nm〜40nmの粒子の集合体
一辺3〜5μm・厚さ約100nmのシート状の構造
酸化チタンナノ結晶の超構造体
150
2012年 8月号太陽電池用Si薄膜の新製造法東京農工大日経産業新聞
(2012年5月29日PP.9)
Siイオンを堆積
厚さ10nmのアモルファスSi
塩化シリコン(SiCl4)
液体中で成膜
160
2012年 7月号光照射でガラス表面研磨東大
シグマ光器
日経産業新聞
(2012年4月10日PP.9)
近接場光
表面凹凸3.5nm以下
HDD向け
160
2012年 7月号円筒液晶に強誘電性東大
東工大
日刊工業新聞
(2012年4月13日PP.20)
直径4.5nmの円筒形状の液晶であるカラム構造
カラム単位で強誘電性を持たせることに世界で初めて成功
230
2012年 7月号CNT製トランジスタの印刷技術単層CNT融合新素材研究開発機構
産総研
NEC
日刊工業新聞
(2012年4月19日PP.17)
日経産業新聞
(2012年4月20日PP.10)
半導体型ナノチューブ
プラスチックフィルムに印刷
出力電流のばらつき30%
印刷面にあらかじめ単分子膜を形成しインクの吸着を促進
インクに純度95%以上の半導体型ナノチューブを使用
220
260
2012年 7月号磁束が超電導細線を透過する新現象理研
NEC
日経産業新聞
(2012年4月19日PP.11)
日刊工業新聞
(2012年4月24日PP.23)
酸化インジウム
量子ビット
マイクロ波
コヒーレント量子位相スリップ(CQPS)効果
幅35nmのInOを仕切りとして置き
微弱な磁場を加えながらマイクロ波を当てる
電流標準
120
220
2012年 7月号大画面有機EL向け発光材山梨大
日本化学工業
日経産業新聞
(2012年4月23日PP.11)
長さ数nmの分子
印刷技術を応用
250
2012年 6月号レアメタル使用量を半減したディスプレイ用透明電極材東北大
三井金属
日経産業新聞
(2012年3月1日PP.11)
ITO(酸化InSn)を50%含有に削減
150nm厚で抵抗率270
既存材料と2層構造
スパッタリングターゲット
120
150
2012年 6月号低コストなグラフェン作製技術東京理科大日経産業新聞
(2012年3月19日PP.11)
直径3nm・長さ20nmの円柱状のTiO2微粒子を利用
油に溶ける性質を付加可能
酸化グラフェンに超音波を30分当てた後紫外線照射
120
160
2012年 6月号丈夫な超電導ナノワイヤ物材機構
東工大
日刊工業新聞
(2012年3月21日PP.15)
FeとAs・Ca等を原料
直径1μm以下のひげ状
-240℃で超電導状態
ワイヤ形状は0.2μm〜0.5μm
長さ0.1mm〜2mm
合金に近い性質
曲げても壊れない
反応ガスなどを輸送する大型機器が不要
120
2012年 5月号画面の光反射率0.4%以下のフィルム旭化成日経産業新聞
(2012年2月3日PP.1)
反射防止フィルム
ナノインプリント

幅数百nmの凹凸
150
160
2012年 5月号高集積型の電子素子産総研
東大
日経産業新聞
(2012年2月9日PP.11)
強相関電子材料
CaMnO3を使った素子
10nm以下の微細加工でも高性能を維持
Caの一部をCeに置換
2mm四方のトランジスタを試作
220
120
2012年 5月号裸眼3次元画像の広角度表示技術豊橋技科大日刊工業新聞
(2012年2月16日PP.19)
Fe-Tbの垂直磁化膜
厚さ数十nm
左右15°の視野で裸眼閲覧可能
FeとTbの合金による磁性薄膜とnmサイズの光メモリー用磁気記録ビットを再生画素に利用
450
250
2012年 5月号スーパハイビジョン対応復号LSIを試作早大日刊工業新聞
(2012年2月20日PP.17)
7680×4320×60fps
H.264/AVCハイプロファイル
65nm CMOS
消費電力410mW
220
2012年 5月号赤外線で画像を表示できる材料東大日刊工業新聞
(2012年2月23日PP.19)
波長1300nmまでの光を表示可能
TiO2の上で直径数十nm
長さ数十〜数百nmの棒状のAgナノ粒子を成長させる
150
160
2012年 5月号ビットパターンを応用したHD大容量化技術東北大
日立
東芝
富士電機
日経産業新聞
(2012年2月24日PP.10)
5Tb/in2
直径17nmの磁性粒子が規則的に並ぶ
230
260
2012年 4月号超電導状態になる炭素繊維物材機構日経産業新聞
(2012年1月5日PP.11)
5Kで1cm2あたり200万Aの電流を流せる
合成条件によって直径90nm〜1μm
長さ3μm〜数mm
フラーレン
120
220
2012年 4月号光照射で磁石化する新材料東大日経産業新聞
(2012年1月12日PP.11)
Co・W・ピリミジンを組み合わせた材料
-225℃以下で波長785nmの光を当てると強い磁石になる
保持力27kOeで光ディスク材料の9倍
120
2012年 4月号小型で高速変調可能な緑色レーザQDレーザ
東大
富士通研
日刊工業新聞
(2012年1月20日PP.25)
波長532nm
純緑色レーザモジュール
容積0.5cc
出力100mW
100MHzで変調可能
250
2012年 4月号単層CNTの色を電圧で制御首都大日経産業新聞
(2012年1月31日PP.1)
10mm×10mm×数百nm厚
-3V印加で青から黄に変化
1000回繰り返し可能
CNT薄膜を水溶液に入れて電圧を加え変色
150
120
2012年 3月号ダイヤ分子結晶の紫外線発光技術東工大
米スタンフォード大
日経産業新聞
(2011年12月6日PP.10)
波長230nm以下の紫外線を当てて300nmの紫外線を出す
面発光が可能になる
120
150
2012年 3月号再構成可能LSI向け配線スイッチ超低電圧デバイス技術研究組合日刊工業新聞
(2011年12月8日PP.18)
10〜50nm
スイッチ素子を3端子で構成
220
2012年 3月号3層CNTを使ったレアメタル不要なリチウム電池東大
米マサチューセッツ工科大
日経産業新聞
(2011年12月9日PP.10)
正極に3層構造のナノチューブ
表面をカルボニル基で化学修飾
電圧1.5〜4.5V
1000回以上充放電可能
120
250
2012年 3月号波長1〜1.3μmのレーザ光発振素子情通機構
光伸工学工業
セブンシックス
日経産業新聞
(2011年12月15日PP.11)
InAs製高さ4〜6nmの量子ドットを素子に埋め込む
直径125μm
数百nmの穴を30から百数十個開けた石英ガラス製光ファイバを使用
140
240
250
2012年 3月号高精度の圧縮材料を高速・高精度で制御高輝度光センター日経産業新聞
(2011年12月20日PP.10)
MEMSの動作精度誤差1/10
3nmの凹凸
Si基板上にチタン酸ジルコン酸鉛
200ns
250
150
2012年 3月号CNTをフィルム基板上に200℃で合成静岡大日刊工業新聞
(2011年12月21日PP.25)
CVD法
ポリイミドフィルム
グラフェン層でニッケルを包んだ特殊な触媒微粒子
アンモニアプラズマ
アンモニアとメタンの混合ガス
直径10〜50nm
長さ1μm以上
120
160
2012年 3月号直径25nmの高分子ワイヤ作製物材機構日刊工業新聞
(2011年12月23日PP.13)
レーザ照射
ナノ材料を混合し機能性持たせる
長さ20μm
160
2012年 3月号フラーレンナノウィスカー(FNW)を超電導体に物材機構日刊工業新聞
(2011年12月28日PP.16)
しなやかで軽い新しい超電導素材の開発
平均長さ4.4μm
平均直径0.5μm
FNWにカリウムを加え200℃で1日加熱
120
160
2012年 2月号磁気素子の構造を簡素化して記録密度を向上したHDD物材機構日経産業新聞
(2011年11月1日PP.10)
厚さ2nmの銀薄膜を厚さ4nmのホイスラー合金薄膜で挟んだ3層構造
5Tb/in2
6層以上必要だった薄膜を3層に減らせる
厚さ10nm
ホイスラー合金
230
120
2012年 2月号ナノ構造体を利用した高効率シリコン太陽電池東北大日経産業新聞
(2011年11月1日PP.10)
基礎実験で変換効率が2%向上
量子ドットとフォトニック結晶を利用
ウェットエッチング
250
2012年 2月号70nm分解能で角度分解測定東大日刊工業新聞
(2011年11月25日PP.23)
放射光3次元ナノECSA360
2012年 1月号電気の流れやすさ3倍のCNT早大
アルプス電気
日経産業新聞
(2011年10月4日PP.9)
直径1.4nmの単層CNT
テトラフルオロ・テトラシアノ・キノジメタンと呼ばれる有機分子の溶液を滴下して吸着
電気抵抗が62.5%減少
120
2011年12月号導電率30のゴム単層CNT融合新材料研究開発機構日経産業新聞
(2011年9月9日PP.10)
CNT φ3nm
長さ数100μm
2倍に延ばしても導電性維持
120
2011年11月号たんぱくでナノ粒子3次元配置奈良先端大日刊工業新聞
(2011年8月8日PP.15)
たんぱく質を使うバイオ技術で作製した高密度の均一なナノ粒子を含む3次元の蓄積電極メモリーを動作130
2011年11月号CNTに通電し温度変化測定情通機構日刊工業新聞
(2011年8月10日PP.15)
日経産業新聞
(2011年8月11日PP.12)
外形130nm
管の厚さ5nm
長さ3.1nmのCNT
655℃で昇華するZnS
660
2011年11月号グラフェンを化学合成する手法名大日経産業新聞
(2011年8月16日PP.5)
クロスカップリング反応
ナノグラフェン
パラジウムを含む触媒
ジグザグ型
120
2011年11月号生きた細胞観察が可能な新型顕微鏡原子力機構
奈良女子大
日経産業新聞
(2011年8月18日PP.12)
分解能90nm
軟X線
波長数nm
20nm厚の金の薄膜で集光
360
2011年11月号加工分解能数nmの光リソグラフィ北大日刊工業新聞
(2011年8月29日PP.21)
プラズモンリソグラフィ
金や銀などの金属ナノ構造体が光と相互作用
金赤外光を露光用の光源に使用
160
2011年10月号光ディスク容量を2倍にする技術日立日刊工業新聞
(2011年7月20日PP.29)
多値化技術
ニオブ酸リチウム材料
マイクロホログラム
位相多値記録再生方式
20nmの記録マーク
230
2011年10月号消費電力ほぼ0の半導体素子東大
NTT
日本経済新聞
(2011年7月25日PP.11)
100nmの量子ドットにスピンを閉じ込めた構造
わずかな電圧でスピンを制御
220
2011年10月号有機薄膜太陽電池向け高分子材料東大
住友化学
日刊工業新聞
(2011年7月26日PP.31)
発生電流24mA/cm2
800〜1000nm波長を電流に変換可能
変換効率4.8%
250
150
2011年 9月号低消費電力のDRAMエルピーダメモリ日経産業新聞
(2011年6月15日PP.1)
High-Kメタルゲート技術
40nmプロセス
絶縁膜にハフニウム
電極にTiを使用
230
160
2011年 9月号変換効率30%超のSi太陽電池東北大日刊工業新聞
(2011年6月21日PP.1)
量子ドット型
Si基板上に円盤状の量子ドットを形成する
直径10nm以下のSi量子ドットとSiCを中間層に組み合わせてをミニバンドを形成
タンパク質に鉄の微粒子を含ませ規則正しい構造を作る
250
160
2011年 9月号高効率の色素増感型太陽電池東大日刊工業新聞
(2011年6月22日PP.1)
変換効率11.3%
4mm角の試作セル
ブラックダイを改良し波長700nm以上の光を吸収
250
2011年 9月号記憶も忘却もする新素子物材機構
米カリフォルニア大ロサンゼルス校
日経産業新聞
(2011年6月27日PP.9)
イオンや原子の動きを制御して働く原子スイッチを応用したシナプス素子
素子サイズ縦横50nm
電極間1nmの隙間
僅かな電圧操作で材料のAg2Sから銀原子が析出し隙間の接続強度を調節
120
230
2011年 8月号60GHz帯ミリ波無線機東工大日刊工業新聞
(2011年5月3日PP.12)
11Gbps
16QAM変調に対応したダイレクトコンバージョン型無線機
65nmCMOSプロセスで試作
340
2011年 8月号導電・絶縁切替可能な液晶素子山梨大
パイオニア
日経産業新聞
(2011年5月19日PP.11)
導電性液晶の層(厚さ200nm)をAl電極層とITO電極層で挟んだ構造
電圧を加えずに瞬間加熱200℃で導電性になる
10〜30Vの電圧を加えて瞬間加熱で絶縁性になる
230
250
120
2011年 7月号白色光でカラー再生できる3次元ホログラム理研
阪大
日刊工業新聞
(2011年4月8日PP.19)
厚さ55nmのAg薄膜
薄膜の波を打ったような細かい模様で光の場が回折
薄膜の両面はガラスコーティング
全体の厚さは1mm
ホログラムの大きさ38mm×26mm
430
250
450
2011年 7月号待機電力1/100の無線LAN対応LSI東芝日刊工業新聞
(2011年4月21日PP.21)
90nmのCMOSプロセスで試作したLSIで待機電力7μW
LSI全体の消費電力を35.2mWから0.28mWへ削減
120
2011年 7月号光の干渉で着色できるレーザ加工技術フェトン
神奈川県産業技術センター
東工大
日刊工業新聞
(2011年4月27日PP.1)
周期構造を形成
間隔500〜800nmで制御
300m/分で加工する
近赤外線レーザと緑色レーザを当てnmサイズの周期構造を連続加工
160
250
260
460
2011年 6月号高出力LED製造技術名大
エルシード
日経産業新聞
(2011年3月3日PP.11)
日刊工業新聞
(2011年3月25日PP.28)
モスアイ構造
光出力が従来の1.7〜2.5倍
500nmのコーン形状を規則的に配置
加工時間1分程度
基板に凹凸で反射抑制
260
250
160
2011年 6月号Si素子で小型光スイッチNEC日刊工業新聞
(2011年3月7日PP.20)
Siフォトニクス
800μm×60μmの光路切替素子
光合分波素子
素子の内部を局所的に加熱することで材料の屈折率を変更
130nmCMOSプロセス
240
160
2011年 6月号InGaN製の高感度紫外線センサ物材機構日刊工業新聞
(2011年3月7日PP.20)
絶縁層に5nm厚のCaF2
320nm〜400nmの領域を検出
210
2011年 6月号試料の反射で凹凸観察するミラー電子顕微鏡日立日経産業新聞
(2011年3月11日PP.9)
視野が広く観察効率10倍
50nm/画素での観察で16nmのずれを見分ける
試料表面をマイナスに帯電させる
360
2011年 4月号低電力で磁場を制御可能な現象を常温でも発見東大
JST
物材機構
理化学研
日経産業新聞
(2011年1月4日PP.10)
鉄合金内にnmの磁気の渦巻き
スキルミオン結晶
磁気メモリーの低電力化
2℃で確認
120
230
2011年 4月号電子対の量子もつれをナノテクで定量測定物材機構日刊工業新聞
(2011年1月20日PP.24)
量子テレポーテーション
2つの超電導体の先端に2本のナノワイヤをつないだデバイスを作製
120
2011年 3月号TFT液晶の消費電力を低減阪大日経産業新聞
(2010年12月9日PP.11)
ゲート厚10nm
高濃度硝酸による表面処理
電圧1/12
多結晶Siを120℃で68%以上の高濃度の硝酸に入れて酸化膜を作成
発電効率15%以上向上
1/144に
250
2011年 3月号光電変換効率2%の透明太陽電池岐阜大日経産業新聞
(2010年12月10日PP.8)
ZnOなどの厚さ3〜10μmの薄膜を盛り近赤外光吸収色素をつけた
波長760〜1000nmで0.6〜2.0%の光を吸収
色素増感型
250
2011年 3月号様々な波長でSiを発光させる技術NTT日経産業新聞
(2010年12月16日PP.11)
Si層を厚さ8.5nmで重ねる
光の強度を保ったまま波長を1.1μm〜1.15μmの範囲で変更可能
Siにリンを混合
140
340
2011年 3月号フォトニック人工原子レーザ
-3次元結晶内で発振-
東大日刊工業新聞
(2010年12月20日PP.17)
厚さ150nmのGaAsを25層積層
Q値は約4万
中心の層に面積約1.3μm2の欠陥共振器とInAs量子ドットを埋め込み
140
2011年 3月号炭化ケイ素(SiC)製ナノものさしがNITEの標準物質DBに登録関西学院大日刊工業新聞
(2010年12月21日PP.20)
耐酸化性に優れ経年劣化しにくい
段差が0.5nmの標準物質が登録
SiC製
160
2011年 3月号28nm世代システムLSI向け混載DRAM技術ルネサスエレクトロニクス日刊工業新聞
(2010年12月9日PP.22)
寄生容量・抵抗を削減
CMOSプロセスを導入
低誘電率の多孔質(MPS)膜を採用
配線層内にキャパシタ形成
160
230
2011年 2月号炭素系ナノテク活用の高速有機トランジスタ阪大
山形大
大日本印刷
日経産業新聞
(2010年11月1日PP.11)
C60と呼ぶフラーレン薄膜
Al
色素の各層を挟んだ構造
400kHzで高速応答
従来の5倍以上の電流を流せる
120
220
2011年 2月号グラフェンを直接合成インキュベーション・アライアンス
大分大
日刊工業新聞
(2010年11月5日PP.1)
高速化学気相成長(CVD)
大きさ約10μm
厚さ2.1nm
7層構成
120
2011年 2月号SiGe製光スイッチ富士通研日刊工業新聞
(2010年11月9日PP.25)
Si上に約500nm×約200nmのSiGe製の細線構造
光スイッチ素子の大きさ0.4mm×50μm
動作電力1.5mW
動作可能な波長範囲1520nm〜1565nm
120
240
2011年 2月号薄膜の堆積速度を調整可能なスパッタ装置山口大日刊工業新聞
(2010年11月12日PP.20)
装置1台で薄膜を形成
稼働磁場発生機構
1分間の堆積速度15nmから50nmまで調整可能
360
2011年 2月号近接場光の光源を大面積化する技術物材機構日経産業新聞
(2010年11月24日PP.7)
面状光源
1cm2
直径10nmの金ナノ粒子を敷き詰め
250
2011年 2月号有機太陽電池で1000nmの近赤外線光を光電変換産総研日刊工業新聞
(2010年11月25日PP.31)
電子を放出しやすい分子と受け取りやすい分子が交互に積み重なった構造
励起子が広がる距離がフラーレンの1000倍
150
2011年 1月号波長可変のSi発光技術米カルフォルニア工科大日経産業新聞
(2010年10月18日PP.11)
Si上に直径数nmの針の集合体形成
2.49〜8.58nmの針で670〜780nmの発光
250
160
2011年 1月号CNT利用の安価な高性能トランジスタ名大日経産業新聞
(2010年10月21日PP.11)
Si薄膜の代わりに直径1.5nm
長さ1μmのCNTを敷き詰める
縦横1cmのTFTを試作
厚さ0.5mmの基板上に2〜3nmのCNT薄膜を塗布オンオフ比が最大1000万
120
220
2011年 1月号吸収波長が広い太陽電池向け増感色素物材機構日刊工業新聞
(2010年10月25日PP.1)
350〜1000nmの波長を吸収
変換効率6.3%
250
120
2011年 1月号厚さ10nmの薄膜を使用した強誘電体物材機構日刊工業新聞
(2010年10月27日PP.21)
酸化物ナノシート2種積層120
2011年 1月号ナノ空間で多電子制御物材機構
北大
日刊工業新聞
(2010年10月29日PP.29)
直径10nmの半導体量子ドット
複数の電子を閉じ込めナノ空間の多電子状態を制御
液滴エピタキシー法
GaAs量子ドット
イオン化励起子と呼ぶ3つの粒子の複合状態の観測に成功
120
2010年12月号電子顕微鏡の性能向上物材機構日刊工業新聞
(2010年9月9日PP.24)
6ホウ化ランタンのφ50nmのワイヤ
電界イオン顕微鏡の分析性能1桁向上
210
2010年12月号量子暗号の安全性向上東大日経産業新聞
(2010年9月10日PP.11)
通信用の波長1.5μmの光を直径30〜40nmのInGaPの粒「量子ドット」にあてて光子を発生
50kmの伝送実験に成功
2光子つながるケースを5〜10パルスに低減
解読リスク0.01%
340
440
2010年12月号発電効率45%超を実現する太陽電池向け新素材東大
シャープ
日経産業新聞
(2010年9月29日PP.13)
多接合
厚み3nmのInGaAsの膜と原子1個分の厚みのInGaPの膜を交互に60個積み重ねる
量子井戸効果
多接合タイプ太陽電池
120
250
220
2010年12月号ナノ炭素シート量産技術産総研日刊工業新聞
(2010年9月29日PP.1)
400℃で高速製造
ロールツーロール法
ITOの代替
プラズマCVD法を応用
150
2010年12月号個々の原子が情報保持可能な時間の計測に成功米IBM日刊工業新聞
(2010年9月29日PP.28)
STMによるポンプ・プローブ測定
ナノ秒レベルで計測可能
120
660
2010年12月号近赤外光に対応した光電変換システム北大日刊工業新聞
(2010年9月29日PP.28)
光アンテナ搭載
単結晶TiO2基盤上に金のアンテナ
波長1500nmの近赤外光で8.4%の光電変換効率
620
2010年12月号ナノチューブ導電性解明高度情研機構日経産業新聞
(2010年9月30日PP.14)
スーパーコンピュータによるシミュレーション
σ軌道では電圧上昇に対して段階的に電流が変化
160
2010年11月号光を吸収する金属材料名大
九大
日経産業新聞
(2010年8月10日PP.10)
タングステン
厚さ数10〜数100nmの繊維状の突起が密集した構造
波長0.4〜1.5μmの光を当てると98%以上は金属に取り込まれる
120
2010年11月号電気変換できる赤外線の波長帯を広くしたSi太陽電池東大日経産業新聞
(2010年8月17日PP.10)
Si表面に大きさ100nm深さ550nmの穴
縦横100nmの間隔で穴をあける
近接場光
波長0.35〜1.5μmの範囲で電気が得られた
120
250
2010年11月号誘電率200以上を実現する小型薄膜コンデンサ


・10とあわせて1件
物材機構日刊工業新聞
(2010年8月25日PP.24)
チタン酸バリウム系の薄膜と比べ大きさ1/20
容量10倍以上
厚さ1.5nmで横幅約10μm
120
220
2010年11月号高性能な薄膜コンデンサ


・9とあわせて1件
物材機構日経産業新聞
(2010年8月25日PP.9)
ペロブスカイトナノシート
膜厚5〜20nmで誘電率210〜240
220
2010年10月号FPC基盤の誘電率を60%低下京大日刊工業新聞
(2010年7月6日PP.22)
厚さ100nm〜1μmの楕円形細孔をポリイミドに多数作成120
2010年10月号情報を暗号化する素子北大
浜松ホトニクス
NTT
東京理科大
日経産業新聞
(2010年7月8日PP.12)
p型InPにn型のInGaAsやニオブを積層
ニオブ層の厚さ80nm
光子対
量子もつれ合い状態
120
220
2010年10月号大容量で不揮発性を兼ね備えたTMR素子東北大
日立
日刊工業新聞
(2010年7月12日PP.1)
素子寸法40nm
電源供給なしで10年保持
350℃の熱処理耐性
磁化方向を垂直
8Gb
Co-Fe-B
230
2010年10月号リチウムイオン電池使用中の内部観察技術ファインセラミックセンタ(JFCC)日経産業新聞
(2010年7月14日PP.11)
日刊工業新聞
(2010年7月23日PP.24)
ホログラム干渉縞
全個体型Liイオン
精度50nm以下の0.05V以下
2010年10月号ナノサイズの光スイッチ阪大
物材機構
日刊工業新聞
(2010年7月14日PP.21)
日経産業新聞
(2010年7月14日PP.11)
光伝導性分子
Ag電極とAg2S電極を10nm間隔で配置
240
2010年10月号3.5nmの極小超電導体を作製産総研
米オハイオ大
日刊工業新聞
(2010年7月21日PP.27)
8個の有機分子でできた超電導分子構造体
(BETS)2GaCl4
分子が鎖状に積層下構造
120
2010年10月号ピーク出力100W超の青紫色半導体レーザ東北大
ソニー
日刊工業新聞
(2010年7月21日PP.27)
日経産業新聞
(2010年7月21日)
パルスの出力間隔3ps
波長405nm
2光子吸収
繰り返し周波数1GHz
250
2010年10月号マルチチャンネル超電導単一光子検出システム情通機構日刊工業新聞
(2010年7月28日PP.27)
日経産業新聞
(2010年7月28日PP.11)
1.55μmの波長の光で検出効率20%
従来の100倍
単一光子検出器
動作速度2倍
検出器の大きさ2/3
1550nm通信波長帯
動作速度100MHz
積層薄膜で構成した光共振器
NbN
2010年 8月号半導体上に原子積み上げてナノ構造を作成NTT
独ポール・ドルーデ研
日刊工業新聞
(2010年5月12日PP.1)
In原子を1個ずつ積み上げ
STMの金属製プローブ
nm寸法の構造
InAs基板
120
160
2010年 8月号スピンRAMの5Gb超の大容量化技術産総研日刊工業新聞
(2010年5月14日PP.18)
日経産業新聞
(2010年5月14日PP.10)
トンネル磁気抵抗素子(TMR素子)
MgO層の厚さを約1nmに
高いスピン分極
磁気抵抗比85%
素子抵抗値約4Ωμm2
230
2010年 8月号磁気テープの記録容量を30倍以上に増やせる製造技術日立マクセル
東工大
日経産業新聞
(2010年5月14日PP.1)
スパッタ
テープ1巻で50TB
3層で計100nm弱の記録層を形成
垂直磁気記録
130
230
2010年 8月号テレビ向け新液晶材料 -明滅間隔を10倍高速化-九大
チッソ石油化学
日油
日経産業新聞
(2010年5月21日PP.9)
分子の並び方を工夫
色フィルタ不要
バックライト消費電力1/3
高分子安定化ブルー相(PSBP)
1/1000秒以下で液晶分子の向きを制御
40Vで駆動
直径100nmの円柱
120
250
2010年 8月号発光効率100%に近づける緑色LED京大日本経済新聞
(2010年5月24日PP.13)
フォトニック結晶
InGaN
波長500nm
効率従来比2〜3倍
250
120
2010年 8月号量子ドットを使用した低消費電力レーザ発振素子東大日経産業新聞
(2010年5月31日PP.12)
Si基板上で微少なレーザ光を発振
InAsでできた直径20nmの「量子ドット」
長さ1mm・幅60μm・厚さ0.3mmの棒状素子
120
250
2010年 7月号ナノ粒子の大きさを自在に制御東大日経産業新聞
(2010年4月5日PP.12)
自己組織化
カプセル状の分子を形成
直径2〜4nm
160
2010年 7月号グラフェン薄膜を半導体上に作製する技術日立
東北大
東洋大
日経産業新聞
(2010年4月8日PP.12)
800℃の加熱条件に設定した熱CVD(化学気相成長)法で作製
厚さ30nm
幅約3μmのアルミナ薄膜
120
2010年 7月号出力3.8倍の蓄電池農工大
日本ケミコン
日経産業新聞
(2010年4月14日PP.11)
CNT
エネルギー密度4.5倍
チタン酸リチウムの結晶を1〜10nmの粒にしてCNT表面につける
充電時間を1時間から12秒へ短縮
250
2010年 7月号太い単層CNTの製法東大日経産業新聞
(2010年4月19日PP.12)
CNTが伸びながら太さを増す
アルミナ材料の表面に直径2nmのてる粒子をまき700℃に加熱
鉄粒子が集まりCNTが成長
根幹部分直径5nm
先端部分の直径1.7nm
160
120
2010年 6月号A-Si製のTFTと同程度の移動度とON/OFF比を実現したCNTトランジスタ名大日本経済新聞
(2010年3月1日PP.13)
太さ1.2nm
長さ200nm
鮭の精子から抽出したDNA
電気の流れやすさ1000倍
120
220
2010年 6月号フラーレン
ナノ材料初のJIS化
ナノテクノロジービジネス推進協議会日刊工業新聞
(2010年3月5日PP.1)
高速液体クロマトグラフィー(HPLS)によるフラーレンC60及びC70の分析方法
JISZ8981
660
2010年 6月号フラーレン薄膜に190Tbpiの高密度記録物材機構
阪大
日経産業新聞
(2010年3月8日PP.12)
ハードディスクの1000倍
Si基板上にフラーレン分子3個分の薄膜
金属針を1nm未満に接近させ電圧を印加
結合・非結合の状態で「1」「0」を表現
記録速度1kbs
120
230
2010年 6月号長さ500nmの光アンテナ広島大日刊工業新聞
(2010年3月15日PP.26)
八木・宇田アンテナ応用
電波アンテナの1/100万の寸法
光を前方に約10倍集光
局在表面プラズモン共鳴
340
2010年 6月号LEDの光取り出し効率1.5倍産総研日刊工業新聞
(2010年3月19日PP.28)
日経産業新聞
(2010年3月23日PP.11)
半導体表面にリッジ(うねり)
厚さ約150nmの酸化シリコン膜
プラズマ化学気相成長(CVD)法
160
250
2010年 6月号8nmの太さの単層CNT実現東洋大
立山マシン
日刊工業新聞
(2010年3月24日PP.1)
プラズマ化学気相成長(CVD)法
プラズマを基板へ均一照射
120
160
2010年 5月号記録容量5倍の新方式HDD日立日経産業新聞
(2010年2月2日PP.1)
近接場光
熱アシスト
幅20nm以下の領域を加熱
ヘッド部品の先端部曲率半径10nm以下
2.5Tb/in2記録可能
230
2010年 5月号出力10倍のダイヤ製LED産総研
物材機構
岩崎電気
シンテック
日経産業新聞
(2010年2月9日PP.11)
発光出力0.3mW
波長235nm
0.1mW程度の計100秒照射で大腸菌を殺菌
250
2010年 5月号Si基板でLED北大日経産業新聞
(2010年2月10日PP.11)
Si基板上に太さ100nmのGaAsの細いワイヤを垂直に立てる
ワイヤの長さを1〜2μmに変えて間隔を調整すると違う波長の光を出力可能
120
250
2010年 5月号CNT内にダイヤ型触媒東京理科大日刊工業新聞
(2010年2月16日PP.22)
液相一段合成法
金属錯体触媒
アルコール
アルゴンガス
抵抗加熱で約800℃
太さ50nm前後
120
160
2010年 5月号20nmのナノインプリント向け感光性樹脂開発富士フイルム日経産業新聞
(2010年2月17日PP.5)
モールド
Siウェハ
モノマー
エッチング
レジスト
160
2010年 5月号細い線状の太陽電池イデアルスター
金沢大
静大
東北大
東京理科大
慶応大
九産大
日経産業新聞
(2010年2月18日PP.1)
直径0.8mm厚さ約500nmの電池
光を電気に変換する効率は3%
長さ5cmの細線を試作
フラーレン
250
120
2010年 5月号電子の見かけの質量を1000倍に京大
名大
日経産業新聞
(2010年2月19日PP.11)
日刊工業新聞
(2010年2月19日PP.20)
大気の1/10兆の真空状態
特殊な基板にセリウム・インジウム・ランタンなどを蒸着
薄膜の厚さ約300nm
縦横1cm
ほぼ絶対零度
分子線エピタキシー
電子を平面上空間に閉じ込める
120
2010年 5月号人工原子1個でレーザ光を出す半導体東大日経産業新聞
(2010年2月22日PP.10)
日刊工業新聞
(2010年2月16日PP.22)
直径100nmの穴を10個開けた厚さ160nmのGaAs半導体薄膜
中央に直径20〜25nm厚さ2〜3nmのInAsの人工原子を埋め込む
波長917nm
フォトニック結晶体
ナノ共振器
120
250
240
2010年 4月号近接場技術で200GBの新型光ディスクパイオニア日経産業新聞
(2010年1月6日PP.5)
近接場光
ピット長さ53nm
青色レーザ
光源のレンズとディスクの間隔20nm
100・200GB作製技術および100GB再生技術を確立
BDの8倍の記憶容量
230
2010年 4月号がん細胞転移を精度100倍で観察東北大日経産業新聞
(2010年1月19日PP.11)
nm精度
独自開発の顕微鏡
PAR1
9mmの精度
360
2010年 3月号LSIの不純物濃度のばらつき測定東芝日経産業新聞
(2009年12月9日PP.11)
イオンビームで素子を切り出してキャリヤ濃度を測定
結晶構造の違いでキャリヤ分布が異なる
20nm回路に対応
660
220
210
2010年 3月号エネルギー変換効率が4割向上した太陽電池東大日経産業新聞
(2009年12月10日PP.12)
数十nmレベルの微細な凹凸がある銀の電極
波長350〜800nmの範囲の可視光を電気に変換
近接場光
120
250
2010年 3月号独自有機化合物による微細加工技術富士フイルム日経産業新聞
(2009年12月16日PP.11)
波長405nmの青色レーザ
Siや酸化シリコンやサファイアの円板
直径40nmの穴や幅200nmの溝を規則的に生成
ビオロゲン塩
レジスト
160
2010年 3月号動作速度が3割向上した高速無線用半導体NECエレクトロニクス日経産業新聞
(2009年12月18日PP.11)
アナログ部の配線抵抗を従来と比べて半減
動作クロック200GHz
線幅40nmのCMOS
220
2010年 3月号光照射で発光波長を制御するLED発光層の成膜技術東大
ブイ・テクノロジー
日東光器
日経産業新聞
(2009年12月25日PP.11)
InGaN化合物半導体層を光を当てながら均一成膜
サファイア基板
緑色光と紫外線
波長532nm
LED発光層の厚さ1/5
厚さ200nmの薄膜
250
160
120
2010年 2月号ハイブリッド軸受材料に使用できる窒化チタンナノ粒子混合セラミック横浜国大日刊工業新聞
(2009年11月4日PP.18)
軸受金属リングの摩耗4割減120
2010年 2月号LSI内1チップ光配線東芝日刊工業新聞
(2009年11月10日PP.25)
消費電力1/10
長さ600μmのレーザ光源部品
幅450nmのSi光導波路
受光素子の大きさ1/5
光源と導波路間の光結合効率60%以上
オンチップフォトニクス
220
2010年 2月号ポリマー製平面レンズスカラ
慶応大
日経産業新聞
(2009年11月11日PP.11)
屈折率の大きな微細粒子
GIレンズ
ナノサイズの有機分子
レンズ内部に高精度な屈折率分布を作製
310
120
2010年 1月号ダイヤを用いた不純物のない単層CNT作製法NTT
東京理科大
日経産業新聞
(2009年10月6日PP.11)
直径4〜5nmのナノダイヤ使用
SiO2などの基板上に敷き詰め
850℃のアルゴンガス
エタノール吹き込み
直径1〜2nm
30分間で約100μmまで成長
120
160
2010年 1月号円盤状量子ドット形成技術を開発東北大日刊工業新聞
(2009年10月7日PP.1)
Si基板上に直径12nmの鉄を核とするタンパク質を並べる
厚さを2nm〜6nmと変えるとバンドギャップが1.6〜2.2電子ボルトの範囲で変わる
高効率太陽電池に応用可能
120
250
160
2010年 1月号光干渉を使ったナノ精度測定埼玉大
東洋精機製作所
日経産業新聞
(2009年10月7日PP.11)
精度1nm以下
光干渉
レーザ光を2つの経路に分けて解析
20cm2
320
660
2010年 1月号振動に強く設計容易なRGBコンバイナタツタ電線日経産業新聞
(2009年10月19日PP.5)
光ファイバで光源直結
RGBコンバイナ
直径3mm長さ51mm
450nm〜650nmに対応
小型プロジェクタ向け
250
2010年 1月号伸縮自在の玉虫色フィルム帝人日経産業新聞
(2009年10月22日PP.1)
複数のポリエステル系の高分子材料
数十nmの厚さで交互に数百層積み重ねた構造
130
2009年12月号極細の金属ガラスワイヤを開発東北大日経産業新聞
(2009年9月18日PP.10)
パラジウムをベースとする合金
太さ数十nm
100フェムトテスラの磁気を電気に変える
過冷却領域
120
160
2009年12月号消費電力1/2の液晶表示装置向け偏光板光産業技術振興協会日経産業新聞
(2009年9月25日PP.1)
30μm角のガラス板に細長い数百nm大のアルミ製突起を3000個配置
高分子フィルム
プロジェクタ
バックライト
光エネルギーのうち60%を透過
消費電力5割前後
120
250
160
2009年12月号原子1個分の細さの金属ナノワイヤ名大日刊工業新聞
(2009年9月28日PP.30)
2層CNT
ユーロピウム
気層直接法で内包
120
2009年11月号記録密度3倍の次世代HDD用ヘッドセイコーインスツル
データストレージインスティチュート
日経産業新聞
(2009年8月3日PP.1)
磁気ヘッドとディスクの間隔を従来の1/3程度の7nmで維持
熱アシスト磁気記録
1Tbpi
光ファイバ磁気ヘッド
230
2009年11月号室温で世界最高の磁気抵抗効果を示す素子東北大日刊工業新聞
(2009年8月6日PP.25)
2枚の強磁性膜に絶縁膜を挟む構造
強磁性トンネル接合(MTJ)
二重トンネル障壁MTJ
中間磁性膜厚さ1.2nm
電圧約±0.1Vで磁気抵抗効果最大
120
230
2009年11月号金属ガラスで1Tbpi以上の磁気記録媒体の製造技術RIMCOF日刊工業新聞
(2009年8月6日PP.25)
熱インプリント
パターンドメディア
サファイアにダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜
25nm間隔太さ12nmのドットを形成した金型を作製
160
230
2009年11月号携帯電話端末に1Gbpsの赤外線通信機能を開発KDDI日経産業新聞
(2009年8月6日PP.1)
1Gbpsの赤外線通信技術が国際標準団体IrDAに採用
半導体レーザ
通信速度従来の250倍
従来のLEDと同じ850nm
440
540
2009年11月号ガラスより軽く曲げやすい半導体素子帝人
米ナノグラム
日本経済新聞
(2009年8月19日PP.1)
ガラス基板に比べて重さ半分以下
縦横1.5cm
厚さ120μmの切手サイズ
120
160
2009年11月号簡単構造で耐電圧1kVのダイヤ製ダイオード物材機構日経産業新聞
(2009年8月21日PP.9)
ショットキーダイオード
CVD
エキシマランプで172nmの紫外線照射
220
2009年11月号フラーレンに穴を開けて化合物を作る新手法
-長波長の光を吸収-
京大日刊工業新聞
(2009年8月21日PP.1)
約900nmまでの光を吸収
電子を受け取り易い性質
120
2009年11月号強誘電体PZTをナノチューブ状に形成兵庫県立大
富士通研
日刊工業新聞
(2009年8月24日PP.20)
有機金属気相成長(MOCVD)装置
Si基板上に酸化亜鉛を直径約100nmの円柱状に形成
120
160
2009年11月号LED輝度3割向上させる技術SCIVAX日経産業新聞
(2009年8月24日PP.12)
Si製の特殊な金型でナノサイズの穴を開ける
穴の直径約200nm・深さ160nm
160
250
2009年11月号ナノサイズの電子回路配線技術阪大日刊工業新聞
(2009年8月28日PP.1)
シリコンナノチェインがCNTに変化
タングステンの針で数十Vの電圧印加
直径10〜20nm
ワイヤ状のナノ材料に電圧でCNTを生成
120
160
2009年10月号SRAMの駆動電圧均一化東大日経産業新聞
(2009年7月13日PP.10)
回路線幅65nm以降のメモリー
製造後のSRAMにいったん大きな電圧をかけ素子の性能を修復
230
2009年10月号純緑色半導体レーザ住友電工日本経済新聞
(2009年7月16日PP.11)
窒化ガリウムの結晶の切り出し方を工夫
室温で波長が531nmのレーザ光
薄型テレビ
プロジェクタ
250
2009年10月号燃料電池の白金使用量が1/13になる白金粒子慶応大日経産業新聞
(2009年7月27日PP.12)
デンドリマー
ナトリウムボロハイドライド
0.9〜1.2nmの白金粒子を生成
120
250
2009年 9月号電気変換量14倍の色素増感型太陽電池九大日経産業新聞
(2009年6月1日PP.12)
直径数nm〜数十nmの金微粒子
フタロシアニン色素
プラズモン現象
波長700nmで得られた電流量は290nA/mW
250
2009年 9月号インジウム不使用の透明・高電導の有機薄膜製造技術山梨大日経産業新聞
(2009年6月2日PP.11)
有機高分子PEDOT
絶縁性高分子PSS
膜厚100nm以下
光透過率89%
レアメタルを不使用
120
2009年 9月号世界最小の強誘電体
-CNT内の水分子-
首都大
産総研
日刊工業新聞
(2009年6月8日PP.18)
アイスナノチューブ
外部電圧で水素原子配列反転
異なる複数の状態を持つ電気分極
120
2009年 9月号炭素のみを用いた超格子構造産総研日経産業新聞
(2009年6月12日PP.11)
ダイヤモンド同位体
炭素12と炭素13の同位体
各同位体で膜厚30nmの薄膜を作り交互に25層積層
マイクロ波プラズマCVD
120
2009年 9月号22nm世代向け基本素子ばらつき予測技術NECエレクトロニクス日経産業新聞
(2009年6月16日PP.10)
最も性能の悪い素子の電流をモデル化
不良品の割合を5〜10%にまで抑制可能
660
2009年 9月号表面積2倍の白金ナノ粒子物材機構日経産業新聞
(2009年6月25日PP.12)
数nmサイズの突起を直径20nmの粒子の表面に作る
アスコルビン酸
1gあたりの表面積が55m2
120
2009年 8月号色素増感太陽電池の耐久性向上技術東大日経産業新聞
(2009年5月8日PP.11)
電解液に直径5nm以下の微小なAl2O3などを含む粘土を混ぜて蒸発・液漏れを防ぐ
発電効率12.3%
250
2009年 8月号原子サイズの2層CNTトランジスタ青山学院大
名大
東邦大
日経産業新聞
(2009年5月15日PP.1)
電子線によりナノチューブの層を分離
PN接合の特性を確認
太さ2〜3nm
2層CNTをSi基板上に乗せる
大きさSiLSIの1/100程度
220
120
2009年 8月号pHに応じて明暗が切替わる蛍光分子東大日経産業新聞
(2009年5月19日PP.9)
pH測定精度20倍
DMAPAM
ベンゾフラザン
分子コンピュータへの応用の可能性
水素イオン濃度の測定精度従来の20倍
pH6をこえると波長570nmの蛍光を放つ
120
2009年 8月号直径10nmの銅合金線を開発日立電線日刊工業新聞
(2009年5月20日PP.1)
直径10μm
屈曲性と強度を備える
NN合金線
純銅に微量のスズとインジウムを添加
120
2009年 8月号近紫外線LED採用の液晶モジュールNEC液晶テクノロジー日刊工業新聞
(2009年5月29日)
高い色再現性能
LED発光波長300〜400nm
AdobeRGBカバー率100%
250
2009年 7月号波長235nmで発光するダイヤモンド深紫外線LED産総研日刊工業新聞
(2009年4月3日PP.22)
従来比1000倍以上の発光強度
2000A/cm2以上の電流注入でも劣化なし
発光出力約30μW
120
250
2009年 7月号ナノ繊維から不織布九大日経産業新聞
(2009年4月10日PP.11)
原料の入った溶液に高電圧をかけてナノ繊維を大量に作る120
2009年 7月号フルカラーで発光するSiナノ結晶広島大
JST
日経産業新聞
(2009年4月15日PP.9)
日刊工業新聞
(2009年4月15日PP.20)
超臨界流体のCO2にSiを浸しレーザ照射で5nmのSi粒に加工
パルスレーザアブレーション
急冷で発光強度100倍増加
光を当てると赤・緑・青・紫外光を放つ
120
250
2009年 7月号ナノレベルの物差し産総研日経産業新聞
(2009年4月20日PP.12)
ダイヤモンド結晶
0.2nmの目盛り
原子一層分の厚さ
120
660
2009年 7月号光閉じ込め能力4倍の3次元フォトニック結晶東大日経産業新聞
(2009年4月27日PP.13)
くしの歯状に切り込みを入れた厚さ200nmの半導体の板を25層積層
縦横約10μm
波長1.3μmでQ値従来比約4倍
120
250
2009年 6月号フルカラーの表示が可能な専用フィルタによる偽造防止技術富士フイルム日経産業新聞
(2009年3月2日PP.1)
フォージガード
ナノメートルレベルの有機材の厚さ
200℃で5時間の耐熱性
肉眼では見えない波長の光を反射する素材
120
2009年 6月号原子レベルで分析可能な透過型電子顕微鏡日本電子日刊工業新聞
(2009年3月5日PP.7)
球面収差補正装置
分解能0.08nm
360
2009年 6月号蓄電容量3倍のリチウムイオンキャパシタ農工大
日本ケミコン
日経産業新聞
(2009年3月11日PP.10)
電極に超微細加工したリチウム化合物
チタン酸リチウムを5〜50nmの結晶にしてファイバ状の炭素材料と混ぜる
250
2009年 6月号酸化ニッケルのナノワイヤでReRAMを製作阪大日刊工業新聞
(2009年3月19日PP.24)
日経産業新聞
(2009年3月19日PP.10)
50nm以下抵抗変化型不揮発メモリー
オンオフ比ニッケル薄膜より100倍高い
ナノ-ピコA程度で動作
直径10〜20nm
長さ10〜20μm
160
230
2009年 6月号2層CNTの内部構造を観察する技術日立
名大
東北大
日経産業新聞
(2009年3月23日PP.12)
走査型トンネル顕微鏡(STM)
電子の干渉
先端直径30nm以下のSTM探針
0.1V印加
外側の直径2nm
内側の直径1.4nmの2層CNT
画像処理で電子の密度を色の濃淡で示す
120
360
2009年 6月号印刷技術で発光パターンを形成できるゲル状発光材料大日本印刷日刊工業新聞
(2009年3月27日PP.1)
ルテニウムを中心とした遷移金属錯体,シリカナノ粒子を混練,酸化還元反応による発光
AC3.3Vで200cd/m2の輝度
大気中で厚さ25μm以上の膜でも発光
120
2009年 5月号微細な空間測る「ナノものさし」東京理科大日刊工業新聞
(2009年2月2日PP.1)
30〜40nmの空間分解能
高輝度イオンビーム2次イオン質量分析装置
210
660
2009年 5月号粒子の形状制御でアンテナ感度向上住友大阪セメント
東北大
日刊工業新聞
(2009年2月13日PP.9)
UHF帯無線通信機のアンテナ
磁性体の形状をnmサイズの扁平状粒子に制御
樹脂中に均一に配列
感度が5倍向上
340
2009年 5月号電流6倍のバイオ燃料電池東工大日経産業新聞
(2009年2月18日PP.9)
C電極の上に直径30nmのC微粒子
アクリルアミド
ビニルフェロセン
グルコースオキシダーゼ
電極1cm2あたり電流12mA
250
2009年 5月号ナノサイズ金属の立体加工技術理研東京新聞
(2009年2月24日PP.20)
金属イオン溶液に高エネルギー光を当てる
光エネルギーで結晶に変わる
約100nmの細い線
約3.5μmのまきびし状の構造物
120
160
2009年 4月号色素増感型太陽電池東工大日経産業新聞
(2009年1月14日PP.11)
直径0.1〜1μmのC繊維表面に太さ50nmで長さ数100nm〜1μmの針状酸化亜鉛繊維が並んだ構造
変換率10%の可能性
発電効率向上
250
2009年 4月号体積1/60の紫外線センサアルプス電気日経産業新聞
(2009年1月16日PP.1)
酸化亜鉛膜
波長300nmの紫外線に最も反応
縦横1.5mm高さ0.7mm
210
2009年 4月号高感度FEDイメージセンサローム日刊工業新聞
(2009年1月16日PP.25)
グラファイトナノファイバ
X線に感度
画素サイズ48×48μm
画素数は約6万画素
210
2009年 4月号超撥水性の表面処理技術東大日経産業新聞
(2009年1月21日PP.11)
酸化チタン
表面の凹凸1nm以下
160
2009年 3月号直径10nm以下の立体配線技術東工大日経産業新聞
(2008年12月4日PP.11)
自己組織化
親水性と疎水性を併せ持つ液状高分子
Si基板上に数〜数十μmの厚さで塗布
120℃以上に過熱し冷却
塩化カリウム溶液水
十〜数十Vの電圧
120
160
2009年 3月号Si薄膜の成長速度4倍に積水化学工業日経産業新聞
(2008年12月12日PP.11)
プラズマを大気中に取り出し基板に当てる
シランガス
45nm/minで成長
圧力0.7〜0.9気圧
多結晶とアモルファスから構成
結晶効率80%以上
160
2009年 3月号22ナノ世代LSI向け量産化技術Selete日刊工業新聞
(2008年12月17日PP.21)
Si基板に約0.4nmの酸化イットリウムを原子層堆積法で薄く成膜
絶縁膜としてハフニウム系の高誘電率膜
MOSトランジスタの絶縁膜にイットリウムを導入
220
2009年 3月号ひずみSiを活用してLSI処理速度を40%向上させる技術東大日経産業新聞
(2008年12月18日PP.11)
約500気圧の引っ張る力で電流量最大4%増加
チャネル幅1〜20nmのトランジスタ試作
220
2009年 3月号単結晶Siを使用した発光素子で光増幅日立日経産業新聞
(2008年12月18日PP.1)
単結晶Siの上にSiNを重ねた構造
厚さ4.4nm
波長1μm
増幅効率1.1〜1.7倍/cm
導波路
250
120
2009年 2月号CMOS微細化技術東工大日経産業新聞
(2008年11月14日PP.9)
絶縁膜の厚さ0.37nm
回路線幅16nm以下のLSI開発に不可欠な技術
絶縁膜に酸化ランタンを採用
220
120
2009年 2月号光信号を1/170に減速したスローライト新構造NTT日刊工業新聞
(2008年11月24日PP.14)
日経産業新聞
(2008年11月25日PP.11)
フォトニック結晶
結晶中に数nmレベルで穴を正確に配置
0.1μm3の微小な共振器
120
160
2009年 1月号効率10倍の光子制御技術
-量子ドット埋め込み3次元フォトニック結晶発光-
東大日刊工業新聞
(2008年10月6日PP.20)
日経産業新聞
(2008年10月9日PP.11)
膜を17層重ねた約10μm角の立方体形状
高さ5μmのフォトニック結晶
10nm四方の量子ドット
約200nmのGaAs半導体膜を交互に重畳
1.5μmで発光する量子ドットを埋めた膜を挟む
GaAsSb
Q値2300
120
250
2009年 1月号ダイヤで高効率のLED
-作製条件をシミュレーションで解明-
東工大
スタンフォード大
日経産業新聞
(2008年10月9日PP.11)
アダマンタン
直接遷移型電子構造
180nmの紫外線を放出
ダイヤ分子の大きさ0.5〜数nm
250
2009年 1月号通電遮断回路不要なGaN-HEMTトランジスタ富士通
富士通研
日刊工業新聞
(2008年10月10日PP.24)
2nmのn型GaN膜
AlN
300Vの高耐性で動作
220
2009年 1月号ナノ粒子の導電性銀インキ東洋インキ製造日経産業新聞
(2008年10月11日PP.1)
インクジェット方式での基板プリント
リオメタル
銀粒子を直径8nmに細分化
220
2009年 1月号折り曲げ自在の薄膜加工技術産総研日刊工業新聞
(2008年10月30日PP.26)
厚さ200〜10nm程度の薄膜の片側を固定しイオン照射
数十μm程度折り曲げられる
160
2008年12月号ワイヤ状の有機半導体
導電性10倍
物材機構
静大
日経産業新聞
(2008年9月10日PP.13)
ペンタゼン
メチルチオ基
直径20〜100nmで長さが1〜5μmのワイヤ状の有機半導体
抵抗率10000Ωm
120
220
2008年12月号DNAを利用したナノ構造物東工大日経産業新聞
(2008年9月13日PP.8)
塩基をブロック状に結合
0.34nm単位で長さを設計
120
160
2008年12月号発光率5割増の紫外線LED東芝日経産業新聞
(2008年9月26日PP.1)
波長383nm
厚さ10μmのA1N層をサファイア基板とGaNの間に設ける
電流20mAで23mWの光
250
160
2008年12月号線幅10μmまでの微細化スクリーン印刷法大阪府立大
新中村化学工業
中沼アートスクリーン
和歌山県工業技術センター
日経産業新聞
(2008年9月26日PP.9)
プラスチック基板上に線幅13μm
アクリル系高分子フォトレジスト材料
波長365nm
254nmの光を照射
160
2008年12月号常温・常圧で作製可能な環状構造を持つ発光高分子奈良先端大日刊工業新聞
(2008年9月29日PP.25)
大きさ100nm
ポリフルオレン
有機溶媒に水を0.1%溶かす
水を足場として環状構造
歩留まり50%
強い青色発光
120
250
2008年11月号単層CNT内に化合物ナノワイヤ合成名大
高輝度光科学研究センター
日刊工業新聞
(2008年8月1日PP.27)
日経産業新聞
(2008年8月1日PP.10)
塩化エルビウム
直径2nmのCNT
石英管
7日間700℃で加熱
90%を超す収率
120
160
2008年11月号超高密度で記録可能な色素材料奈良先端大日経産業新聞
(2008年8月5日PP.11)
ポルフィリン
フォトクロミック分子
光ディスク1枚でテラバイト級の記憶容量
がん治療への応用
2光子吸収
波長800nmのレーザを照射
40000倍の効率で光を吸収
120
230
2008年11月号白色LEDを1.5倍明るくする蛍光体三井金属日経産業新聞
(2008年8月8日PP.1)
硫化物粒子を均一化
波長450nm前後の青色LEDに緑・赤の蛍光体を組合せ
直径10〜30μmの硫化物粒子
120
250
2008年11月号透明導電膜を酸化亜鉛で作製大阪産業大日経産業新聞
(2008年8月25日PP.11)
厚さ35nmの透明な薄膜
可視光を最大90%通す
インジウムが不要
「比抵抗」は10000分の2〜3Ωcm
120
2008年11月号ナノインプリント法で同一形状のカーボンナノファイバを大量作製KAST日刊工業新聞
(2008年8月28日PP.1)
直径100〜150nm
高さ約5μm
基板1cm角
120
160
2008年11月号高性能強磁性トンネル接合素子で高周波発振に成功阪大
産総研
キヤノンアネルバ
日刊工業新聞
(2008年8月29日PP.31)
数-10GHz
発振出力約0.2μW
磁極フリー層(CoFeB)
絶縁性のトンネル障壁層(MgO)
磁極固定層(CoFeB)の3層構造
スピンの歳差運動
同素子を70nm×160nm断面の柱状に加工
120
220
2008年10月号ナノSi電子源採用の放電レス発光デバイス松下電工
農工大
電波新聞
(2008年7月9日PP.1)
キセノンガス
真空紫外光
250
2008年10月号THz波利用で危険物の探知容易に北大日経産業新聞
(2008年7月11日PP.9)
一辺100nmの金の四角形のチェーンを並べた素子
数THz〜数100THzのTHz波を増強
数11/100sで検出可能
120
2008年10月号単層CNTで超電導材料青山学院大
東大
東工大
日経産業新聞
(2008年7月17日PP.11)
金属触媒中に炭素とホウ素を混合
直径1nm
長さ1μm
-261℃でマイスナー評価
1/100の確率で炭素がホウ素に置換
Bを添加した単層CNT
120
2008年10月号半導体レーザの世界最短波長を実現浜松ホトニクス日経産業新聞
(2008年7月29日PP.8)
波長342nmの紫外レーザ光を発振
化粧にAlを混ぜる
消費電力1/100以下
Al組成が30%
AlGaNを発光層
250
120
2008年10月号手で曲げても壊れないナノ炭素繊維不織布シート東工大日刊工業新聞
(2008年7月31日PP.1)
繊維に多層CNTを成長
電界紡糸法
直径200nmの繊維
500m2/gの比表面積
化学気相成長(CDV)法
CNT直径80nm
繊維と垂直に成長
120
2008年 9月号グラフェン薄膜をSi基板に作製東北大日刊工業新聞
(2008年6月25日PP.22)
日経産業新聞
(2008年6月25日PP.11)
厚さ80nmの炭化ケイ素の薄膜作製
熱処理
電子移動度数万cm2/Vs
120
160
2008年 9月号車載機器用レンズ開発タムロン日経産業新聞
(2008年6月26日PP.9)
反射防止や耐久・耐水の性能を高める
車載機用レンズ
ナノメートル単位の特殊な多層膜
レンズの画角30〜180°
310
2008年 9月号ホログラム完成イメージのシミュレーション技術大日本印刷
日大
日刊工業新聞
(2008年6月24日PP.1)
数100nmの干渉縞の幅を50μm前後で計算
ホログラフィ
620
430
2008年 9月号TiO2ナノ粒子の発光特性解明阪大
物材機構
日刊工業新聞
(2008年6月30日PP.25)
Euイオンを添加
粒子表面の電子と正孔との再結合によるエネルギーがEuイオンのみ励起
酸素があると消光
120
250
2008年 8月号CNTで回路を立体化産総研日経産業新聞
(2008年5月6日PP.6)
単層CNT
LSIの配線
MEMSへの応用
Si基板
イソプロピルアルコール
膜厚100nm〜50μm
120
160
2008年 8月号フォトニック結晶を用いた光ビットメモリーNTT電波新聞
(2008年5月8日PP.5)
最長150nsのメモリー持続時間
InGaAsP
バイアス光パワーが最低40μW
結晶の厚さが200nm
直径200nmの空気穴を420nmの周期で三角格子状に配置
120
230
2008年 8月号レーザ光で磁石になる新素材東大日経産業新聞
(2008年5月8日PP.11)
Co
W
ピリミジン
-233℃で波長840nmの赤外線レーザをあてて磁石になる
532nmのレーザで磁石でなくなる
120
230
2008年 8月号CNTに光を当て透過量を制御し高速通信甲南大
情通機構
日刊工業新聞
(2008年5月30日PP.30)
直径1.2nm
応答時間1ps
1.5μm波長帯の光に波長400nmの信号光を重ねる
120
2008年 7月号光LSI配線構造解明阪大日経産業新聞
(2008年4月3日PP.9)
光LSI
線幅10nm
表面プラズモン
120
220
2008年 7月号次世代大規模集積回路の実現に繋がる歪みSiLSI東京インスツルメンツ
群馬大
日経産業新聞
(2008年4月3日PP.1)
近接場ラマン光
線幅32nm以降の次世代LSI
20nmひずみ分布を精密測定
120
220
660
2008年 7月号板バネ微細振動を利用した省エネ半導体素子NTT日経産業新聞
(2008年4月15日PP.9)
日刊工業新聞
(2008年4月15日PP.26)
消費電力1000〜1万分の1
1ビット分の情報処理に成功
長さ250μm
厚さ1.4μm約10nmの幅で振動
220
2008年 7月号持続時間60倍の光メモリーNTT日刊工業新聞
(2008年4月25日PP.26)
InGaAsP
持続時間最大150ns
厚さ200nmの半導体結晶に直径200nmの空気穴を420nm周期で三角格子状に配置
Q値13万
120
2008年 6月号25Gbps伝送が可能な半導体レーザ日立
日本オプネクスト
日経産業新聞
(2008年3月3日PP.9)
波長1300nm
4つの波長を組合せれば100Gbps
伝送実験12kmに成功
0℃〜85℃の間で安定動作
240
2008年 6月号電子や熱を通しやすいナノ炭素の新構造体富士通研日刊工業新聞
(2008年3月3日PP.1)
日経産業新聞
(2008年3月5日PP.10)
CNT
窒化チタン
コバルト
CVD法
直径約10nm高さ約3μm
約50層に積層した厚さ18nmのグラフェン
120
2008年 6月号ディジタル情報でホログラム画像オプトウエア
豊橋技科大
日経産業新聞
(2008年3月7日PP.1)
印刷物の大きさが5cm四方なら2〜3cm浮き上がって見える
微小な点の直径は数nm
光の屈折率を変化
表面から5mmほどのところに像を結ぶ
430
2008年 5月号Siでミリ波通信向け送受信チップNEC日経産業新聞
(2008年2月4日PP.5)
出力7mW
通信距離数10m
90nm半導体製造技術
2.6Gbps
サイズ2mm角
140
240
2008年 5月号記録容量20倍の次世代HDクレステック日経産業新聞
(2008年2月7日PP.1)
パターンドメディア
記録容量は1Tb/in2
直径6インチのSi基板上の感光性樹脂に電子ビームで同心円状に直径10nmの微小な穴を開ける
230
160
2008年 5月号発色純度高い無機EL
-ブラウン管並み-
HOYA日経産業新聞
(2008年2月8日PP.1)
CdとSeの化合物半導体の発光材料
粒径2〜6nmのナノ結晶
250
120
2008年 5月号最先端LSIパターン作製高速化クレステック
農工大
日経産業新聞
(2008年2月18日PP.10)
配線幅40nm回路を10mm角に0.3sで作製
面電子源
160
2008年 5月号ナノ粒子の簡便な新製法阪大
名大
日経産業新聞
(2008年2月21日PP.9)
イオン液体
スパッタリング装置
粒径を2〜10数nmの範囲で制御
粒径誤差約15%
160
120
2008年 5月号量子暗号通信の中継技術東北大
産総研
日経産業新聞
(2008年2月27日PP.12)
日刊工業新聞
(2008年2月27日PP.31)
量子中継器
光子から電子へ1対1で転写
AlGaAsに井戸幅11nmのGaAsを挟んだ量子井戸構造の素子を作製
電子と光子のもつれ合い解消
120
160
220
2008年 4月号フラーレン薄膜状態で積層東大日刊工業新聞
(2008年1月16日PP.32)
日経産業新聞
(2008年1月16日PP.9)
赤外線レーザで加熱・気化し堆積
数mm四方に直径1nm弱のフラーレンを10〜20層堆積
連続光赤外線レーザ堆積法
120
160
2008年 4月号太さ原子1個分の超極細金属ワイヤ作製技術名大日経産業新聞
(2008年1月29日PP.11)
太さ0.18nm
CNT
レアアース
ガドリニウム
長さ0.5μm
ピーポッド
120
160
2008年 3月号回路線幅32nmLSI向け製造プロセス技術Selete
日立建機ファインテック
日経産業新聞
(2007年12月11日PP.1)
電流漏れを防ぐ技術
電極素材と配線層間材料を新たに開発
ゲート材料にTiN
絶縁膜に窒化ハフニウムシリケート
nMOSにMgO
pMOSにAlO
ポーラスシリカ
SiO
比誘電率2.4
120
160
220
2008年 3月号15nmNANDフラッシュメモリー用基本素子を試作東芝日経産業新聞
(2007年12月13日PP.12)
日本経済新聞
(2007年12月13日PP.12)
100Gb級の集積度
フローティングゲートを挟む酸化膜を極薄化
微細化しても高速書込みと長期記録保持可能
160
230
2008年 3月号高速・低消費電力の新トランジスタ日立
東大
日経産業新聞
(2007年12月14日PP.11)
絶縁膜厚を10nmにして基板からも電圧制御
漏れ電流1/10
動作速度20%向上
SOI
160
220
2008年 3月号ギガビット級のMRAM日立
東北大
日経産業新聞
(2007年12月20日PP.1)
記録層を2層に増やす
スピン注入方式
積層フェリ構造
コバルト鉄ボロン
ルテニウム
回路線幅45nm
小型メモリー素子
長期間保持
230
2008年 3月号GaNフォトニック結晶面発光レーザ
-青紫色領域で発振-
京大
JST
日経産業新聞
(2007年12月21日PP.11)
日刊工業新聞
(2007年12月21日PP.22)
再成長空気孔形成法
波長406nm
素子内部に直径85nm
深さ100nmの微小な空洞を186nm間隔で配置
160
250
2008年 3月号酸化鉄でReRAM素子松下電器日経産業新聞
(2007年12月26日PP.9)
不揮発性メモリー
相転移
電気抵抗が最大10の5乗まで変化
180nmプロセス
書き換え耐性3万回以上
抵抗変化式メモリー
10nsで書込み可能
データ保持時間2000時間
120
230
160
2008年 3月号最新の光変調器米IBM電波新聞
(2007年12月11日PP.3)
マッハツェンダ光変調器
大きさ1/100〜1/1000
電気信号の代わりに光パルスを使用
シリコンナノフォトニック導波管
220
2008年 2月号有機ELの寿命9倍に北陸先端大日経産業新聞
(2007年11月16日PP.1)
透明電極と正孔輸送層が接する面に酸化モリブデンで作った薄膜挿入
0.75nmの極薄膜採用
360cd/m2の輝度が半減するまで3万7千時間
120
160
250
2008年 2月号量子多体現象
超高速で計算処理
NII
米スタンフォード大
日経産業新聞
(2007年11月22日PP.9)
日刊工業新聞
(2007年11月22日PP.20)
光と閉じ込める微細構造を相互に連結
厚さ3nm半導体薄膜12層
ボーズアインシュタイン凝縮体を約20個形成
超流動的
120
160
220
2008年 2月号高密度な光メモリー基本素子を作成東大日本経済新聞
(2007年11月19日PP.19)
フラッシュメモリーの一万倍の記録密度
近接場光
GaAs基板に径5〜50nmの量子ドットを埋め込む
理論記録密度は10の15乗bit/inch2
120
160
230
2008年 1月号線幅100nm以下の超電導回路物材機構日経産業新聞
(2007年10月2日PP.1)
光相変化材料Y123
Y
Ba
Cu
O
近接場光
先端50nm径の光ファイバ
30nm径の超電導体ドットを50nm間隔で作成
10K以下で超電導状態
ジョセフソン接合
120
160
220
2008年 1月号容量2倍を実現するHDD高密度化技術昭和電工日経産業新聞
(2007年10月19日PP.1)
ディスクリートトラック
非磁性材料でトラックを挟む
記録密度3倍
記録トラックの横幅65nm
ナノインプリントでトラックを成型
230
160
2008年 1月号光配線LSIチップ
-線幅22nmに道-
Selete日経産業新聞
(2007年10月23日PP.1)
表面プラズモン
SiとSi化合物を重ねた構造の表面にくし形の電極を並べた光電気変換器
縦10μm
横2μm
クロック信号部分を光配線に置き換え
160
240
2008年 1月号非極性面採用青色半導体レーザ
-室温連続発振に成功-
ローム電波新聞
(2007年10月25日PP.1)
非極性面(m面)GaN
波長463nm
共振器長400μm
ストライプ幅2.5μm
しきい値電流69mA
しきい値電圧6.2V
出力2mW以上
120
250
2007年12月号ナノインプリント方式で回路線幅18nmの半導体製造技術大日本印刷日経産業新聞
(2007年9月18日PP.1)
電子ビームのビームを細くするとともに強度や照射量を調整
石英ガラスのエッチングの条件最適化
面積は1/10程度
露光でなく転写で回路形成
160
220
2007年12月号次世代CMOS素子
-しきい値電圧の時間変動の仕組み解明-
Selete
筑波大
広島大
早大
日刊工業新聞
(2007年9月20日PP.28)
45nm世代
窒化ハフニウムシリケートの劣化
界面特性
120
220
2007年12月号従来の約1/10以下の細さの金属微細配線技術東北大
チッソ
日本電子精機
日刊工業新聞
(2007年9月26日PP.29)
フレキシブルプリンタブルエレクトロニクスへの応用
数百nmの微細配線
波長488nmのアルゴンレーザ
220
160
2007年12月号蛍光発光する有機ナノチューブ産総研日刊工業新聞
(2007年9月19日PP.29)
オーガニックナノチューブAIST
ブドウ糖
オレイン酸
両親媒性
自己集合の際に蛍光分子を添加
薬物伝達システム(DDS)



120
250
260
2007年11月号光を2ns閉じ込め京大
JST
日刊工業新聞
(2007年8月2日PP.22)
厚さ250nm
Si
直径100nmの空孔
屈折率の差により共振
波長1.5μmの光
フォトニック結晶
240
2007年11月号近接場光を利用した記録密度20倍の磁気記録装置用ヘッド骨格部セイコーインスツル日経産業新聞
(2007年8月3日PP.10)
サスペンションに光ファイバを取り付ける
領域20nm
1.8m/sで高速回転
37nm浮上
領域10nmにも対応
4Tbpi相当
120
230
2007年11月号界面活性分子を使用したナノ自立膜の新製法物材機構日経産業新聞
(2007年8月6日PP.8)
日刊工業新聞
(2007年8月6日PP.17)
ドデシルホスホコリン
シャボン膜
スパッタ法
電子ビーム蒸着法
熱蒸着法
厚さ1〜100nm
160
2007年11月号色が変化する調光ガラス産総研
山形大
北陸先端大
農工大
フジサンケイビジネスアイ
(2007年8月9日PP.7)
プルシアンブルー
直径10〜20nm程度の粒子化
ナノ粒子の表面を被覆材料を添加して溶媒に分散させてインク化
エレクトロクロミズム
120
2007年11月号回路幅45nm対応の塗布型絶縁膜JSR日経産業新聞
(2007年8月22日PP.1)
低誘電層間絶縁膜材料(Low-k材料)
Cの割合を高めCとSiの分子の結びつきで強度アップ
誘電率2.4
120
160
2007年10月号幅50nmの複数線を同時に描画する並列走査型装置立命館大
兵庫県立大
ユニソク
住友精密工業
JST
日刊工業新聞
(2007年7月12日PP.20)
フォトレジスト
Si基板
並列走査型プローブ
ナノライティング装置
Si酸化膜を作製
エッチング
20〜60本を並列に配置
160
2007年10月号線幅30nm以下の半導体量産向けナノインプリント技術用の石英ガラスモールド試作HOYA日経産業新聞
(2007年7月19日PP.1)
位相シフトマスク作成原理を応用
回路パターンの材料であるCrやレジストの中身・厚さ・処理方法を最適化
型を熱硬化樹脂に押し付け紫外線で転写
160
2007年10月号ナノ炭素材料で単原子トランジスタを試作青山学院大
名大
産総研
富士通研
日経産業新聞
(2007年7月20日PP.9)
ピーポッド
量子ドット
SiO2の絶縁膜
金とチタンの合金の電極
CNTの内側に複数のフラーレンを並べて詰めた構造
120
220
2007年 9月号低抵抗CNT縦穴配線材料
-次世代LSIにおけるCNT配線実現に一歩-
Selete日刊工業新聞
(2007年6月5日PP.1)
ビア配線材料
弾道伝導現象
CVD
ビア高さ60nm
直径160nm
化学機械研磨(CMP)
22nm世代
450℃で化学気相成長
Cuより低抵抗
120
160
2007年 9月号反射率1/10の光学ガラス松下電器
NEDO
日経産業新聞
(2007年6月7日PP.13)
精密なSiO2製の型をレンズ表面に押しつけ微細な凹凸構造を作って反射を抑制
凹凸の頂点間隔300nm
250
260
310
2007年 9月号45nm世代以降トランジスタしきい値電圧制御技術Selete
物質・材料研究機構
筑波大
早大
阪大
広島大
日刊工業新聞
(2007年6月12日PP.24)
金属電極にAlを10%程度
電圧変動の要因となる絶縁膜中の酸素欠損を解消
窒化ハフニウムシリケート
220
160
2007年 9月号CMOSトランジスタのしきい値電圧の仕組み解明産総研
超先端電子技術開発機構
日刊工業新聞
(2007年6月12日PP.24)
高誘電率絶縁膜
Si酸化膜と下部絶縁膜の界面でしきい値に大きくずれ
Si酸化膜上の絶縁膜を0.1nm寸法で精度よく制御することが閾値電流を制御する鍵
120
220
160
2007年 9月号周波数倍率10倍のシステムLSI用クロック発生回路富士通研日経産業新聞
(2007年6月13日PP.9)
クロック周波数範囲40〜400MHz
回路線幅90nm半導体で試作
220
2007年 9月号45nm半導体の製造工程を2割削減する技術NECエレクトロニクス日経産業新聞
(2007年6月14日PP.9)
絶縁膜にHfを加えることにより絶縁体の厚みでトランジスタの特性を決定
不純物添加工程が1/6
120
160
2007年 9月号銅微粒子によるコンデンサ電極東大日経産業新聞
(2007年6月14日PP.13)
銅微粒子に熱処理を施す
微細粒子を約百nmの大きさで均一に作製
120
2007年 9月号スピンの向きがそろった電子の室温での移動に成功阪大日刊工業新聞
(2007年6月21日PP.33)
2つのコバルト電極
幅250nmのグラフェンを通過してもスピンの向きがそろった電子の移動を示す電圧変化を観測
120
2007年 9月号単層CNT高速成長法の再現に成功東大日刊工業新聞
(2007年6月21日PP.33)
スーパーグロース法
アルミナ基板
平均膜厚0.5nm程度の鉄触媒
長さ2〜3mm
直径平均4nm程度
10分間で合成
120
160
2007年 9月号可視光通信の標準規格制定JEITA日経産業新聞
(2007年6月28日PP.3)
可視光通信コンソーシアム
照明器具に組み込んだLEDを点滅し情報を送信
波長380〜780nm
最大4.8kbps
540
2007年 8月号オールSiの次世代半導体素子日立日経産業新聞
(2007年5月8日PP.11)
信号伝達はすべて光
SiO2の絶縁層で挟んだ厚さ9nmのSi薄膜が発光
0.5mm離れたSi受光部
室温動作
160
220
2007年 8月号光の吸収領域を拡張できる単層CNT産総研日刊工業新聞
(2007年5月18日PP.24)
色素分子を内包
スクアリリウム色素
波長950nm前後に加え700nm前後の赤外光を吸収し発光
光機能材料
120
210
240
2007年 8月号容量10倍の磁気テープ
-テープ1本で10TB-
日立マクセル
東工大
日経産業新聞
(2007年5月18日PP.1)
酸化鉄をArガス中での放電を利用して気化しスパッタ
磁性粒子10nm以下
記録層の厚さ1/10
130
160
230
2007年 8月号HDの容量を10倍にする磁気ヘッド向け要素技術東芝
東北大
日経産業新聞
(2007年5月21日PP.8)
高い磁気抵抗比
低い素子抵抗
ナノコンタクト
MgOの基板上にNi-Feの電極
電極の数十nmの隙間をNi-Feでつなぐ
最も細い部分1nm幅
磁気抵抗比室温で140%
120
230
2007年 8月号回路線幅26nmの微細加工に成功NEDO日経産業新聞
(2007年5月31日PP.3)
極紫外線(EUV)露光
光源波長13.5nm
0.5mmの範囲に幅26nmの回路を転写
反射型マスク
高性能反射鏡
160
2007年 7月号透明導電膜を粒子塗布で製作東北大
DOWAエレクトロニクス
日経産業新聞
(2007年4月4日PP.12)
InとSnイオン混合溶液を加熱してゲル状にする
ITO
大きさ50〜100nmの微粒子立方体
160
250
2007年 7月号高品質多結晶Si薄膜を熱処理により5秒で作成技術奈良先端大
松下電器
日刊工業新聞
(2007年4月6日PP.1)
フェリチン(鉄貯蔵タンパク質)
直径7nmのNiを触媒として内包
非晶質Si薄膜
650℃で熱処理
プラスチック基板上に高性能TFTを作成可能
160
250
2007年 7月号Siを用いた1/100サイズの光スイッチNEC日経産業新聞
(2007年4月12日PP.1)
光スイッチサイズ縦0.2mm横0.12mm
シリコンナノフォトニクス
光の分岐点の角度をミクロン単位に鋭角化
140
240
2007年 7月号大型有機EL量産技術ソニー日経産業新聞
(2007年4月13日PP.3)
40型も量産可能
アモルファスSiをベースとしたマイクロSiTFT
シリコンナノフォトニクス
250
2007年 7月号リング状金属によりレンズの屈折率を高める技術理化学研日経産業新聞
(2007年4月18日PP.11)
波長1/10〜1/4のリングにより透磁率が高まり屈折率増大
AgNO3を透明材料に加えフェムト秒レーザで還元
直径約6nmのリング状金属
120
310
2007年 6月号ナノ構造物を半導体基板上に作製物材機構日経産業新聞
(2007年3月9日PP.8)
透過型電子顕微鏡
形成したい元素の酸化化合物ガスを吹き込んで電子ビーム照射
大きさ数nmのアンテナ型構造物を作製
160
2007年 6月号深紫外固体紫外線レーザ三菱電機
阪大
電波新聞
(2007年3月15日PP.6)
波長213nm
出力10W
LD励起固体レーザの基本ユニットを最大9段まで連結
非線形光学結晶により波長変換
160
250
2007年 6月号ナノテクノロジー応用の高誘電率半導体素材
-記憶容量100倍に-
物材機構日経産業新聞
(2007年3月23日PP.11)
厚さ約1nm横幅数十μmのシート状の酸化チタン
5〜15nmの積層薄膜
120
2007年 6月号鉄白金微粒子を基板上に成膜
-HDD容量10倍以上-
東芝日経産業新聞
(2007年3月27日PP.9)
垂直磁気記録方式
CVD
酸化マグネシウム基板
直径5nmの微粒子
1.8インチHDDで1Tb
130
160
230
260
2007年 6月号赤外光伝送を10倍効率化富士通研
東工大
日経産業新聞
(2007年3月29日PP.13)
Siと赤外光を通す薄膜上結晶の間に酸化セシウムなどでできた厚さ200nmの中間層120
160
2007年 6月号鮮明の動画を撮影でき
撮影速度2.6倍の顕微鏡
金沢大日経産業新聞
(2007年3月9日PP.1)
ナノメートル単位の「探針」で物質の表面をなぞり分子レベルで観察できる原子間力顕微鏡(AFM)360
2007年 6月号1ナノで室温垂直磁化阪大日刊工業新聞
(2007年3月16日PP.22)
鉄プラチナ規則合金薄膜
円偏光X線
230
2007年 5月号中性粒子ビームで直径10nm厚さ2nmの円盤構造作成東北大日経産業新聞
(2007年2月19日PP.11)
量子効果を室温で確認
塩素原子を基に電荷を持たない中性粒子ビーム加工技術
160
2007年 5月号波長1.3μmの単一光子LEDと安全性を向上した量子暗号通信英東芝欧州研
英ケンブリッジ大
英ロンドン王立大
日刊工業新聞
(2007年2月21日PP.24)
日経産業新聞
(2007年2月21日PP.10)
電波新聞
(2007年2月21日PP.1)
新光源
デコイ手法
単一方向型量子暗号鍵配信技術
距離25kmで5.5kbpsの最終鍵配信速度を実証GaAsからなる基板上に直径45nm高さ10nmの量子ドットを形成
250
420
440
2007年 5月号高速磁気光による映写技術豪パノラマ・ラブズ電波新聞
(2007年2月22日PP.3)
ナノスケール構造でピクセルの輝度を15nsという超高速で切替える
プラズマやDLPより1000倍LCDより100万倍速い
250
350
2007年 5月号RGB3色発光の新結晶岩手大日経産業新聞
(2007年2月26日PP.8)
硫酸カリウムの中に部分的にアミノベンゼンスルホン酸を溶かして冷却
1cm角の結晶
波長355nmのレーザを照射
リン光
量子効率70%
120
160
250
2007年 5月号直径平均3nmのITOナノ粒子を作製産総研日刊工業新聞
(2007年2月26日PP.22)
粒径20〜100nmのITO粒子にパルスレーザを集光照射
液相レーザアブレーション技術
In使用量削減
160
2007年 4月号次世代HD用酸化アルミ膜山形富士通
富士通研
神奈川科学技術アカデミー
日刊工業新聞
(2007年1月11日PP.27)
酸化アルミニウム膜
ハードディスク
25nm間隔の穴
磁性金属
記録容量5倍以上
1Tbpi
230
260
2007年 4月号単電子トランジスタ試作東大日経産業新聞
(2007年1月19日PP.9)
大きさ2nmの量子ドット220
160
2007年 4月号位置決め精度3nmの小型駆動装置東大
仏国立科学研究センター(CNRS)
日経産業新聞
(2007年1月31日PP.15)
大きさ縦0.5mm×横5mm
12枚のT字型板をバネでつなぐ
最大変位8.6μm
250
260
2007年 4月号HDDヘッド用光素子開発富士通
富士通研
日経産業新聞
(2007年1月15日PP.19)
照射部面積が縦88×横60nm
酸化タンタル
熱アシスト磁気記録ヘッド
230
2007年 3月号PRAM駆動電力1/10日立
ルネサステクノロジ
日経産業新聞
(2006年12月13日PP.9)
記録層と絶縁膜の間に厚さ2〜3nmのTa2O5薄膜
記録時電流数百μA
160
230
2007年 3月号光電変換CNT東大日経産業新聞
(2006年12月15日PP.10)
電子を放出する層を電子を受け取る分子の層で包んだ中空構造
直径16nm
壁の厚さ3nm
長さ数μm
120
2007年 3月号駆動電流が50%超向上する次世代立体型トランジスタ東芝日刊工業新聞
(2006年12月15日PP.30)
雪かき効果
金属シリサイドとチャネル部分のSi界面に不純物原子を高濃度で2〜3nm厚に偏析した層を形成
160
220
2007年 3月号可視光・近赤外同時撮像可能なCMOSカメラ豊田中研日経産業新聞
(2006年12月15日PP.10)
波長780〜1100nmの近赤外線
二つある緑色カラーフィルタの一つを近赤外線用に変更
画素サイズ7.4μm角
210
2007年 3月号線幅32nmLSI性能2倍に東芝日経産業新聞
(2006年12月15日PP.10)
Si加工面に1%の歪を加えるn型トランジスタ
0.1%で解析
160
220
2007年 3月号動作速度2割向上した線幅45nmトランジスタ富士通
富士通研
日経産業新聞
(2006年12月19日PP.11)
電流低下や電流漏れを抑制160
220
2007年 3月号1ns間光を閉じ込める新共振器構造NTT日刊工業新聞
(2006年12月25日PP.15)
フォトニック結晶
導波路の幅を変調
直径200nm程度の穴を三角格子状に配列
穴の位置を局所的に3〜9nm移動
Q値120万
160
240
2007年 2月号回路線幅55nmのシステムLSI量産技術NECエレクトロニクス日刊工業新聞
(2006年11月6日PP.1)
DRAM混載
液浸露光
ゲート絶縁膜上にハフニウム極薄膜
160
2007年 2月号凹凸がナノ級のUV照射無電解メッキ関東学院大日刊工業新聞
(2006年11月16日PP.1)
ポリイミドフィルム
液晶ポリマー
数分間のUV照射で材料に凹凸をつけずに表面改質
Cu・Ni・Pの合金を下地メッキ
スパッタリングに比べて低コスト
160
2007年 2月号フェムト秒レーザ照射で単結晶の格子欠陥確認京大
東大
日刊工業新聞
(2006年11月20日PP.19)
特定方向に数nm幅の転位線
クロス形状の構造MgO結晶
120
2007年 2月号炭素のナノ粒子を簡単に作製
-Liイオン2次電池電極材料に使用-
宮崎大日経産業新聞
(2006年11月24日PP.10)
レゾルシノールとホルムアルデヒドを添加剤を加えて水溶液に入れて90℃で加熱
N2ガス中で約1000℃に加熱
2007年 1月号LED向けGaN結晶を横向きに成長させる技術ローム日経産業新聞
(2006年10月18日PP.9)
緑色レーザ
六角柱の結晶構造
トリメチルガリウム
アンモニア
2mW出力
波長500nmの光を出すことに成功
160
250
2007年 1月号HDD磁気ヘッド用積層型光素子富士通研日刊工業新聞
(2006年10月19日PP.25)
熱アシスト磁気記録方式
波長の15%に相当する88nm×60nmの光ビーム径
Si材料を用いて光の透過層を積層
波長400nmの光で17%の光利用効率
120
230
2007年 1月号有機薄膜太陽電池の光電変換効率を向上東大日経産業新聞
(2006年10月25日PP.9)
電極に直径約30nmの無数の突起
1.25cm×2.5cmの試作電池で効率2.7%
ポリチオフェン
フラーレンを含む有機高分子
120
250
2006年12月号フィルム中に金ナノ粒子を作製
-立体ナノ配線に道-
阪大日刊工業新聞
(2006年9月4日PP.28)
PVAフィルム
ラジカル前駆体(ベンゾフェノン)と金イオン1〜5%をドープ
波長が異なる二つのレーザを照射
ギ酸がない場合に比べ金ナノ粒子の生成速度は約20倍
260
160
2006年12月号DRAMの消費電力を10%削減
-絶縁膜材料に水使用-
日立日刊工業新聞
(2006年9月14日PP.37)
Al2O3絶縁膜
成膜時間半減
シリコン酸窒化膜
漏れ電流抑制
界面の酸化を回避
酸化膜換算膜圧2.9nm
230
160
2006年12月号フルメタルゲートCMOS半導体先端テクノロジーズ(Selete)電波新聞
(2006年9月13日PP.1)
回路線幅45nm以降
0.84nmの高誘電率(High-k)ゲート絶縁膜
デュアルメタルCMOSプロセス
窒化ハフニウムシリケート(HfSiON)
160
220
2006年12月号明るさ1.8倍のLED東芝日経産業新聞
(2006年9月21日PP.11)
ナノサイズの微細な凹凸
自己組織化
ポリスチレン
ポリメタクリル酸メチル
高分子塗布
200℃で加熱
150〜200nm間隔に直径100nm高さ450〜500nmの円柱状の突起
250
160
2006年11月号ZnOの液晶パネル用透明導電膜高知工科大日経産業新聞
(2006年8月4日PP.1)
ZnOで酸化インジウムスズ(ITO)並みの電気抵抗を実現
反応性プラズマ蒸着装置
膜厚30nmで電気抵抗率4.4μΩm
160
250
2006年11月号光導波路向け微細金型アルプス電気日経産業新聞
(2006年8月11日PP.1)
MEMS
導線幅10μm
ナノインプリント
光導波路
160
260
2006年11月号有機ナノデバイス
-整流作用を確認-
自然科学研究機構
阪大
日刊工業新聞
(2006年8月24日PP.1)
nm径の円筒状単層CNTにポルフィリン分子吸着
自己組織化
Si製の1/10
120
160
220
2006年11月号カーボンナノウォールを効率よく大量生産横浜市大
石川島播磨
日刊工業新聞
(2006年8月28日PP.1)
プラズマCVD装置
約10p角の基板でも均一に作製可能
120
160
2006年11月号長さ3.5mmで光を100倍増幅する高分子光導波路KRI日刊工業新聞
(2006年8月29日PP.1)
ナノ粒子合成・分散技術
ユーロピウムを添加
希土類-金属ナノクラスタ
消光現象を抑制
希土類元素の添加濃度5%
160
240
2006年10月号立体映像を記録したホログラムの安価量産技術東京理科大日経産業新聞
(2006年7月11日PP.10)
ナノインプリント
微細金型
透明レジスト膜
光硬化性樹脂
紫外線照射
160
430
2006年10月号SiでLED日立日経産業新聞
(2006年7月25日PP.10)
厚さ9nm
発光波長約1000nm
厚さ700μmのSi基板上に厚さ約200nmのSi酸化膜とそのうえに厚さ50nmのSi膜
160
250
2006年 9月号強度2倍層間絶縁膜
-50nm世代メモリー向け-
日立
日立化成
日刊工業新聞
(2006年6月13日PP.27)
塗布型
強固な分子構造
耐熱性800℃
比誘電率2.4
薬品耐性向上
平坦性維持
160
2006年 9月号55nm素子形成技術
-SRAMで実用性確認-
NECエレクトロニクス日刊工業新聞
(2006年6月16日PP.29)
酸窒化膜上に極薄膜のハフニウムシリケートを載せたゲート絶縁膜
トランジスタのしきい値制御範囲拡大
漏れ電流10%低減
ArF液浸露光装置
160
220
2006年 9月号色でナノ構造観察する光学顕微鏡阪大日刊工業新聞
(2006年6月21日PP.31)
散乱光の色の変化
約20nmの金属針
波長532nmの光照射
CNTの構造変化を測定
210
320
360
2006年 9月号縦型構造のGaNトランジスタ松下電器電波新聞
(2006年6月28日PP.1)
微細セルフアライン工程
チャネル幅0.3μm
単位デバイス幅1.2μm
In・Alを添加したInAlGaN4元混晶を20nm成長
160
220
2006年 8月号単層CNTの新合成技術
-後処理不要
純度97%ー
産総研日刊工業新聞
(2006年5月12日PP.25)
日経産業新聞
(2006年5月12日PP.9)
構造欠陥1/10以下
直噴熱分解合成法(DIPS法)を改良
量産性100倍
CNTの直径を0.1nm単位で制御可能
120
160
2006年 8月号ストレージ用磁気テープの基礎技術
-記録密度15倍以上へ-
富士写真フイルム
米IBM
日経産業新聞
(2006年5月17日PP.1)
6.67Gbpiの記録密度
酸化鉄粒子層の上に65nm厚でバリウムフェライトを塗布
粒子直径21nm
長期保存性
テープ1巻あたり8Tbyte目標
130
120
160
2006年 7月号次世代半導体メモリー
-蓄積電荷5倍の新材料を開発-
東工大
富士通
日経産業新聞
(2006年4月3日PP.17)
FeRAM
ビスマスフェライト(BFO)に微量のMnを加えた新材料
65nmまで微細化可能
120
230
2006年 7月号液体でSiTFTセイコーエプソン
JSR
朝日新聞
(2006年4月6日PP.3)
日刊工業新聞
(2006年4月6日PP.24)
日経産業新聞
(2006年4月7日PP.9)
HとSiを含む液体材料
回転塗布またはインクジェットで成膜
厚さ300nmのSi膜パターン
シラン化合物
500℃前後で焼成
コスト半分
消費電力1/10程度
120
160
220
250
2006年 7月号光100%透過の新材料を設計理化学研日経産業新聞
(2006年4月7日PP.10)
ポリマーの中に外径60nm内径40nmの金属リングを規則的に配置した構造
リング状金属
通信時の損失防ぐ
140
120
2006年 7月号黒鉛基板上の銀ナノ粒子加熱で液化せず蒸発阪大日刊工業新聞
(2006年4月12日PP.29)
透過型電子顕微鏡(TEM)
黒鉛基板を680℃で保持
約2分で消滅
ナノ粒子により融点が下がる
160
2006年 7月号1TbitHDD向けパターン磁気記録技術早大日刊工業新聞
(2006年4月18日PP.33)
湿式法
直径10nmの微細孔
直径2nmの有機シラン
Co系合金
ドット径10〜20nmの磁性ナノドットアレイ
120
160
230
2006年 6月号CNT素子の新作成法
-電流変動1/1000-
阪大
産総研
JST
日刊工業新聞
(2006年3月1日PP.25)
電波新聞
(2006年3月14日PP.6)
CNTトランジスタ
電流の変動0.01%
フォトレジストを改善
4μmの電極間に直径1.5nmのCNT
CNTをSiN膜で保護
不純物を一切つけない新しいプロセスの開発
160
220
2006年 6月号屈折限界超すナノレンズ
-金属ナノ構造と光の相互作用で実現した波長を超える高解像度-
理化学研日刊工業新聞
(2006年3月2日PP.27)
表面プラズモン
金属ロッドアレイ
メタマテリアル構造
生体細胞ナノサイズで撮影可能
光の収差
プラズモニクス
金属錯イオンを2光子還元
負の屈折率
120
160
310
2006年 6月号マルチモードファイバ(MMF)
-10Gbps
300mの伝送に成功-
富士通
東大
日刊工業新聞
(2006年3月3日PP.1)
温度無依存の量子ドットレーザ(QDLD)
3Dのナノ構造に電子が閉じ込められて発光
冷却機・電流駆動制御不要
240
120
2006年 6月号白色レーザ発振可能なフッ化物ファイバ住田光学ガラス日刊工業新聞
(2006年3月3日PP.1)
1本で青色半導体レーザを白色レーザとして連続発振
PrをAlF系ガラスに含ませた独自素材
522nm・635nmとあわせ440nm
ディスプレイ光源
高い変換効率
三原色の高い色再現性
120
160
240
250
2006年 6月号有機ELを光源に使用した印字ヘッドセイコーエプソン日経産業新聞
(2006年3月15日PP.9)
厚さ0.5mmのガラス基板上に有機EL素材をnm単位の厚さで塗布
印字品質向上と小型化
体積比で1割
250
2006年 6月号次期光波網用MEMS中空導波路
-波長可変幅1桁向上-
東工大日刊工業新聞
(2006年3月22日PP.19)
微小電気機械システム
中空コア
上の反射板のMEMSで波長を変化
下の反射板の回折格子で波長選択
数百nmの変化幅
160
240
250
2006年 6月号光で動く分子ピンセット東大日刊工業新聞
(2006年3月23日PP.31)
大きさは1nm
伸縮はアゾベンゼン
軸回転はフェロセン
塩基分子をつかむ亜鉛ポルフィリン
分子ロボット
120
160
2006年 6月号不揮発性強誘電体メモリー(FeRAM)新材料
-記憶保持能力を5倍に-
東工大
富士通
富士通研
日刊工業新聞
(2006年3月24日PP.33)
ビスマスフェライト(BFO)にMnを加えて漏れ電流低減
65nm世代で256MB実現
120
230
2006年 6月号高解像度CMOSセンサ
-光で距離と画像を認識-
シャープ
静大
スズキ
電波新聞
(2006年3月24日PP.1)
日経産業新聞
(2006年3月24日PP.8)
日刊工業新聞
(2006年3月24日PP.12)
LED光源からの近赤外光が対象物で反射しセンサまでの光の飛行距離と光の速度から距離計算
信号電荷検出機能を集積化
TOF
OVGA
距離分解能パルス幅20nm距離1mで1cm
68ピンLCCパッケージ
210
220
320
2006年 6月号再構成可能な光合分波器
-フォトニック結晶で実現-
東大
NEC
日刊工業新聞
(2006年3月29日PP.37)
波長を変えて光経路を切替え
R-OADM
PCの対応波長幅約10nm
埋込みSOI基板のSi層に周期的に孔
160
240
2006年 5月号すりつぶすだけでナノ結晶海洋研究開発機構日刊工業新聞
(2006年2月2日PP.1)
フラーレン
C60
C70
数分すりつぶす
約30%が直径数μm以下
毒性なし
120
160
2006年 5月号LED型量子暗号通信素子東芝欧州研究所日経産業新聞
(2006年2月3日PP.8)
量子もつれ光子対を任意に発生
高さ6nm直径12nmの量子ドット微細構造
半導体素子
120
240
250
220
2006年 5月号たんぱく質で半導体メモリー奈良先端大
松下電器
日刊工業新聞
(2006年2月9日PP.27)
不揮発性半導体メモリー
フローティングゲートにフェリチンを利用した直径7nmのCoOナノ粒子
フェリチンの外径13nm
120
220
230
2006年 5月号キャパシタの蓄電効率10%改善
-電極抵抗1/4に-
東海大日経産業新聞
(2006年2月15日PP.11)
ナノテク素材
電気二重層キャパシタ
50mgの活性炭に直径10nm長さ100μmのCNT加え直径約1cm厚さ1mmの電極
電極の抵抗2.5Ω
厚さ3mmで2.5F
120
160
250
2006年 5月号銅ナノインク開発旭化成日刊工業新聞
(2006年2月22日PP.23)
印刷技術活用
Cu配線や薄膜を低コスト形成
厚さや線幅をμmオーダーで制御可能
酸化膜のナノサイズ微粒子と酸化還元剤をインクに配合
塗布後焼成
エッチング工程不要
130
160
120
2006年 5月号回路線幅29.9nmパターン生成
-深紫外線光リソグラフィ-
米IBM
JSR
電波新聞
(2006年2月22日PP.3)
日経産業新聞
(2006年2月22日PP.3)
DUV193nm
光屈折率液侵技術
石英レンズや有機液体などの新素材
EUV(極紫外線)でなくArF対応ステッパの継続使用可能
独自開発のフォトレジスト
120
160
2006年 5月号電界集中効果2割増のCNT束エミッタ
-ランプやディスプレイなど多用途-
高知工科大
大阪大
ソナック
日刊工業新聞
(2006年2月24日PP.29)
しきい電界強度0.4〜3V/μm
直径50μm
高さ125μm
個々のCNTの直径9nm
フォトエッチング法
CVD法
160
250
2006年 4月号ペースト状ナノ粒子
-幅20μm配線可能に-
大研化学工業
大阪市立工業研
日経産業新聞
(2006年1月1日PP.21)
AgとPdの合金ナノ粒子
直径5nm
樹脂と混ぜる
スクリーン印刷
プラスチック基板に回路パターンを書く
加熱300℃で樹脂が分解
120
160
2006年 4月号金属内包フラーレン1個でスイッチ動作東工大
名大
電波新聞
(2006年1月5日PP.7)
分子ナノデバイス
融合新興分野
Tb@C82
自己組織化分子膜
測定温度-260℃
120
160
660
2006年 4月号通電にまっすぐになるコイル状CNT
―原子構造変化を解明-
大阪府大日刊工業新聞
(2006年1月19日PP.26)
2層CNT
円周電流密度0.9μA/nmでコイルがゆるみはじめ
2.2μA/nmで大きく変形
2.6μA/nmで直線状
電流による局所的な高温状態により曲面にある五角形
七角形の原子構造が六角形に変化
120
130
2006年 4月号液晶フィルム新素材慶応大
JST
日本経済新聞
(2006年1月20日PP.17)
複屈折を抑えるnmサイズの微粒子
ポリカーボネート樹脂に約50nmのSrCO3粒子を加える
押し出し成形
40μm厚
120
160
2006年 3月号10nm未満素子集積にめど
-バルク素子のオンオフ電流比を6倍に-
NEC
NECエレクトロニクス
日刊工業新聞
(2005年12月5日PP.22)
自己整合的に10nmのソースドレイン拡張領域(SDE)と厚いソースドレイン(S/D)を一度に作り上げるSi選択成長によるせり上げ技術
酸化Siライナー
160
220
2006年 3月号立体構造トランジスタの製造技術
-32nmLSI実現へ-
東芝日経産業新聞
(2005年12月8日PP.10)
フィンFET
ゲート長20nm
不純物によりリーク電流を抑圧
寸法のばらつきをなくし歩留まり向上
基板上に立てたチャネルをゲートが挟み込む構造
160
220
230
2006年 3月号明るさ256倍の白色LED材料出光興産
慶応大
日経産業新聞
(2005年12月15日PP.11)
直径10nmの蛍光体粒子にして光の散乱を抑圧
YAG(Y3Al5O12)蛍光体
青色LEDからの光を吸収し白色光を出す
光の透過率80%
300℃の液体中で加圧合成
120
160
250
2006年 3月号起立型ダブルゲートMOSトランジスタ
-中性粒子ビームエッチング技術確立-
産総研電波新聞
(2005年12月16日PP.6)
時間変調塩素プラズマ
加速した負イオン効率よく中性化
Si基板表面の平坦性も1nm以下
160
360
2006年 3月号光をねじるナノ「卍」東大朝日新聞
(2005年12月6日PP.7)
厚さ95nm
偏光の向きが1.5度回転
500nm角の「卍」
120
250
260
2006年 3月号金属ナノ構造で光ナノイメージング技術理化学研日刊工業新聞
(2005年12月22日PP.21)
細い銀線(銀ナノ円柱)を剣山のように並べた構造
表面プラズモン
ナノサイズの微細な構造までがクリアに結像
160
210
120
260
2006年 2月号ナノ構造の人工金薄膜
-旋光特性が自然界の500倍-
東大日刊工業新聞
(2005年11月14日PP.28)
鏡面非対称のキラルパターン
25nm厚の金薄膜に500nmの卍型パターンを周期的に構成
可視光の偏光は1.5°回転
160
250
120
2006年 2月号Si基板にナノサイズのらせん孔
-深さ25μm
10分で形成-
阪大日刊工業新聞
(2005年11月16日PP.25)
直径100nm
Pt粒子表面にH2O2が還元されて発生した活性酸素がSiを酸化しSiO2発生
HFによりSiO2が解けて孔発生
160
260
2006年 2月号次世代光メモリー「RRAM」
-既存の電子材料-
NTT日経産業新聞
(2005年11月21日PP.10)
抵抗式随時書き込み読み出しメモリー
Bi4Ti3012の30〜50nmの薄膜を電極で挟む
ECRスパッタ法を利用
120
160
230
2006年 2月号新イメージセンサSMPD韓国電子技術研電波新聞
(2005年11月25日PP.3)
単一キャリヤ変調フォトデテクタ
180nmプロセス技術
160
210
2006年 1月号次世代メモリーPRAM日立
ルネサステクノロジ
日経産業新聞
(2005年10月6日PP.1)
1.5Vでデータの読み書き可能
厚さ100nmの薄膜をMOSトランジスタ上に配線
230
160
2006年 1月号ナタデココで新基板材
-曲がる有機EL-
パイオニア
京大
三菱化学
日経産業新聞
(2005年10月17日PP.21)
厚さ1mm以下
ガラス並みの強度
熱膨張係数はSiの1/30
バイオナノファイバコンポジット
平行光線85%以上透過
繊維質
250
120
160
2006年 1月号白色LED
-粒子40nmに-
日東電工日経産業新聞
(2005年10月18日PP.1)
YAG蛍光体
気相法
光の散乱を押さえ込みやすい
250
120
160
2006年 1月号金型でLSI製造
-線幅40ナノ回路に対応-
凸版印刷日経産業新聞
(2005年10月19日PP.3)
従来の1/10の時間で作ることに成功
ナノインプリント
8インチウェハサイズ
エッチングやメッキなどの工程を改良
160
220
230
2006年 1月号半導体デバイス閾値電圧を低減
-単一イオン注入法(SII)で不純物原子を制御-
早大日刊工業新聞
(2005年10月20日PP.1)
閾値電圧ゆらぎ低減
閾値電圧0.4V
60nm精度の位置制御
Si基板にP原子を100nm間隔で規則配列注入
160
2006年 1月号量子ドットを活用した半導体レーザ産総研日経産業新聞
(2005年10月24日PP.11)
InAs製
直径15nm
GaAs基板上に1000億個/cm2形成
5層積層
波長1.3μmのレーザ光発振
10GHz高速光通信
160
250
120
2006年 1月号FELの発光効率高める高知県産業振興センター日経産業新聞
(2005年10月27日PP.8)
厚さ10nm以下のダイヤモンド薄膜
カーボンナノウォール
1700cd/m2
発光効率60lm/W
5cm角の面発光光源試作
120
160
250
2005年12月号16Gbフラッシュメモリーサムスン電子日経産業新聞
(2005年9月13日PP.3)
回路線幅50nm
フラッシュメモリー
230
2005年12月号線幅32nmを実現する液浸露光用高屈折率液体三井化学日刊工業新聞
(2005年9月13日PP.19)
屈折率1.63
環状アルカンを液浸向けに最適化
高透明度
低粘度
デルファイ
160
120
2005年12月号コスト1/20のSi光スイッチNICT日経産業新聞
(2005年9月16日PP.6)
160Gbps通信用
Si光経路を渦巻き状
切替え時間3ps
ナノメートル単位の細い線上の経路
120
160
240
2005年12月号直径6nm強磁性微粒子筑波大日経産業新聞
(2005年9月27日PP.10)
HDD向け
FePt
保磁力10Oe
オレイン酸とオレイルアミンの混合液を使用
120
160
230
2005年11月号フラーレン分子ナノスイッチ
-SAMで向きを制御-
東工大
名大
日刊工業新聞
(2005年8月2日PP.25)
Tb原子1個
電気的極性
双極子モーメント
STM
Au基板上に厚さ約1nmのSAMを堆積
-260℃
分子スイッチ技術
120
160
220
2005年11月号最高性能45nmトランジスタ
-電極に金属材料-
Selete日経産業新聞
(2005年8月12日PP.4)
電極にタンタルシリサイド
電子移動度値が5割高
120
220
2005年11月号量子コンピュータ素子をSiで試作
-保持時間2桁長い量子ビット-
日立
英ケンブリッジ大
日刊工業新聞
(2005年8月22日PP.22)
日経産業新聞
(2005年8月22日PP.7)
縦50nm×横150nm二重結合量子ドット
配線をなくす構造
コヒーレンス時間200ns
酸化膜埋込み基板(SOI)
電界を介したゲートで制御
120
220
2005年 9月号単層CNT
最高密度の垂直成長
-ダイヤ薄膜成長技術を用いて成功-
早大日刊工業新聞
(2005年6月8日PP.25)
先端アークマイクロ波プラズマ励起化学気相成長法(PAMPCVD)
0.5nm厚のFeをアルミナ薄膜で挟む構造
20時間で2mm成長
体積密度66kg/m3
120
160
2005年 9月号単一のT字型量子細線光吸収を初めて観測東大物性研
ベル研
日刊工業新聞
(2005年6月14日PP.27)
量子細線
光吸収測定
量子細線レーザ
光変調器
GaAsとAlGaAsで断面が14×6nm
120
360
660
2005年 9月号分子細孔法を用いた45nLSI向け低誘電率膜NEC
NECエレクトロニクス
MIRAIプロジェクト
日刊工業新聞
(2005年6月14日PP.27)
内径1nm以下の環状シリカ材料
誘電率2.4
65n世代に対して倍の配線密度と16%減の配線容量
120
160
2005年 9月号線幅32nmLSI向け新技術
-新構造TR・新多層配線技術-
MIRAIプロジェクト電波新聞
(2005年6月14日PP.1)
日経産業新聞
(2005年6月14日PP.7)
高電流駆動力
プロセス損傷抑制可能
歪みSi薄膜
歪みGe薄膜
局所酸化濃縮法
ポーラシリカ低誘電絶縁材料
120
160
220
2005年 9月号新概念LSIゲート絶縁膜
-Hf添加で移動度15〜20%向上-
日立
ルネサステクノロジ
日刊工業新聞
(2005年6月15日PP.25)
65nm世代
ゲート絶縁膜とゲート電極界面に短分子膜に満たない微量のHfO2添加
バンド構造
仕事関数を制御
120
160
220
2005年 9月号ナノ電子機械システム(MEMS)
-二層CNTを電流で20〜30度の塑性変形-
大阪府大日刊工業新聞
(2005年6月24日PP.25)
曲がる部分を五角形や七角形に変形
CNTの直径が太くなるほど曲げに必要なエネルギーは小さくなる
TEMで観察
120
2005年 9月号超高密度垂直磁気媒体制作技術
-陽極酸化アルミナナノホールを1次元配列-
山形富士通
富士通研
KAST
日刊工業新聞
(2005年6月27日PP.28)
Alの表面をナノインプリント技術で規則的な凹凸をつけて陽極酸化
凹部にナノホール
ナノホールにCoを電気メッキで充填
ピッチ25nmで1Tb/sq inch可能
パターンドメディア垂直磁気記録層
120
160
230
2005年 8月号ディスク状ナノ磁石
-磁化回転を初制御-
東大日刊工業新聞
(2005年5月11日PP.23)
MRAMの高密度化に道
放射光を用いた小型光電子顕微鏡(PEEM)を開発し観測ディスク構造の下側に微少なタグ
120
2005年 8月号白色LED向け緑色蛍光体
-自然光の再現可能に-
物材機構日刊工業新聞
(2005年5月19日PP.31)
窒化ケイ素
アルミなど粉末混合で成功
省エネルギー
水銀不要
β-サイアロン結晶
発光波長540nm
120
250
2005年 8月号発光効率4〜5倍のLED
-フォトニック結晶を導入し
不要な発光を禁止-
京大
JST
日刊工業新聞
(2005年5月27日PP.37)
日経産業新聞
(2005年5月27日PP.6)
読売新聞
(2005年5月27日PP.38)
基本原理を実証
半導体に微細な周期構造
200nm厚のInGaAsP板に390〜480nm間隔の穴
特定の波長(バンドギャップ波長)の光を禁止する性質
エネルギー再配分
250
160
2005年 7月号光硬化樹脂を用いたカーボンファイバ整列技術首都大日刊工業新聞
(2005年4月13日PP.27)
垂直に揃える
引っ張り上げながら紫外線で硬化
直径150nmのカーボンファイバ混入光硬化樹脂をアクリル基板に吐出
5%で密集
FED用電子銃
120
160
2005年 6月号1本の光ファイバに1000波長多重伝送
-10倍の波長数と8倍の高密度伝送-
NTT日本経済新聞
(2005年3月9日PP.11)
日刊工業新聞
(2005年3月9日PP.27)
10Tbps
1046波長で63kmを往復
6.25GHz(波長0.16nm)間隔の超高密度1000波WDM信号を波長単位に分離
JGNIIで126km伝送
スーパーコンティニゥム
波長アレイ導波格子(AWG)
240
340
440
2005年 6月号CNTの密度を定量測定
-TEM断面像を利用-
富士通
富士通研
日刊工業新聞
(2005年3月15日PP.26)
TEMの試料作成手法を応用
平面テレビ用CNT電子銃の密度最適化に応用
スライス間隔80nm
120
660
2005年 6月号1Tb級光スイッチ
-エネルギー1/5で稼働-

FESTA日経産業新聞
(2005年3月15日PP.7)
制御用レーザ光出力100pJが20pJに
結合量子井戸構造
Al/As/Sb層とIn/Ga/As層の間に1nm以下のAl/As層
120
160
240
2005年 6月号単層有機ELパネル
-インタカレーターを使い高い発光効率-
九大日刊工業新聞
(2005年3月28日PP.1)
多環芳香族分子
蛍光色素
大きさ約900の低分子
厚さ30nm
電圧7.7V
電流0.1Aで760cd/cm2
250
160
2005年 6月号世界最高速GaNトランジスタ情通機構日経産業新聞
(2005年3月29日PP.9)
最高動作周波数152GHz
ゲート長60nm
ミリ波
220
160
2005年 6月号1分で充電可能なリチウムイオン電池東芝日経産業新聞
(2005年3月30日PP.10)
日刊工業新聞
(2005年3月30日PP.14)
ナノテクノロジー
充電時間1/60
試作電池の厚さ約4mm×長さ約6p×幅3.5p
重さ16g
金属のナノ微粒子を均一に並べた負電極
250
160
2005年 6月号燃料電池向けの微細・均等な新触媒日立マクセル日経産業新聞
(2005年3月31日PP.7)
PrRuにPを添加
触媒直径2nm
粒径ばらつき1.5〜2.5nm
250
160
2005年 5月号電子放出2倍のナノチューブ筑波大
東京学芸大
日経産業新聞
(2005年2月1日PP.9)
表面にケイ素化合物
電圧140Vで蛍光体発光に充分な電子放出
120
2005年 5月号微細孔1平方インチに400Gb群馬大
太陽誘電
日本ビクター
日刊工業新聞
(2005年2月2日PP.1)
超高密度ディスク用
外径20nm
電子描画技術
230
160
2005年 5月号2層CNT
-高純度生成とナノペーパ調製-
信州大日刊工業新聞
(2005年2月3日PP.23)
単層CNTと多層CNTlの良さを併せ持つ
気相成長法に新製法
DWNT
120
160
2005年 5月号32nm世代の壁を越えた超微細化SRAM技術NEC日刊工業新聞
(2005年2月9日PP.1)
読出しループを切ってデータを反転させない役割の素子
CMOSロジックとともに微細化・低電圧化に対応
面積9%増
160
230
2005年 5月号半導体二重ナノリング物材機構日経産業新聞
(2005年2月15日PP.8)
GaAs製
内側リング直径40〜50nm
外側リング直径100nm
高さ4〜5nm
分子線エピタキシ
2ビット/リングの記録素子
120
160
230
2005年 5月号希土類元素をナノクラスタにした次世代白色LED材料KRI日刊工業新聞
(2005年2月21日PP.1)
希土類元素の周囲にAlなどの金属を配した1〜2nmサイズのクラスタ
有機溶媒にEu(赤)Tb(緑)Ce(青)を添加したクラスタに紫外線を照射
250
2005年 4月号棒状金ナノ粒子
-吸収する光の領域自在に-
三菱マテリアル日経産業新聞
(2005年1月1日PP.17)
直径5〜50nm
長さ20nm〜数μm
塩化金酸H[AuCl4(下付)]・4H2(下付)O溶液に界面活性剤をいれ電流や光
600〜1300nm波長光
120
160
2005年 4月号省エネ・高速ナノスイッチ
-消費電力半導体の1/100万-
物材機構
科学技術振興機構
理研
朝日新聞
(2005年1月6日PP.2)
日経産業新聞
(2005年1月6日PP.7)
日刊工業新聞
(2005年1月6日PP.25)
原子スイッチ
消費電力を1nW
Ag突起の伸び縮み
Ag2(下付)S電極とPt電極を1nm間隔
固体電解質の特性利用
金属原子の動き1個単位で精密制御
120
160
220
2005年 4月号CNCの量産技術
-合成速度が15倍に
燃料電池電極に応用-
豊橋技科大日刊工業新聞
(2005年1月10日PP.1)
触媒を載せた基板を電気炉に自動で連続投入
温度650〜800℃
FeとSnの混合触媒
直径200〜700nm
長さ1〜150μmの螺旋形状のCNCを2g/hr生産
120
250
2005年 4月号リチウム電池新電極
-携帯充電1〜2分に-
産総研日経産業新聞
(2005年1月19日PP.7)
パワー密度8000〜10000W/kg
結晶性金属酸化物複合ナノポーラス材料
Cu2O
250
120
2005年 4月号CNT高純度回収法筑波大
東京学芸大
日経産業新聞
(2005年1月20日PP.7)
直径1.4nmの単層CNTが3割程度含まれる市販品で実験
カロ酸
アミン
純度96%
120
160
2005年 4月号薄くて曲げられる有機ELディスプレイ
-フレキシブル透明基板と有機発光TRを開発-
京大
パイオニア
三菱化学
ローム
日本経済新聞
(2005年1月25日)
電波新聞
(2005年1月26日PP.1)
名刺サイズ
厚さ0.2mm
生物が作り出した特殊な繊維
直径100nmのバイオナノファイバコンポジット
発光外部量子効率0.8%
輝度300cd/m2(上付)
120
160
220
250
2005年 4月号強度ダイヤモンド並みの導電性炭素皮膜
-ハードディスク保護膜向け-
NTTアフティ日経産業新聞
(2005年1月27日PP.9)
厚み約40nm
直径2〜3nmの筒状炭素分子が林立
1000℃までの耐熱性
230
120
2005年 4月号有機薄膜太陽電池
-エネルギー変換効率4%-
産総研日刊工業新聞
(2005年1月28日PP.26)
n型有機半導体にフラーレン
p型に亜鉛フタロシアニン使用
i層により実効的な接合面積を増加
厚さp層5nm・i層15nm・n層30nm
Pn接合の界面にナノ構造のi層を挿入
タンダム積層
120
160
250
2005年 3月号数百倍高輝度なLED
-柱状ナノ構造で実現
GaN系-
上智大日刊工業新聞
(2004年12月7日PP.29)
多重量子ディスク(MQD)ナノコラム構造
100〜200nm径
高周波分子線エピタキシャル成長で無欠陥形成
250
160
2005年 3月号携帯電話向けトランジスタ
-消費電力1/10に-
日立
ルネサステクノロジ
日経産業新聞
(2004年12月14日PP.9)
データ処理速度2割向上
65nm半導体向け
絶縁膜厚さ10nm
220
2005年 3月号次世代LSIの電流漏れカット東芝日経産業新聞
(2004年12月17日PP.7)
日刊工業新聞
(2004年12月17日PP.33)
ニッケルシリサイド層の形成前にSiにFを含ませNiの拡散を抑える
45nm半導体向け
220
160
2005年 3月号トンネル絶縁膜厚さ2.7nmのフラッシュメモリー
-二重接合技術で実現-
東芝日刊工業新聞
(2004年12月17日PP.33)
1nmの2枚のシリコン酸化膜で2nm径のシリコン微結晶をサンドウィッチ
クーロンブロッケード効果
単一電子素子
160
230
2005年 3月号ナノコイル15倍速合成豊橋技科大
東邦ガス
双葉電子工業
日本バルカー工業
日経産業新聞
(2004年12月20日PP.8)
直径200〜700nm
長さ1〜150μm
1時間あたり2g生産可能
C2H2
CNT合成可能 
120
160
2005年 3月号単層カーボンナノチューブ内に室温・大気圧で氷形成産総研
都立大
日刊工業新聞
(2004年12月21日PP.21)
平均直径1.17のCNT
先端や側面に微小な穴を開けた後水蒸気にさらす
室温27℃で5角形のチューブ状の氷
120
160
2005年 3月号線幅50nmのSRAM
-誘電率高い新材料使用-
Selete日経産業新聞
(2004年12月21日PP.7)
高温にさらす時間を1/100にして結晶化を防ぐ
HfSiO
容量1Mb
漏れ電流0.1A以下/cm2(実効膜厚1.2nm)
160
230
2005年 3月号簡便な金薄膜形成技術大阪府立大日刊工業新聞
(2004年12月27日PP.11)
金ナノ粒子とチオール分子を含む室温溶液にプラスチック基板を浸して攪拌
薄膜形成時間4時間
45nm厚
120
160
350
2005年 2月号次々世代光ディスク
-DVD1枚で映画100本分記録-
パイオニア日経産業新聞
(2004年11月8日PP.8)
500GB記録可能
電子線描画
ピット間隔約70nm
感光性樹脂を塗った炭素基板
紫外線レーザ
230
2005年 2月号光交換機
-光ファイバで1Tbps処理-
フェムト秒テクノロジ研究機構日経産業新聞
(2004年11月12日PP.7)
仮想励起
AlGaAsとAlAsを交互に50層
1層の厚み100〜120nm
240
340
2005年 2月号積層型3次元LSIを量産
-次世代機器向け用途開拓-
東北大
ザイキューブ
日刊工業新聞
(2004年11月16日PP.25)
センサチップ・アナログLSI・論理LSI・CPU・メモリーなどを積層
トレンチ溝
マイクロバンプ電極
膜の厚さ数十nm〜数百μm
トレンチ溝直径500nm〜数μm
160
2005年 2月号身近になった単層ナノチューブ
-高純度で安く生産-
産総研日経産業新聞
(2004年11月19日PP.7)
CVD
鉄微粒子の薄膜を触媒
エチレンガス
10分間で高さ2.5mm
従来法と比較して高さ500倍・成長速度3000倍
直径1〜4nm
純度99.98%
120
160
2005年 2月号マリモのようなナノ炭素材料
-航空機や燃料電池向け-
物材機構日刊工業新聞
(2004年11月24日PP.1)
直径1μm〜10μm
ダイヤモンド核の直径は10nm〜100nm
酸化ダイヤモンドを触媒単体
Fe
Ni
500℃〜700℃のCVD
マリモカーボン
120
2005年 2月号45nm半導体向け絶縁膜
-2005年春
成膜装置供給へ-
MIRAIプロジェクト日経産業新聞
(2004年11月25日PP.1)
絶縁膜材料にHfAlO

窒化処理と酸化処理
電子移動度260
窒化処理でSiO2(下付)膜薄く
120
160
2005年 1月号金属基板上にCNT
-蓄電器を高性能に-
三洋電機
阪大
日経産業新聞
(2004年10月1日PP.8)
直径20nm
長さ80μm
蓄電能力6.5F/g
Ta製基板
AlとFeを触媒層に使用
CVD
電気二重層キャパシタ
垂直に長く高密度形成
120
2005年 1月号青紫色半導体レーザ
-室温連続発振300mW-
NEC日刊工業新聞
(2004年10月5日PP.1)
LD
405nm波長
室温〜80℃で動作
活性層の上のp型層にAlNを埋め込んだ
250
2005年 1月号ナノ空孔3次元解析
-次世代半導体量産化に貢献-
Selete日経産業新聞
(2004年10月6日PP.1)
透過型電子顕微鏡(TEM)
数十枚の顕微鏡画像を合成
65nm半導体
多孔質ローK膜
最適な絶縁膜を選べる
660
360
2005年 1月号薄型大画面に第三勢力SED
-小さなブラウン管数百万個並ぶ-
キヤノン
東芝
日本経済新聞
(2004年10月10日PP.29)
表面電界ディスプレイ
36インチ試作機
数nmの隙間に電圧を加えるトンネリング効果
BdO薄膜を数nm間隔で配置
250
350
2005年 1月号強度6倍の絶縁膜三菱日経産業新聞
(2004年10月14日PP.7)
回路線幅65nm
層間絶縁膜
ボラジン
CVD
65nm半導体向け
誘電率2.3
120
220
2005年 1月号ナノワイヤ自在に配線
-低コスト技術確立-
情通機構日刊工業新聞
(2004年10月13日PP.1)
フタロシアニン
幅10nm程度のナノワイヤ
微小ギャップ間にナノデバイス形成可能
低抵抗
高性能
160
2005年 1月号単一光子を連続発生情通機構
独マックスブランク量子光学研
日刊工業新聞
(2004年10月28日PP.29)
日経産業新聞
(2004年10月29日PP.8)
時間波形とタイミングを高精度に制御
イオントラップ使用
90分間
6万発の単一光子
Caの単一イオン
866nmの単一光子
120
140
2004年12月号単層CNTの位置・直径を初制御NEC日刊工業新聞
(2004年9月3日PP.28)
SWNT
ナノレベルで位置と直径を制御できる成長技術
触媒金属を混ぜた電子線レジストで微細な触媒金属微粒子を配置する技術
CVD
直径1.3nm
ばらつき±0.4nm
長さ2μm
120
160
2004年12月号医療向けスーパルミネッセントダイオード
-高出力・広波長域を実現-
NTT
NTTエレクトロニクス
日刊工業新聞
(2004年9月3日PP.28)
1.31μm帯
50mW以上の高出力
50nm以上の広波長帯域
LEDとLDの利点を併せ持つ
SLD
250
2004年12月号走査型トンネル電子顕微鏡(STM)
-半導体の不純物分布を数ナノレベルで計測-
半導体MIRAIプロジェクト日経産業新聞
(2004年9月6日PP.7)
Si表面をNH4Fで処理
洗浄用純水中の酸素濃度を減らし
映像ノイズを減らす
660
360
2004年12月号新量子暗号通信技術
-半導体から光子の対を発生-
東北大
阪大
日経産業新聞
(2004年9月9日PP.7)
朝日新聞
(2004年9月9日PP.3)
CuAlの結晶に390nmの紫外線レーザ
量子もつれ
光子対
220
240
250
120
2004年12月号薄膜永久磁石
-デバイス微細化に貢献-
NEOMAX日刊工業新聞
(2004年9月14日PP.13)
20nmのNd・Fe・B系磁性膜と10nmの中間膜を交互に重ねた構造
厚さ1μm
最大磁気エネルギー積45.8MGOe
スパッタリング法
120
160
2004年12月号次世代DRAM向け65nm対応キャパシタ
-Nbで高性能化-
日立
エルピーダメモリ
日経産業新聞
(2004年9月16日PP.8)
Nb2O5とTaを積層
結晶化温度500℃
230
2004年12月号波長光変換素子
-1.55μm帯の超高速信号で実証-
FESTA日刊工業新聞
(2004年9月24日PP.1)
160Gbpsの波長変換
4光波混合を利用
1.54μmへ10nm変換
240
250
2004年12月号色素太陽電池
-プラス極でも電気発生-
信州大日刊工業新聞
(2004年9月28日PP.37)
15%の発電効率
1Wあたりの発電コスト40〜70円
プラス電極側にナノスケールのNiO微粒子を使用
開放電圧0.92V
250
2004年11月号45nm半導体向けに電流漏れ少ない絶縁膜MIRAIプロジェクト日経産業新聞
(2004年8月2日PP.9)
炭素不純物を5〜9割除去
HfO2
Al2O3
リーク電流1μm/cm2
160
2004年11月号炭素分子の新構造体名大日経産業新聞
(2004年8月5日PP.1)
カーボンナノウォール
FEDの性能大幅向上
CNTよりも多くの電子を放出
CVD装置
厚さ数nm〜数十nmのC分子の壁
120
150
2004年11月号単分子膜を用いた微細位置決め技術
-ナノギャップを安価に加工-
分子科研
米ペンシルバニア州立大
日刊工業新聞
(2004年8月11日PP.17)
自己組織化単分子膜(SAM)
位置選択性分子定規(PS-MR)
低速電子線
16-メルカプト・ヘキサデカノイック酸(MHDA)と二化Cuイオンの層
数nm加工
120
160
2004年11月号ナノチューブの炭素原子の配列・格子欠陥産総研日経産業新聞
(2004年8月19日PP.6)
透過型電子顕微鏡
電子ビームに加える電圧を低下
感度5〜6倍向上
360
660
2004年11月号光電変換素子1/6に小型化NEC
産総研
日経産業新聞
(2004年8月24日PP.7)
強誘電体セラミックス
PLZT
セラミックス結晶粒の大きさ20nm以下
変換素子大きさ数mm角程度
半導体基板上に形成
240
160
2004年10月号電気変換しない光スイッチ産総研
大日精化
日経産業新聞
(2004年7月13日PP.10)
縦12cm横8cm厚さ2.7cm
660nmの光照射で制御
切替え速度0.5ms
240
2004年10月号CNT2芯構造を合成
-4年ぶり新タイプ-
信州大日経産業新聞
(2004年7月29日PP.8)
nmレベルの電気制御
2本のCNTを2
100℃に加熱し
外層だけをつなぎ合わせ
Bi-cable
120
160
2004年10月号可変分散補償モジュール
-Cバンド35nm幅をカバー-
フェムト秒テクノロジー研究機構日刊工業新聞
(2004年7月12日PP.19)
1/20に小型化
光時時分割多重(OTDM)
パルス幅8.5psを1.8psに短縮
240
340
2004年 9月号65nm半導体絶縁膜技術富士通日経産業新聞
(2004年6月17日PP.7)
絶縁膜のひずみを利用
成膜の温度や時間を細かく制御
導電率15%改善
160
220
2004年 9月号65nm次世代半導体
-配線強化で歩留まり2倍に向上-
東芝
ソニー
日経産業新聞
(2004年6月24日PP.9)
配線の剥落を防ぐ技術
高密度配線
層間絶縁膜
電子ビームで配線材料強度高める
160
220
260
2004年 9月号ナノ結晶の原子構造を高速に決定
-解析時間1/100に-
高輝度光科学センタ
東工大
日刊工業新聞
(2004年6月29日PP.33)
大型放射光施設Spring-8
0.05nm のX線
原子4層分の縞状ナノ細胞配列
解析時間数分
360
660
2004年 8月号世界最速の量子暗号通信産総研日刊工業新聞
(2004年5月13日PP.25)
日経産業新聞
(2004年5月13日PP.7)
10MHz光子検出装置で実現
光ファイバ通信波長1550nm帯
45kbpsの鍵生成率
素子放電時の電流特性から光子の有無判別
340
520
440
2004年 8月号カーボンナノホーン金属原子を補足東大
産総研
日刊工業新聞
(2004年5月25日PP.25)
CNH
新複合材料に道
120
2004年 8月号CNTを均等にした電子放出素子
-省電力型FED向け-
阪大日経産業新聞
(2004年5月28日PP.8)
日刊工業新聞
(2004年5月28日PP.32)
CVD法で作製
平均直径10nmのCNTを束ねて直径50μm・高さ125μmにまとめ250μm間隔で配置
CNT密度10G本/p2
駆動電圧1V
冷電子エミッタ
160
250
2004年 7月号次世代LSI向けマスク欠陥検査技術東芝
Selete
日経産業新聞
(2004年4月13日PP.7)
198.5nmの遠紫外光採用
マスク1枚を2時間程度で検査
欠陥の種類によっては20nm程度も検出
360
2004年 7月号単電子メモリーの新型素子
-1個の記憶容量5倍-


図使用
NTT日経産業新聞
(2004年4月26日PP.9)
単電子転送メモリー
配線幅35nm
動作温度-247℃
160
230
2004年 7月号ガラス加工技術
-ナノサイズで型押し-
産総研日刊工業新聞
(2004年4月30日PP.14)
型に非晶質カーボン使用
深さ350nm幅100nmの溝が300nm間隔の型
FIBで加工
2004年 6月号安価な高速光通信用レーザ光源東工大電波新聞
(2004年3月2日PP.9)
LiF
DFBレーザ
450nmの光を受けると波長710nmで発振
240
250
2004年 6月号解像度1.5倍の電子ペーパ千葉大日経産業新聞
(2004年3月16日)
250dpi
直径200nmの電子インク
160
250
2004年 6月号次世代半導体向け製造技術
-露光処理せず微細配線-
東芝日経産業新聞
(2004年3月17日PP.11)
1時間の工程を1分に短縮
ソフトリソグラフィ
直径50nmの粒子を50nm間隔で碁盤の目に並べる
160
2004年 6月号Siで高速光IC富士通日経産業新聞
(2004年3月23日PP.1)
50Gbps
ゲート長45nm
240
250
2004年 6月号単電子トランジスタ試作

図を使用(日経産業)
東大生研日経産業新聞
(2004年3月25日PP.9)
日刊工業新聞
(2004年3月10日PP.25)
日経産業新聞
(2004年3月10日PP.9)
2nmの量子ドット
室温でTrとして機能
1素子2ビット記録
160
220
2004年 6月号超広帯域量子ドット光増幅器
-帯域120nmで高出力-
東大
富士通
日刊工業新聞
(2004年3月25日PP.37)
出力200mW
QDSOA
増幅媒体に30nm径InAs
光帯域1.26〜1.61μm
220
250
2004年 6月号線幅20nmで回路描画可能な微細加工技術

図使用
早大日経産業新聞
(2004年3月29日PP.9)
拡散光の重なりが回路になる
マスクとウェハの距離20μm以上
X線使用
160
2004年 6月号32nm幅の半導体加工技術Selete日経産業新聞
(2004年3月30日PP.1)
F2(下付)レーザ
波長157nm
液浸技術
160
2004年 5月号磁石の境
電流で制御
-新型演算素子に応用-
阪大
京大
日経産業新聞
(2004年2月3日PP.10)
電流で磁壁の動き制御
長さ240nm
厚さ10nm
NiFe合金
120
2004年 5月号二層CNT量産技術名大
東レ
日経産業新聞
(2004年2月16日PP.7)
直径2nmの二層CNT
CVD
Bの入ったゼオライト
120
160
2004年 5月号化学反応でLSI配線切り換え
-ナノブリッジ-
NEC
物質・材料研究機構
科学技術研究機構
日刊工業新聞
(2004年2月17日PP.27)
日経産業新聞
(2004年2月17日PP.8)
プログラマブルロジックの配線切り換え
固体電解中の金属原子の移動を利用
書き換え可能なセルベースIC
120
220
2004年 5月号65nm半導体向けレジスト除去技術Selete日経産業新聞
(2004年2月18日PP.1)
レジスト除去にH2とHeの混合ガス
誘電率上昇ほぼ0
レジスト能力厚さ1μm/分
160
2004年 4月号記録密度3倍のHDD用媒体TDK日経産業新聞
(2004年1月26日)
1インチ角600Gbpi
トラックピッチ90nm
ディスク区リートトラック型垂直磁気記録媒体厚のポリイミド基板
曲率半径1cmまで丸め可能
160
230
2004年 4月号合金フラーレン発見東北大日刊工業新聞
(2004年1月27日PP.1)
2元合金
CdSe34
直径1.5nm
有機溶媒中で黄緑色の発光
粒径により発光の度合いに変化
120
160
2004年 3月号触媒微粒子の直径制御
-多層CNT-
富士通
富士通研
日刊工業新聞
(2003年12月5日PP.1)
MWNT
10nm以下の触媒微粒子を10%標準偏差
レーザアブレーションとDMAの組合せ
幾何平均径5.0nm
160
2004年 3月号線幅45nm対応の絶縁膜
-次々世代半導体向け-
NEDO
富士通
東芝など24社
電波新聞
(2003年12月8日PP.1)
日経産業新聞
(2003年12月8日PP.9)
半導体MIRAIプロジェクト
多孔質無機Low-kの改良
弾性率8GPa
プラズマ共重合
TMCTSガス処理
160
220
2004年 3月号Si層0.7nmトランジスタの動作確認東芝日刊工業新聞
(2003年12月12日PP.1)
5原子層
NEDO
Si単結晶薄膜厚さ0.7nm
SOI
試作素子のゲート長は2〜3μm
実現可能なゲート長は1.5〜3nmと予想
160
220
2004年 3月号歪みSiで微細トランジスタ高速化東芝日経産業新聞
(2003年12月16日PP.9)
ゲート電極に歪みSi
加工寸法45nmトランジスタ
11%高速化
160
220
2004年 3月号35nmCMOS接合技術Selete日刊工業新聞
(2003年12月19日PP.27)
SPE
FLA
p型MOS駆動電流2倍
300mmウェハ上に101段のリング発信器回路
160
220
2004年 3月号有機材料の発光効率を50%高める新技術パイオニア
ローム
京大
日経産業新聞
(2003年12月25日PP.9)
ITOフォトニック結晶
300nm間隔で深さ60nmの穴
160
250
150
2004年 2月号65nmLSI向け絶縁膜
-量産技術確立-
Selete
東京エレクトロン
日経産業新聞
(2003年11月6日PP.1)
高誘電率絶縁膜
ハイK
テルフォーミュラ
熱処理計2時間
160
2004年 2月号45nmの回路線幅形成
-フッ素レーザで形成-
Selete日経産業新聞
(2003年11月21日PP.7)
内蔵レンズ開口率0.9
CaFレンズ
160
260
2004年 2月号SiやGeの量子ドット新製法
-基板上に高密度で形成-
米オークリッジ国立研日刊工業新聞
(2003年11月24日PP.13)
BLaC法
Geの量子ドットサイズ3nm径
高さ0.6nm
密度約3〜7×1012(上付)
160
2004年 2月号65nmプロセスSRAM米インテル日本経済新聞
(2003年11月26日PP.3)
ゆがみSi技術
高速インタコネクト
低誘電率絶縁材料
0.57μm2(上付)に4MB
160
230
2004年 2月号ナノレベルの顕微鏡
-DNAを動画撮影-
金沢大日本経済新聞
(2003年11月28日PP.17)
高速原子間力顕微鏡(AFM)
探針の振動周波数600kHz
360
660
2004年 1月号幅8nmの微細配線用レジストNEC
トクヤマ
日経産業新聞
(2003年10月13日PP.5)
低分子材料
電子ビーム加工用
160
2004年 1月号直径0.46nmの走査顕微鏡向け電極慶応大日刊工業新聞
(2003年10月20日PP.1)
光ファイバを加工し先端を電極化
フッ酸のエッチング溶液
アクリル系ポリマー溶液
直径1.1〜980nm程度に制御可能
160
360
2004年 1月号ブラシ状CNT
-長さと太さを制御-
日立造船
大阪府立大
日刊工業新聞
(2003年10月24日PP.1)
CVD工程
710℃で長さ50μml・直径15nmφ
740℃で長さ30μml・直径20nmφ
160
2004年 1月号350GB容量の光ディスク日立日経産業新聞
(2003年10月31日PP.9)
日本経済新聞
(2003年10月31日PP.17)
映画140時間分を1枚に
レーザ光により結晶構造を変化させてアルカリ溶液によるエッチング
記録点40nm
読出し専用ディスク
160
230
2003年12月号ナノチューブで超電導現象確認
-量子計算機開発に道-
青山学院大
NTT研
科学技術振興事業団
日経産業新聞
(2003年9月5日PP.7)
Alの上に微細な穴のアルミナの穴の中に0.8μmのCNT
NbとAlの電極間にCNT
-272.4℃で超電導
120
160
2003年12月号ナノチューブで半導体
-トランジスタ実現へ-
東北大
ソニー
都立大
科学技術振興事業団
高輝度光化学研究センター
日本経済新聞
(2003年9月8日PP.21)
日本工業新聞
(2003年9月9日PP.2)
CNT内部に有機分子
導電性の制御に成功
Spring-8
120
160
2003年12月号有機トランジスタ新製法
-自己組織化を利用-
日立
産総研
光技術振興協会
日刊工業新聞
(2003年9月11日PP.5)
ナノ材料の自己組織化
位置合わせ不要
電極間隔3μm
シートディスプレイ用
120
160
220
2003年12月号カーボンナノチューブの発光を電気制御米IBM日経産業新聞
(2003年9月15日PP.5)
CNTを半導体素材に応用
1.5μmの波長で発光
120
160
2003年12月号容量30倍の磁気テープ日立マクセル日経産業新聞
(2003年9月18日PP.1)
記憶容量最大で10TB
球状磁性体
直径20nm
ナノキャップ
130
2003年12月号超高速トランジスタ
-カーボンナノチューブ活用-
NEC日本経済新聞
(2003年9月19日PP.11)
Siの10倍以上高速に動作
CNTの半導体の性質を利用
220
120
2003年12月号磁気記録用5nm径の白金鉄粉同和鉱業
東北大
日経産業新聞
(2003年9月29日PP.7)
高分子のアルコール中で化学反応
加熱工程不要
PtFe
130
120
2003年11月号LSI配線用カーボンナノチューブ
-触媒微粒子で直径制御-
富士通日経産業新聞
(2003年8月7日PP.5)
直径4nmのFe
Pt触媒を使用
直径3〜10nmのCNTが林立
作成時基板温度600℃以下
120
160
2003年11月号強誘電体ナノチューブサムコ研
英ケンブリッジ大
日刊工業新聞
(2003年8月20日PP.8)
直径800nm
厚さ100nm
長さ80μm
ミストデポジション法(CVD)
Sr
Bi
Ta2O5
160
120
2003年11月号カーボンナノチューブを長く高密度に生成阪大
高知工科大
日経産業新聞
(2003年8月21日PP.1)
熱CVDとプラズマCVDを組合せる
10億本/cm2で長さ50〜100μm
160
120
2003年11月号光ファイバ先端にカーボンナノチューブを合成
-超高速通信に道-
東大日経産業新聞
(2003年8月28日PP.9)
アルコール原料の単層カーボンナノチューブ
650℃で合成
厚み約100nm
光通信の異常信号除去フィルタ
140
160
240
2003年11月号3次元ナノ配線姫路工大
NEC
日刊工業新聞
(2003年8月29日PP.1)
集束イオンビーム(FIB)
70〜100nmの配線
160
2003年11月号次世代半導体用絶縁膜
-溶液中で作製-
理化学研日経産業新聞
(2003年8月21日PP.7)
Hfを含む溶液
400℃加熱
絶縁膜10〜15nm
160
2003年11月号光導波路型波長フィルタ
-波長可変幅10倍に-
横浜国大日刊工業新聞
(2003年8月27日PP.5)
波長可変幅約10nm
熱光学(TO)効果のポリイミド製の積層微小リング共振器
アド・ドロップフィルタ
マイクロヒータで温度可変
240
2003年11月号200GB級光ディスク
-記憶容量10倍に-
産総研
サムスン電子
日経産業新聞
(2003年8月29日PP.9)
日刊工業新聞
(2003年8月29日PP.5)
日本経済新聞
(2003年8月29日PP.17)
青色DVDの10倍
Tb
Fe
Co
SiO2
ZnS
熱で薄膜が山形に盛り上がり記録
50nmの山が100nmの間隔
熱体積変化膜
記録技術のみ開発
160
230
2003年10月号3次元「ナノ鋳型」新製法
-DVD容量が数十倍-
東京理科大日刊工業新聞
(2003年7月8日PP.1)
Si基板に水ガラスを均一に塗布して焼き
水ガラスを固体化
パターンの幅は125nm
160
2003年10月号CNTを低温合成技術
-FEDを安価に-
三菱電機
大阪府立大
日経産業新聞
(2003年7月22日PP.8)
500℃で合成
ガラス基板使用可
直径数十nmの微粒子状鉄合金
120
160
2003年10月号次々世代半導体の回路原板
-窒素化合物で精密描画-
HOYA日経産業新聞
(2003年7月23日PP.9)
反射型マスク
極端紫外線
吸収層にTaとBと窒素化合物
10nm紫外線より短い紫外線
EUVの散乱防ぐ
反射層にM/Siを積み重ね
120
160
2003年10月号Si基板を微細加工する新技術
-光スイッチ量産に道-
NTT物性科学基礎研究所日経産業新聞
(2003年7月30日PP.9)
ナノレベルの微細な穴
200nm角で深さ100〜150nmの無数の穴
160
2003年 9月号65nm幅LSI用新技術
-ウエハ研磨工程を改善-
Selete日経産業新聞
(2003年6月10日PP.1)
多孔絶縁膜
CMPに耐える強度の膜弾性率12GPa
比誘電率2.3

160
2003年 9月号現露光機で45nm幅LSI大日本印刷
米インテル
日刊工業新聞
(2003年6月11日PP.1)
最先端位相シフトマスク
CPL
一枚のマスクで3度露光
160
2003年 9月号リーク電流1/1000のトランジスタ東芝日経産業新聞
(2003年6月11日)
線幅65nm
窒化ハフニウムシリケート
220
2003年 9月号サブ100nm世代トランジスタ
-高速で漏れ電流2ケタ減-
NEC日刊工業新聞
(2003年6月12日PP.5)
サブ1nm世代トランジスタ
モバイル機器向けSOC
ハフニウムシリケート
220
2003年 9月号線幅90nmのフラッシュメモリー回路東芝
米サンディスク
日経産業新聞
(2003年6月12日)
線幅90nm
2GbのNANDフラッシュメモリー用回路
230
2003年 9月号新トライゲートトランジスタ
-チャンネル部を立体化-
米インテル日経産業新聞
(2003年6月13日PP.9)
ゲート長が30nm
20GHz級のMPUに適用
160
220
2003年 9月号絶縁体にナノ量子細線
-導電性付与に成功-
科学技術振興財団日刊工業新聞
(2003年6月16日PP.5)
超高温透明セラミックス
転位構造配列制御
サファイア結晶内に5nmの金属細線
120
160
2003年 8月号面発光型半導体レーザ
-素子1個で20種の波長-
東工大日経産業新聞
(2003年5月7日PP.10)
約1mm角のチップ
950nm〜1500nm
半導体幅で
240
250
2003年 8月号狙ったところにカーボンナノチューブを合成する手法早大日経産業新聞
(2003年5月8日PP.9)
シングルイオン注入
Ni触媒
CNT
160
120
2003年 8月号光の波長を変換
-導波路で自在に-
東工大日経産業新聞
(2003年5月20日PP.9)
光通信
導波路を変形
WDM用
波長変化幅3〜4nm
長さ2mm
太さ27μm
240
440
2003年 7月号ナノサイズ発光アレイ物質・材料研究機構
太陽誘電
日刊工業新聞
(2003年4月8日PP.4)
日経産業新聞
(2003年4月8日PP.10)
酸化亜鉛を格子状に配列
結晶異方性エッチング
機械化学研磨技術
2500万ドット/cm2
Si(100)
160
250
2003年 7月号細胞を生きたまま観察オリンパス光学
東工大
日本経済新聞
(2003年4月18日PP.17)
可視光顕微鏡
波長500nmで175nmの物質を観測
360
2003年 7月号光通信用の波長可変レーザ
-32個分の素子を1個で-
NTT日経産業新聞
(2003年4月23日PP.12)
分布反射型レーザ
WDMシステム
波長シフト1nmを1nsで変化
240
2003年 7月号ナノシリコンで赤緑青色安定発光東海大
電通大
日刊工業新聞
(2003年4月23日PP.5)
スパッタ形式
石英ガラスとシリコンのターゲット
寿命赤3年・青10日
動作電圧10V以下
量子サイズ効果による発光を確認
150
250
2003年 7月号緑色レーザダイオード開発へ電力中研日経産業新聞
(2003年4月28日PP.6)
LEDに比べ明るさが100倍
素子の構造をナノレベルで制御
研究開始
160
250
2003年 7月号紫外線LED日本EMC日本経済新聞
(2003年4月29日PP.12)
量子ドット
発光波長360nm
GaN
250
2007年 3月号PRAM駆動電力1/10日立
ルネサステクノロジ
日経産業新聞
(2006年12月13日PP.9)
記録層と絶縁膜の間に厚さ2〜3nmのTa2O5薄膜
記録時電流数百μA
160
230
2007年 3月号光電変換CNT東大日経産業新聞
(2006年12月15日PP.10)
電子を放出する層を電子を受け取る分子の層で包んだ中空構造
直径16nm
壁の厚さ3nm
長さ数μm
120
2007年 3月号駆動電流が50%超向上する次世代立体型トランジスタ東芝日刊工業新聞
(2006年12月15日PP.30)
雪かき効果
金属シリサイドとチャネル部分のSi界面に不純物原子を高濃度で2〜3nm厚に偏析した層を形成
160
220
2007年 3月号可視光・近赤外同時撮像可能なCMOSカメラ豊田中研日経産業新聞
(2006年12月15日PP.10)
波長780〜1100nmの近赤外線
二つある緑色カラーフィルタの一つを近赤外線用に変更
画素サイズ7.4μm角
210
2007年 3月号線幅32nmLSI性能2倍に東芝日経産業新聞
(2006年12月15日PP.10)
Si加工面に1%の歪を加えるn型トランジスタ
0.1%で解析
160
220
2007年 3月号動作速度2割向上した線幅45nmトランジスタ富士通
富士通研
日経産業新聞
(2006年12月19日PP.11)
電流低下や電流漏れを抑制160
220
2007年 3月号1ns間光を閉じ込める新共振器構造NTT日刊工業新聞
(2006年12月25日PP.15)
フォトニック結晶
導波路の幅を変調
直径200nm程度の穴を三角格子状に配列
穴の位置を局所的に3〜9nm移動
Q値120万
160
240
2007年 2月号回路線幅55nmのシステムLSI量産技術NECエレクトロニクス日刊工業新聞
(2006年11月6日PP.1)
DRAM混載
液浸露光
ゲート絶縁膜上にハフニウム極薄膜
160
2007年 2月号凹凸がナノ級のUV照射無電解メッキ関東学院大日刊工業新聞
(2006年11月16日PP.1)
ポリイミドフィルム
液晶ポリマー
数分間のUV照射で材料に凹凸をつけずに表面改質
Cu・Ni・Pの合金を下地メッキ
スパッタリングに比べて低コスト
160
2007年 2月号フェムト秒レーザ照射で単結晶の格子欠陥確認京大
東大
日刊工業新聞
(2006年11月20日PP.19)
特定方向に数nm幅の転位線
クロス形状の構造MgO結晶
120
2007年 2月号炭素のナノ粒子を簡単に作製
-Liイオン2次電池電極材料に使用-
宮崎大日経産業新聞
(2006年11月24日PP.10)
レゾルシノールとホルムアルデヒドを添加剤を加えて水溶液に入れて90℃で加熱
N2ガス中で約1000℃に加熱
2007年 1月号LED向けGaN結晶を横向きに成長させる技術ローム日経産業新聞
(2006年10月18日PP.9)
緑色レーザ
六角柱の結晶構造
トリメチルガリウム
アンモニア
2mW出力
波長500nmの光を出すことに成功
160
250
2007年 1月号HDD磁気ヘッド用積層型光素子富士通研日刊工業新聞
(2006年10月19日PP.25)
熱アシスト磁気記録方式
波長の15%に相当する88nm×60nmの光ビーム径
Si材料を用いて光の透過層を積層
波長400nmの光で17%の光利用効率
120
230
2007年 1月号有機薄膜太陽電池の光電変換効率を向上東大日経産業新聞
(2006年10月25日PP.9)
電極に直径約30nmの無数の突起
1.25cm×2.5cmの試作電池で効率2.7%
ポリチオフェン
フラーレンを含む有機高分子
120
250
2006年12月号フィルム中に金ナノ粒子を作製
-立体ナノ配線に道-
阪大日刊工業新聞
(2006年9月4日PP.28)
PVAフィルム
ラジカル前駆体(ベンゾフェノン)と金イオン1〜5%をドープ
波長が異なる二つのレーザを照射
ギ酸がない場合に比べ金ナノ粒子の生成速度は約20倍
260
160
2006年12月号DRAMの消費電力を10%削減
-絶縁膜材料に水使用-
日立日刊工業新聞
(2006年9月14日PP.37)
Al2O3絶縁膜
成膜時間半減
シリコン酸窒化膜
漏れ電流抑制
界面の酸化を回避
酸化膜換算膜圧2.9nm
230
160
2006年12月号フルメタルゲートCMOS半導体先端テクノロジーズ(Selete)電波新聞
(2006年9月13日PP.1)
回路線幅45nm以降
0.84nmの高誘電率(High-k)ゲート絶縁膜
デュアルメタルCMOSプロセス
窒化ハフニウムシリケート(HfSiON)
160
220
2006年12月号明るさ1.8倍のLED東芝日経産業新聞
(2006年9月21日PP.11)
ナノサイズの微細な凹凸
自己組織化
ポリスチレン
ポリメタクリル酸メチル
高分子塗布
200℃で加熱
150〜200nm間隔に直径100nm高さ450〜500nmの円柱状の突起
250
160
2006年11月号ZnOの液晶パネル用透明導電膜高知工科大日経産業新聞
(2006年8月4日PP.1)
ZnOで酸化インジウムスズ(ITO)並みの電気抵抗を実現
反応性プラズマ蒸着装置
膜厚30nmで電気抵抗率4.4μΩm
160
250
2006年11月号光導波路向け微細金型アルプス電気日経産業新聞
(2006年8月11日PP.1)
MEMS
導線幅10μm
ナノインプリント
光導波路
160
260
2006年11月号有機ナノデバイス
-整流作用を確認-
自然科学研究機構
阪大
日刊工業新聞
(2006年8月24日PP.1)
nm径の円筒状単層CNTにポルフィリン分子吸着
自己組織化
Si製の1/10
120
160
220
2006年11月号カーボンナノウォールを効率よく大量生産横浜市大
石川島播磨
日刊工業新聞
(2006年8月28日PP.1)
プラズマCVD装置
約10p角の基板でも均一に作製可能
120
160
2006年11月号長さ3.5mmで光を100倍増幅する高分子光導波路KRI日刊工業新聞
(2006年8月29日PP.1)
ナノ粒子合成・分散技術
ユーロピウムを添加
希土類-金属ナノクラスタ
消光現象を抑制
希土類元素の添加濃度5%
160
240
2006年10月号立体映像を記録したホログラムの安価量産技術東京理科大日経産業新聞
(2006年7月11日PP.10)
ナノインプリント
微細金型
透明レジスト膜
光硬化性樹脂
紫外線照射
160
430
2006年10月号SiでLED日立日経産業新聞
(2006年7月25日PP.10)
厚さ9nm
発光波長約1000nm
厚さ700μmのSi基板上に厚さ約200nmのSi酸化膜とそのうえに厚さ50nmのSi膜
160
250
2006年 9月号強度2倍層間絶縁膜
-50nm世代メモリー向け-
日立
日立化成
日刊工業新聞
(2006年6月13日PP.27)
塗布型
強固な分子構造
耐熱性800℃
比誘電率2.4
薬品耐性向上
平坦性維持
160
2006年 9月号55nm素子形成技術
-SRAMで実用性確認-
NECエレクトロニクス日刊工業新聞
(2006年6月16日PP.29)
酸窒化膜上に極薄膜のハフニウムシリケートを載せたゲート絶縁膜
トランジスタのしきい値制御範囲拡大
漏れ電流10%低減
ArF液浸露光装置
160
220
2006年 9月号色でナノ構造観察する光学顕微鏡阪大日刊工業新聞
(2006年6月21日PP.31)
散乱光の色の変化
約20nmの金属針
波長532nmの光照射
CNTの構造変化を測定
210
320
360
2006年 9月号縦型構造のGaNトランジスタ松下電器電波新聞
(2006年6月28日PP.1)
微細セルフアライン工程
チャネル幅0.3μm
単位デバイス幅1.2μm
In・Alを添加したInAlGaN4元混晶を20nm成長
160
220
2006年 8月号単層CNTの新合成技術
-後処理不要
純度97%ー
産総研日刊工業新聞
(2006年5月12日PP.25)
日経産業新聞
(2006年5月12日PP.9)
構造欠陥1/10以下
直噴熱分解合成法(DIPS法)を改良
量産性100倍
CNTの直径を0.1nm単位で制御可能
120
160
2006年 8月号ストレージ用磁気テープの基礎技術
-記録密度15倍以上へ-
富士写真フイルム
米IBM
日経産業新聞
(2006年5月17日PP.1)
6.67Gbpiの記録密度
酸化鉄粒子層の上に65nm厚でバリウムフェライトを塗布
粒子直径21nm
長期保存性
テープ1巻あたり8Tbyte目標
130
120
160
2006年 7月号次世代半導体メモリー
-蓄積電荷5倍の新材料を開発-
東工大
富士通
日経産業新聞
(2006年4月3日PP.17)
FeRAM
ビスマスフェライト(BFO)に微量のMnを加えた新材料
65nmまで微細化可能
120
230
2006年 7月号液体でSiTFTセイコーエプソン
JSR
朝日新聞
(2006年4月6日PP.3)
日刊工業新聞
(2006年4月6日PP.24)
日経産業新聞
(2006年4月7日PP.9)
HとSiを含む液体材料
回転塗布またはインクジェットで成膜
厚さ300nmのSi膜パターン
シラン化合物
500℃前後で焼成
コスト半分
消費電力1/10程度
120
160
220
250
2006年 7月号光100%透過の新材料を設計理化学研日経産業新聞
(2006年4月7日PP.10)
ポリマーの中に外径60nm内径40nmの金属リングを規則的に配置した構造
リング状金属
通信時の損失防ぐ
140
120
2006年 7月号黒鉛基板上の銀ナノ粒子加熱で液化せず蒸発阪大日刊工業新聞
(2006年4月12日PP.29)
透過型電子顕微鏡(TEM)
黒鉛基板を680℃で保持
約2分で消滅
ナノ粒子により融点が下がる
160
2006年 7月号1TbitHDD向けパターン磁気記録技術早大日刊工業新聞
(2006年4月18日PP.33)
湿式法
直径10nmの微細孔
直径2nmの有機シラン
Co系合金
ドット径10〜20nmの磁性ナノドットアレイ
120
160
230
2006年 6月号CNT素子の新作成法
-電流変動1/1000-
阪大
産総研
JST
日刊工業新聞
(2006年3月1日PP.25)
電波新聞
(2006年3月14日PP.6)
CNTトランジスタ
電流の変動0.01%
フォトレジストを改善
4μmの電極間に直径1.5nmのCNT
CNTをSiN膜で保護
不純物を一切つけない新しいプロセスの開発
160
220
2006年 6月号屈折限界超すナノレンズ
-金属ナノ構造と光の相互作用で実現した波長を超える高解像度-
理化学研日刊工業新聞
(2006年3月2日PP.27)
表面プラズモン
金属ロッドアレイ
メタマテリアル構造
生体細胞ナノサイズで撮影可能
光の収差
プラズモニクス
金属錯イオンを2光子還元
負の屈折率
120
160
310
2006年 6月号マルチモードファイバ(MMF)
-10Gbps
300mの伝送に成功-
富士通
東大
日刊工業新聞
(2006年3月3日PP.1)
温度無依存の量子ドットレーザ(QDLD)
3Dのナノ構造に電子が閉じ込められて発光
冷却機・電流駆動制御不要
240
120
2006年 6月号白色レーザ発振可能なフッ化物ファイバ住田光学ガラス日刊工業新聞
(2006年3月3日PP.1)
1本で青色半導体レーザを白色レーザとして連続発振
PrをAlF系ガラスに含ませた独自素材
522nm・635nmとあわせ440nm
ディスプレイ光源
高い変換効率
三原色の高い色再現性
120
160
240
250
2006年 6月号有機ELを光源に使用した印字ヘッドセイコーエプソン日経産業新聞
(2006年3月15日PP.9)
厚さ0.5mmのガラス基板上に有機EL素材をnm単位の厚さで塗布
印字品質向上と小型化
体積比で1割
250
2006年 6月号次期光波網用MEMS中空導波路
-波長可変幅1桁向上-
東工大日刊工業新聞
(2006年3月22日PP.19)
微小電気機械システム
中空コア
上の反射板のMEMSで波長を変化
下の反射板の回折格子で波長選択
数百nmの変化幅
160
240
250
2006年 6月号光で動く分子ピンセット東大日刊工業新聞
(2006年3月23日PP.31)
大きさは1nm
伸縮はアゾベンゼン
軸回転はフェロセン
塩基分子をつかむ亜鉛ポルフィリン
分子ロボット
120
160
2006年 6月号不揮発性強誘電体メモリー(FeRAM)新材料
-記憶保持能力を5倍に-
東工大
富士通
富士通研
日刊工業新聞
(2006年3月24日PP.33)
ビスマスフェライト(BFO)にMnを加えて漏れ電流低減
65nm世代で256MB実現
120
230
2006年 6月号高解像度CMOSセンサ
-光で距離と画像を認識-
シャープ
静大
スズキ
電波新聞
(2006年3月24日PP.1)
日経産業新聞
(2006年3月24日PP.8)
日刊工業新聞
(2006年3月24日PP.12)
LED光源からの近赤外光が対象物で反射しセンサまでの光の飛行距離と光の速度から距離計算
信号電荷検出機能を集積化
TOF
OVGA
距離分解能パルス幅20nm距離1mで1cm
68ピンLCCパッケージ
210
220
320
2006年 6月号再構成可能な光合分波器
-フォトニック結晶で実現-
東大
NEC
日刊工業新聞
(2006年3月29日PP.37)
波長を変えて光経路を切替え
R-OADM
PCの対応波長幅約10nm
埋込みSOI基板のSi層に周期的に孔
160
240
2006年 5月号すりつぶすだけでナノ結晶海洋研究開発機構日刊工業新聞
(2006年2月2日PP.1)
フラーレン
C60
C70
数分すりつぶす
約30%が直径数μm以下
毒性なし
120
160
2006年 5月号LED型量子暗号通信素子東芝欧州研究所日経産業新聞
(2006年2月3日PP.8)
量子もつれ光子対を任意に発生
高さ6nm直径12nmの量子ドット微細構造
半導体素子
120
240
250
220
2006年 5月号たんぱく質で半導体メモリー奈良先端大
松下電器
日刊工業新聞
(2006年2月9日PP.27)
不揮発性半導体メモリー
フローティングゲートにフェリチンを利用した直径7nmのCoOナノ粒子
フェリチンの外径13nm
120
220
230
2006年 5月号キャパシタの蓄電効率10%改善
-電極抵抗1/4に-
東海大日経産業新聞
(2006年2月15日PP.11)
ナノテク素材
電気二重層キャパシタ
50mgの活性炭に直径10nm長さ100μmのCNT加え直径約1cm厚さ1mmの電極
電極の抵抗2.5Ω
厚さ3mmで2.5F
120
160
250
2006年 5月号銅ナノインク開発旭化成日刊工業新聞
(2006年2月22日PP.23)
印刷技術活用
Cu配線や薄膜を低コスト形成
厚さや線幅をμmオーダーで制御可能
酸化膜のナノサイズ微粒子と酸化還元剤をインクに配合
塗布後焼成
エッチング工程不要
130
160
120
2006年 5月号回路線幅29.9nmパターン生成
-深紫外線光リソグラフィ-
米IBM
JSR
電波新聞
(2006年2月22日PP.3)
日経産業新聞
(2006年2月22日PP.3)
DUV193nm
光屈折率液侵技術
石英レンズや有機液体などの新素材
EUV(極紫外線)でなくArF対応ステッパの継続使用可能
独自開発のフォトレジスト
120
160
2006年 5月号電界集中効果2割増のCNT束エミッタ
-ランプやディスプレイなど多用途-
高知工科大
大阪大
ソナック
日刊工業新聞
(2006年2月24日PP.29)
しきい電界強度0.4〜3V/μm
直径50μm
高さ125μm
個々のCNTの直径9nm
フォトエッチング法
CVD法
160
250
2006年 4月号ペースト状ナノ粒子
-幅20μm配線可能に-
大研化学工業
大阪市立工業研
日経産業新聞
(2006年1月1日PP.21)
AgとPdの合金ナノ粒子
直径5nm
樹脂と混ぜる
スクリーン印刷
プラスチック基板に回路パターンを書く
加熱300℃で樹脂が分解
120
160
2006年 4月号金属内包フラーレン1個でスイッチ動作東工大
名大
電波新聞
(2006年1月5日PP.7)
分子ナノデバイス
融合新興分野
Tb@C82
自己組織化分子膜
測定温度-260℃
120
160
660
2006年 4月号通電にまっすぐになるコイル状CNT
―原子構造変化を解明-
大阪府大日刊工業新聞
(2006年1月19日PP.26)
2層CNT
円周電流密度0.9μA/nmでコイルがゆるみはじめ
2.2μA/nmで大きく変形
2.6μA/nmで直線状
電流による局所的な高温状態により曲面にある五角形
七角形の原子構造が六角形に変化
120
130
2006年 4月号液晶フィルム新素材慶応大
JST
日本経済新聞
(2006年1月20日PP.17)
複屈折を抑えるnmサイズの微粒子
ポリカーボネート樹脂に約50nmのSrCO3粒子を加える
押し出し成形
40μm厚
120
160
2003年 6月号曲げに強い光ファイバ日立電線日経産業新聞
(2003年3月3日PP.8)
コア周囲に空気の穴
穴はnm単位制御
ホーリーファイバ
直径1cmに曲げた光の損失が数%
240
2003年 6月号光通信用発光レーザ
-10Gbpsコスト半分以下-
古河電工日経産業新聞
(2003年3月19日PP.1)
光通信
面発光レーザ
1300nm帯
240
250
2003年 5月号半導体EB露光装置
-つなぎ精度実用化レベル-
ニコン
Selete
日経産業新聞
(2003年2月6日PP.1)
回路半導体EB露光装置
つなぎ精度23nm
65nmプロセス用
2005年の製品化
260
330
2003年 5月号赤色有機EL発光素子
-高純度素子開発-
タイホー工業日本経済新聞
(2003年2月18日PP.15)
発光波長655nm
耐久時間2万時間
輝度1500cd以上
歩留まり6〜7割
250
2003年 5月号高感度センサ
-人間の触覚
センサで再現-
ニッタ
東大
日本経済新聞
(2003年2月28日PP.17)
透明なシリコンゴム中に2層の格子点
変形をCCDカメラでとらえ分析
格子点間隔は2nm
210
410
2003年 4月号量子リソグラフィー技術の原理を実証阪大日本経済新聞
(2003年1月6日PP.23)
ペア光子
波長860nmで波長430nm相当の干渉縞を確認
160
2003年 4月号ナノスペース技術
-単一分子基板上に規則的配置-
産総研日刊工業新聞
(2003年1月17日PP.5)
デンドロン構造を利用
リポ酸間距離は6-7nm
160
2003年 4月号トランジスタ製造技術
-線幅65nm技術確立-
半導体先端テクノロジーズ日経産業新聞
(2003年1月21日PP.8)
高誘電率絶縁膜
ハイK
25%のHfO2含有ON2O3
120
220
2003年 3月号DRAM混載システムLSI
-65nm世代プロセス-
東芝
ソニー
日刊工業新聞
(2002年12月4日PP.8)
電波新聞
(2002年12月4日PP.1)
SoC向け
スイッチング速度0.72ps(NMOS)
1.41ps(PMOS)
0.6μm;2のメモリーセル
220
230
160
2003年 3月号新顕微鏡
-材料の歪みを100nmレベルで観察-
農工大日経産業新聞
(2002年12月5日PP.11)
近接場光
先端の直径が10nm
透過型
360
660
2003年 3月号暗号処理回路小型化技術
-1/10000に小型化-
東芝日経産業新聞
(2002年12月6日PP.9)
表面を薬品処理
1μm角
1.5nW
nmレベルの凹凸
160
220
2003年 3月号新チャネル構造
-ゲート長30nm以下でトランジスタ動作-
東芝日刊工業新聞
(2002年12月10日PP.4)
オン電流960μA/1μm
65nmプロセスシステムLSI用
プラズマ窒化したゲート酸化膜
スイッチング速度0.72ps(NMOS)
1.41ps(PMOS)
160
220
2003年 3月号SiMOSトランジスタ
-ゲート長6nmと最小-
米IBM日刊工業新聞
(2002年12月11日PP.4)
SOI上のSi膜厚4nm
ハロー・インプラント技術
160
220
2003年 3月号光回線の分岐装置 
-大きさ1/200に-
産総研
ニューガラスフォーラム
日本経済新聞
(2002年12月13日PP.15)
FTTH
ナノテクノロジー
回折格子
レンズ
240
2003年 3月号次々世代LSI用金属成膜技術三菱重工日刊工業新聞
(2002年12月16日PP.11)
45nmプロセス用
MCR-CVD
塩素ガス利用
200〜300℃で製膜可
160
2003年 3月号カーボンナノチューブ
-加工しやすいテープ状に-
NKK日本経済新聞
(2002年12月18日PP.11)
CNT
直径数10nm
アーク放電
ほぼ100%の純度
120
2003年 3月号膵臓ガン診断システム
-早期発見に道-
慶応大日本経済新聞
(2002年12月27日PP.13)
診断システム
波長630nmのレーザ
圧電素子
フォトフリン
治療も可
660
2003年 2月号ナノ粒子の形を自在に制御東芝日本経済新聞
(2002年11月1日PP.17)
化学的気相成長法を改良
酸化チタンを使って実験
液体と気体の原料
120
160
2003年 2月号DNAで磁性微粒子配列阪大
韓国 延世大
日本経済新聞
(2002年11月4日PP.15)
直径8nmのCo微粒子
Si基板上
磁気の向きを検出
130
2003年 2月号カーボンナノチューブでFET試作NEC日刊工業新聞
(2002年11月8日PP.5)
CNT220
2003年 2月号光で結晶変化する分子
-新記録材料に-
九大日刊工業新聞
(2002年11月14日PP.5)
ジアリールエテン分子
フォトクロミック材料
3次元光メモリー
数十nm単位の有機化合物
120
130
2003年 2月号ネマチック液晶デバイス
-消費電力さらに低減-
科学技術振興事業団日刊工業新聞
(2002年11月14日PP.4)
3安定性液晶デバイス
ナノラビング
多重安定メモリー性のあるネマチック液晶デバイス
250
2003年 2月号量子カスケード半導体レーザの発振に成功東北大日本工業新聞
(2002年11月15日PP.2)
遠赤外領域
ナノ構造
InAs
AlSb
厚さ4〜7nm×20層の超格子×40周期
発光波長9.94μm
250
220
2003年 2月号ナノ対応の3次元電子顕微鏡日本電子
東大
日本経済新聞
(2002年11月22日PP.15)
CT手法
様々な角度から電子照射
分解能5〜10nm
撮影2時間
立体画像処理2時間
360
320
2003年 2月号Si製半導体
-「2世代先」実現にメド-
東芝日本経済新聞
(2002年11月29日PP.17)
ゲート電極幅14nmのトランジスタ
基板正負電極間の絶縁膜最適化
ゲート電極材料の改良
220
160
2003年 1月号超広帯域光増幅技術
-10Gbps信号光を同時に1000波増幅-
富士通研日本工業新聞
(2002年10月7日PP.2)
ラマン増幅
1000波
信号波1450〜1661nmの範囲
240
340
2003年 1月号金属微粒子の配列方法
-金属ナノ粒子一列に-
九大日経産業新聞
(2002年10月17日PP.7)
自己組織化で極細配線
金の粒子が1.5nmの距離で一列
繊維全体の太さは10数nm
120
160
2003年 1月号構造の新分子
羽根付き
-フラーレン使い合成-
東大
北大
日経産業新聞
(2002年10月18日PP.10)
縦方向に積層
nmサイズの電線や光スイッチに応用有望
120
160
240
2003年 1月号光ディスク
-容量250GB開発にメド-
東芝
パイオニア
日本サムスン
日本ビクター
シャープ
TDK
パルステック工業
産総研
日本経済新聞
(2002年10月18日PP.17)
スーパーレンズ
4nmPtO薄膜
青色レーザ80GB・赤色レーザ60〜70GB
ディジタルハイビジョン映像を20時間録画可能
ライトワンス
230
330
2003年 1月号導電性で強度倍のセラミック阪大
ニッカトー
日本経済新聞
(2002年10月25日PP.17)
結晶境界面に厚さ1nmの有機化合物系の導電性材料120
2003年 1月号世界最小の演算回路米IBM日本経済新聞
(2002年10月26日PP.9)
日経産業新聞
(2002年10月28日PP.9)
銅基板上12nm×17nmのサイズ
CO分子を電線代わりに使用
分子カスケード
ドミノ倒し演算回路
220
2003年 1月号超小型大容量磁気ディスク
-ナノ媒体応用
100円玉大-
NHK日経産業新聞
(2002年10月28日PP.8)
グラニュラー垂直媒体
100円玉サイズでディジタルハイビジョン番組を2時間以上録画
20GB以上記録,垂直磁気記録,記録ビット長30nm以下
230
330
2003年 1月号カーボンナノチューブ
-水溶性持たせる-
長崎大日本経済新聞
(2002年10月28日PP.23)
親水性化合物
超音波
分離精製容易
120
160
2002年12月号3000〜6800Oeと最高保持力を持つ磁性ナノ粒子明大日刊工業新聞
(2002年9月4日PP.5)
スピネルフェライト
コバルト、ニッケル、鉄酸化物
粒径30〜40nmの超微粒子
120
160
2002年12月号ナノ応力電子顕微鏡
-素材構造を1nm単位で観察-
京都工芸繊維大日本経済新聞
(2002年9月13日PP.17)
ナノ応力電子顕微鏡360
2002年12月号カーボンナノチューブの特性解明へ研究会設立信州大
名大
NEC
日本経済新聞
(2002年9月16日PP.19)
地球シミュレータ
研究会設立
熱電導解析
120
620
2002年12月号Agナノ粒子を均一成形産総研日刊工業新聞
(2002年9月19日PP.4)
日経産業新聞
(2002年9月27日PP.10)
光ディスク上に均一成形
ナノ粒子ナノワイヤを3次元形成
粒径20〜30nm
230
160
2002年11月号高生産性のナノ加工技術
-インプリントで10nm級-
姫路工大
産総研
NEC
NTT
明昌機工
日刊工業新聞
(2002年8月8日PP.4)
日刊工業新聞
(2002年8月14日PP.1)
室温ナノインプリント技術
モールドのパターン一括転写
基板上のポリマー薄膜
160
2002年11月号電子顕微鏡
-最高解像度0.075nm-
米IBM
ニオン
日刊工業新聞
(2002年8月13日PP.4)
走査型電子顕微鏡
磁気レンズ収差を0.1nm以下に動的補正
7枚の磁気レンズ
360
320
2002年11月号生物の力で超微細回路
-チップ性能100倍に-
松下電器
阪大
理化学研
日本経済新聞・夕刊
(2002年8月15日PP.1)
バイオナノ技術
生物の自己組織化
160
2002年11月号ナノ応用光通信素子
-4大学と産学共同開発-
NEC
富士通
KDDI
東大等
日経産業新聞
(2002年8月19日PP.9)
フォトニックネットワーク
配線面積が現在の1/1000
WDM用
160
240
2002年11月号次世代DVD新規格東芝
NEC
日本経済新聞
(2002年8月24日PP.1)
日本経済新聞
(2002年8月24日PP.14)
朝日新聞
(2002年8月24日PP.3)
日本経済新聞
(2002年8月30日PP.13)
二重の記録層の凹凸にデータを焼き込む
ディジタルハイビジョンを5時間余り
片面2層40GB
保護層0.6mm厚
DVDフォーラムに公開
ランドグループ方式
405nm青色レーザ
230
530
2002年11月号初の磁性微粒子
-磁気テープ記憶容量数十倍に-
明大日本工業新聞
(2002年8月28日PP.1)
微粒子直径30nm(従来の1/4)
保磁力480kA/m(従来の4倍)
主成分はCoとNiを組合せた酸化鉄
塗布型
水溶液を混合
130
160
2002年10月号DNAで有機EL素子
-小型化と高画質可能性-
1行紹介
千葉大日経産業新聞
(2002年7月8日PP.9)
DNA
有機EL素子
縦横2mm・厚さ30〜50nm
250
2002年10月号多層カーボンナノチューブ
垂直成長させる技術
富士通研日経産業新聞
(2002年7月8日PP.9)
電波新聞
(2002年7月8日PP.1)
日本工業新聞
(2002年7月8日PP.2)
日本経済新聞
(2002年7月8日PP.21)
微細なLSI配線
φ:50nmL: 500nmのCNT
CMOS・FETのシリサイド層上にて成長
電極にNiやCoを混入
CH4とH2の混合ガスによるプラズマCVD法
120
160
220
2002年10月号近接場光記録
-読出し原理実証-
東工大日刊工業新聞
(2002年7月8日PP.7)
面発光レーザ(VCSEL)分布ブラッグ反射層
SNOMプローブの2次元像
200nm以下の分解能
テラバイト級データストレージ技術
230
250
330
2002年10月号次世代DVD
-容量4倍パソコン用で標準目指す-
NEC日刊工業新聞
(2002年7月16日PP.1)
光ディスク
405nm青色半導体レーザ
片面最大20.5GB・32Mbps
DVDとの互換制を重視
保護層厚0.6mm
カートリッジ不要
230
330
530
2002年10月号量子ドット形成法
-ナノオーダで制御-
(NO31合わせる)
富士通研電波新聞
(2002年7月29日PP.1)
化合物半導体
量子コンピュータ
分子線エピタキシ
結合量子スピンを利用
直径30nmと20nmの量子ドット
120
160
2002年10月号1次元鎖状に量子ドット配列
(NO29合わせる)
電通大日刊工業新聞
(2002年7月31日PP.5)
分子線エピタキシャル法(MBE)
20nm〜30nm直径のIn・As量子ドット
5μm以上の長さに配列 
120
160
2002年 9月号ナノチューブ利用の太陽光発電徳島大
ジェイジーエス
日本経済新聞
(2002年6月3日PP.21)
カーボンナノチューブ
変換効率7.75%
250
2002年 9月号ダイヤモンドLED
-光出力が従来の600倍に-
東京ガス日刊工業新聞
(2002年6月7日PP.5)
日経産業新聞
(2002年6月27日PP.11)
紫外線LED
出力17μW
波長235nm
発光効率0.032%
250
160
2002年 9月号書籍2.500万ページを切手1枚大に記録
-ナノテク新技術-
米IBM日本経済新聞
(2002年6月12日PP.13)
プラスチックフィルム
微小な針で10nm大の印
1兆ビット/平方インチ
2002年 9月号90ナノ世代システムLSIプロセス技術
-世界最小SRAMセル内蔵-
三菱電機
松下電器
電波新聞
(2002年6月13日PP.1)
140万トランジスタ/mm2
SRAMセルサイズ1.56μm×0.64μm
KrF露光
90nmプロセス
220
230
2002年 9月号演算処理担う論理素子
-すべて金属で作製-
1行紹介
英ダーラム大日本経済新聞
(2002年6月14日PP.15)
磁性鉄合金
電子スピン利用
サイズ100nm
NOT回路
220
2002年 9月号純度95%のナノチューブ富士ゼロックス日本経済新聞
(2002年6月14日PP.15)
アーク放電法
磁場によりプラズマ密度を向上
120
160
2002年 9月号LSIの消費電力を1/10に低減するトランジスタ松下電器日本経済新聞
(2002年6月20日PP.11)
SiGeのナノ構造薄膜をSi基板に形成
0.5V動作
CMOSトランジスタ
220
160
2002年 9月号単一電子トランジスタ
-ナノチューブで作製-
産総研
富士通研
日本経済新聞
(2002年6月24日PP.23)
SiO2基板上
自己組織化
チューブ径 2nm
220
120
2002年 9月号新観察技術
-磁気ヘッドの記録磁界分布をnmスケールで可視化-
日立電波新聞
(2002年6月25日PP.2)
ヘッド表面から30nm領域の記録磁界を可視化
透過型電子顕微鏡
660
230
360
2002年 8月号DNAトランジスタ
-スパコン携帯型に道-
富士ゼロックス日本経済新聞
(2002年5月9日PP.3)
大きさ従来トランジスタの1/10
電極間隔10nm
サケの精子のDNA
120
220
2002年 8月号分子集合でナノ配線東大日経産業新聞
(2002年5月10日PP.8)
ピロール
1本あたりの太さ2.7nm
自己組織化
表面にシリカの絶縁層
相田ナノ空間プロジェクト
120
160
2002年 8月号磁気ヘッド用耐熱材料松下電器日本経済新聞
(2002年5月10日PP.17)
耐熱温度400℃
NiCoFeの混合薄膜
2nm厚のPtをはさむ
210
2002年 8月号BN薄膜で電子放出増加
-FEDなどに応用-
阪大日刊工業新聞
(2002年5月16日PP.4)
プラズマアシスト化学気相法
CNTにBNナノ薄膜被覆
放出電流100倍
120
150
2002年 8月号ナノレベルで膜厚制御するクラスタ銃日立船造日刊工業新聞
(2002年5月20日PP.1)
Siクラスタ
グラファイト表面
160
2002年 8月号ナノチューブトランジスタ米IBM日経産業新聞
(2002年5月22日PP.8)
Si製の2倍の動作速度
p-n型の作り分け
MOSFETと同構造
220
2002年 8月号歯車型の微小レーザ横浜国大日本経済新聞
(2002年5月27日PP.21)
直径25μm
厚さ250nm
InP
出力17μW
光励起
250
2002年 8月号導電ペーストと導電シート-樹脂性能保ち高導電率-住友電工日刊工業新聞
(2002年5月27日PP.1)
粒径50nm120
2002年 8月号次世代光伝送向けトランジスタ沖電気日経産業新聞
(2002年5月27日PP.7)
ゲート幅100nm
積層部をInとPで構成
ウェットエッチング
6層構造
220
160
2002年 8月号電子ビーム露光装置
-マスク製造に成功-
HOYA
凸版印刷
日経産業新聞
(2002年5月28日PP.1)
φ200mm
Siマスク
50nmプロセス用
160
2002年 7月号ナノ精度で一括製造する微細加工技術と製造装置
- 材料問わず3次元加工 -
富士ゼロックス日刊工業新聞
(2002年4月2日PP.1)
断面パターン薄膜
Arビーム清浄
高精度圧接
260
2002年 7月号カーボンナノチューブのフィールドエミッタ
- 4V 低電圧で電子放出 -
産総研日本経済新聞
(2002年4月5日PP.17)
日刊工業新聞
(2002年4月11日PP.4)
高さ1μmの山のあるSi基板
Fe蒸着後CNTを成長
電子放出電圧4V
FED
250
120
2002年 7月号35GBの光ディスク
- 容量DVDの7倍 -
NEC日本経済新聞
(2002年4月12日PP.17)
波長405nm
直径12cm
230
330
2002年 7月号ナノの規則構造
自在に作製
都立大
NTT
日本経済新聞
(2002年4月19日PP.17)
AI
規則的に打点
電気酸化
120
160
2002年 7月号有機太陽電池
- 微細結晶が光吸収 -
キヤノン日本経済新聞
(2002年4月26日PP.17)
有機太陽電池
ナノウィスカー
太さ0.2μm
長さ10μm
発電効率1%以下
250
2002年 7月号次世代メモリーMRAM
-1Gb以上に-
産総研日本経済新聞
(2002年4月26日PP.17)
日刊工業新聞
(2002年4月26日PP.5)
抵抗値変化幅従来の3倍
厚さ1nmのFe単結晶薄膜
TMR素子をシリコンLSI上に作製
210
230
2002年 7月号超高集積チップへ道
-ナノチューブトランジスタ試作超LSI配線応用-
富士ゼロックス
NTT
日本経済新聞
(2002年4月29日PP.15)
CNT
直径20nmリング
120
220
2002年 7月号単一電子素子
-消費電力1/1000に
室温で作動成功
NTT日経産業新聞
(2002年4月30日PP.7)
30nm幅のSi細線温室動作SET220
2002年 6月号カーボンナノチューブ-製造コスト1/100に-三菱化学
群馬大
東レ
名大
日本経済新聞
(2002年3月2日PP.1)
日刊工業新聞
(2002年3月18日PP.9)
2層CNT30〜40%
触媒化学気相成長法
(CCVD)
ゼネライト
160
120
2002年 6月号立方体の白金ナノサイズ粒子東工大日刊工業新聞
(2002年3月14日PP.1)
排ガス触媒
N-イソプロピルアクリル酸
160
2002年 6月号割れにくいガラス基板日立日本経済新聞
(2002年3月15日PP.17)
磁気ディスク用ガラス基板
50GB/in2
ガラス内に直径10nmの結晶
130
230
2002年 6月号ナノサイズのカプセル型白金微粒子千葉大日刊工業新聞
(2002年3月19日PP.1)
カプセル型白金微粒子
20nm
表面積が30000m2/モル
260
160
2002年 6月号特定の光信号選ぶ素子NTT日経産業新聞
(2002年3月20日PP.13)
プレーナ光波回路
7×1.5cm
波長1260〜1625nm
低密度WDM
240
2002年 6月号SNOMを使い100nm記録ピットを観測リコー日刊工業新聞
(2002年3月27日PP.7)
走査型近接場光顕微鏡(SNOM)
偏光制御機構
光源780mm
230
360
2002年 5月号微小歯車
-直径0.2mm-
セイコーインスツルメンツ
北川工業
昭和電工
日本経済新聞
(2002年2月7日PP.13)
射出成型
プラスチック
カーボンナノファイバ
直径80〜100nm
620
260
2002年 5月号ナノ単位の部品加工技術住友電工日本経済新聞
(2002年2月8日PP.17)
放射光
樹脂製の型枠
メッキ溶液
ばね探針
長さ3mm
厚さ0.03mm
160
2002年 5月号米TIが0.09μmプロセス技術

一行紹介
米T.I電波新聞
(2002年2月8日PP.5)
37nm幅のトランジスタ220
2002年 5月号超微細ダイヤ針
-薄型テレビなどに応用-
阪大
住友電工
ファインセラミックセンター
日経産業新聞
(2002年2月14日PP.9)
FED
先端の直径2nm
400本/1mの集積可能
160
250
2002年 5月号DVDに世界規格
-次世代光ディスク規格統一-
松下電器
ソニー
日立
パイオニア
シャープ
蘭フィリップス
仏トムソン・マルチメディア
韓サムソン電子
韓LG電子
日本経済新聞
(2002年2月16日PP.13)
日本経済新聞
(2002年2月16日PP.1)
日本経済新聞
(2002年2月20日PP.14)
電波新聞
(2002年2月22日PP.15)
学会誌4月号
(0年0月0日)
波長405nm青紫色レーザ
Blu-rayDisc
片面27GB
直径12cm
ピックアップ
330
230
530
2002年 5月号ナノ微粒子「光」で制御するマニピュータ農工大日刊工業新聞
(2002年2月19日PP.1)
マニピュータ
球形レンズ
毎秒10nmで移動可能
160
2002年 5月号希土類酸化物でナノチューブ合成佐賀大日刊工業新聞
(2002年2月25日PP.1)
エルビウム
ツリウム
イッテルビウム
ルテチウム
外径6nm
内径3nm
120
160
2002年 4月号次世代大容量書換え型光ディスク東芝電波新聞
(2002年1月8日PP.1)
日経産業新聞
(2002年1月8日PP.9)
日刊工業新聞
(2002年1月8日PP.13)
日本工業新聞
(2002年1月8日PP.5)
30GB直径120mm光ディスク
波長405nmの青色レーザ
ランドグルーブ方式
PRML技術
UDF
カバー層厚0.1mm
230
330
2002年 4月号近接場光学顕微鏡
-100nm程度の物体判別-
東大日本経済新聞
(2002年1月21日PP.25)
近接場光学顕微鏡
生きている細胞観察用
分解能100nm
波長も観察
光ファイバ
16ギガビットDRAM用
360
2002年 4月号光の速度を1/100に
-人工結晶使い成功-
NTT日本経済新聞
(2002年1月28日PP.25)
フォトニック結晶
超小型光スイッチ用
Si結晶
直径200nm深さ200nmの周期的な穴
260nm幅の導波路
140
240
2002年 3月号Si・ナノ微粒子LED
-温室で近赤外発光-
松下電器日刊工業新聞
(2001年12月5日PP.7)
平均直径3.8nm
1.17eV
Si発光
250
2002年 3月号磁気ナノ微粒子
-温室で1kOeの保磁力-
横浜国大日刊工業新聞
(2001年12月12日PP.6)
直径1.1〜5.2nm
鉄酸化物
サイコロ状の結晶
温室で1kOe
磁石
120
2002年 3月号ダイヤ薄膜に微細な穴形成東大
都立大
日本経済新聞
(2001年12月17日PP.19)
穴径数10nm
加工速度1μm/分
160
2002年 3月号システムLSI高速化技術東芝日本経済新聞
(2001年12月21日PP.7)
オン・オフ切換時間5ps
基板内に空洞
ゲート長50nm
漏れ電流防止
220
160
2002年 2月号微細構造作る新技術
-ナノ大の金属粒子均一配列-
松下電器日本経済新聞
(2001年11月9日PP.17)
球状タンパク質
外径12nm
空洞径6nm
フェリチン
Si基板
メモリー
160
2002年 1月号ヨウ化セシウムの発光機構にナノ超微粒子の働き
-高品質のシンチレータ材料へ道-
阪大日刊工業新聞
(2001年10月5日PP.7)
シンチレータ材料CsI:Naの発光機構120
2002年 1月号14.5インチカラーFEDの試作伊勢電子日経産業新聞
(2001年10月31日PP.1)
耐久10,000時間
多層化構造CNTの電子銃
カーボンナノチューブ
FED
壁掛けテレビ
画素ピッチ 2.54mm
250
350
2001年12月号次世代光ディスク加工技術
-DVDの容量20倍に
赤色半導体レーザ利用-
シャープ
産総研
TDK
日経産業新聞
(2001年9月11日PP.13)
原盤加工
吸光発熱薄膜
熱疑固薄膜
幅100nmの線
直径80nmの突起
230
160
2001年12月号セラミックス製ナノチューブ大日本インキ
九大
日経産業新聞
(2001年9月17日PP.11)
シクロヘキサジアミン
外径50nm
内径10nm
120
160
2001年12月号Si薄膜にナノ穴形成
-電子線を光速照射アモルファス化可能に-
阪大日刊工業新聞
(2001年9月18日PP.7)
量子サイズ効果
直径約3mm
160
2001年12月号青色レーザ
-酸化亜鉛で開発-
ローム日刊工業新聞
(2001年9月20日PP.1)
波長380nm
n型はZnO
p型はCu他の金属酸化物
250
2001年12月号高出力・高性能SHG青色レーザ松下電器
日本ガイシ
日本経済新聞
(2001年9月28日PP.17)
電波新聞
(2001年9月28日PP.1)
非線形光学結晶
ニオブ酸リチウム
波長410nmの30mW青色出力
250
2001年11月号チップの上に光の集積回路NTT日本経済新聞
(2001年8月3日PP.17)
光導波路
ナノテクノロジー
光通信
1.3〜1.6μmの光で確認
Si基板
240
160
2001年11月号書き替え可能光メモリ-
-DVDの1万倍容量を可能-
京大日刊工業新聞
(2001年8月7日PP.6)
書き替え可能光メモリー
DVDの約1万倍
37Tb/ 3
直径200nmのスポットに記録
100nm間隔立で体的に記録
サマリウムイオン
フェムト秒レーザ
130
230
2001年11月号Si球体チェーン
-直径2nmで量産-
阪大日刊工業新聞
(2001年8月7日PP.1)
直径2〜3nm
Si針状結晶
160
2001年11月号低温で基盤形成技術
カーボンナノチューブ
豊橋技科大日経産業新聞
(2001年8月16日PP.7)
50℃で基板を加熱
真空中のアーク放電利用
30Vで 50〜100Aの放電
太さ数10nm
長さ1μm
160
120
2001年11月号ナノサイズのくぼみ
-レーザで瞬時形成-
科学技術振興事業団日本経済新聞
(2001年8月24日PP.17)
量子コンピュータ
fsレーザ
干渉を利用
0.1mmの領域に1μm間隔で10〜200nmのくぼみ
160
2001年11月号カーボンナノチューブで論理回路作製米IBM日経産業新聞
(2001年8月28日PP.8)
電圧インバータ回路
単一分子構造
小型化
高速化
220
2001年11月号新素材使った燃料電池NEC
科学技術振興事業団
日本経済新聞
(2001年8月31日PP.17)
カーボンナノチューブ
メタノール
発電効率Li電池の約10倍
名刺大で70mW
白金系触媒
水素
250
2001年10月号「近接場光」で超微細加工富士フイルム朝日新聞・夕刊
(2001年7月6日PP.13)
スリット幅130nm
深さ550nm
2層レジスト
水銀ランプ
436nm
160
460
2001年10月号カーボンナノチューブ高配向膜
-高輝度発光に成功-
ファインセラミックスセンター
ノリタケカンパニー
日刊工業新聞
(2001年7月12日PP.8)
カーボンナノチューブ
高配向性膜

100kcd/m2
アノード電圧10kV
導電性グラファイト
150
250
2001年10月号先端径10nmのダイヤモンド・ナノエミッタ住友電工
ファインセラミックスセンター
阪大
日刊工業新聞
(2001年7月17日PP.1)
電流を均質化
数mm角の基板に10μmピッチで配置
成長とエッチングの組合せ
単結晶ダイヤモンド
φ3〜5mm円すい
プラズマエッチング
高さ/先端径>10
160
250
2001年 8月号,9月号ダイヤで紫外光LED
人工ダイヤの「輝き」
物質・材料研究機構日経産業新聞
(2001年6月8日PP.9)
朝日新聞・夕刊
(2001年6月13日PP.12)
波長235nm
15V、0.1mAで発光
人工ダイヤモンド
約2mm角
波長235nm
青紫の可視光
250
2001年 8月号,9月号20nmゲート長トランジスタ
-20GHzMPU動作目指す-
米インテル日刊工業新聞
(2001年6月13日PP.10)
20GHzマイクロプロセッサ
MPU
520
2001年 8月号,9月号極微細粒でシリコン層形成技術アネルバ日経産業新聞
(2001年6月14日PP.7)
クオンタムドット形成技術
直径5-10nmの粒子
1T個/m2
160
130
2001年 8月号,9月号赤色半導体レーザ
-光利用効率20%向-
三洋電機電波新聞
(2001年6月15日PP.2)
アスクペクト比1対1.7の近円形ビーム
光利用効率20%向上
4倍の高速記録が可能
発振波長660nm
AlGaInP系赤色半導体レーザ
低損質導波路
250
2001年 8月号,9月号ナクテク使い立体配線東芝日本経済新聞
(2001年6月15日PP.17)
銅メッキ
線幅15μm
数10nm径の穴の開いたプラスチックシート
光の強弱で配線と貫通部を作成
260
160
2001年 6月号カーボンナノコイル
-ら旋状化
大量合成に成功-
大阪府大日刊工業新聞
(2001年4月10日PP.6)
酸化InとFeの薄膜を設置した電気炉にアセチレンを送り込む160
2001年 6月号弾性表面波を使った超小形モータ東大
東工大
日経産業新聞
(2001年4月13日PP.9)
SAWフィルタ
酸化ニオブ・リチウム
位置決め精度40nm
移動速度1.1m/s
260
250
240
2001年 6月号半導体チップ
-極紫外線で加工-
大手半導体メーカ
エネルギー省傘下の研究所
日本経済新聞
(2001年4月13日PP.17)
EUV
波長13nm
線幅30nm
160
2001年 6月号次世代光メモリー
-DVDの2500倍実現-
セントラル硝子
京大
日刊工業新聞
(2001年4月20日PP.1)
1cm3に8Tb
ガラスにフェムト秒でレーザ照射
希土類元素の価数が変化
波長680nm
光メモリー
230
130
430
2001年 6月号トランジスタ素子
-1/500の大きさ-
米IBM日本経済新聞
(2001年4月30日PP.25)
カーボンナノチューブ
大電流で金属タイプを焼き切る
MOSトランジスタ
220
2001年 5月号ナノレベル加工機
-先晩部分の曲率半径5μm-
理化学研日刊工業新聞
(2001年3月26日PP.1)
V字溝加工260
2001年 5月号撮影画像を重ねてタンパク質構造を解析電総研
京大
日経産業新聞
(2001年3月23日PP.11)
3次元画像
分解能1.9nm
450
520
2001年 5月号面発光レーザ素子
-1/1000の電流で発光-
ローム
東工大
日刊工業新聞
(2001年3月5日PP.1)
波長850nm
LAN用
1mW出力
面発光レーザ
250
2001年 5月号青紫レーザ量産へ
-20GB級DVD-
住友電工日本工業新聞
(2001年3月5日PP.1)
青紫レーザ
DVD
20GB以上
単結晶GaN基板
波長400nm
250
2001年 5月号光で伸縮する単結晶九州大日経産業新聞
(2001年3月2日PP.7)
1nm単位で長さが変化
スチルベン
Tb級メモリー
紫外線で着色/可視光で無色化
光照射で20pmずつ伸張
120
130
2001年 4月号スピンSTMで新手法
-原子レベルで磁化分布検出-
東芝日刊工業新聞
(2001年2月22日PP.1)
スピン走査トンネル顕微鏡
ダブルバイアス法
分解能1nm
トンネル電流1nA以下
360
2001年 4月号カーボンナノチューブの量産化技術
-既存設備で量産化-
群馬大日刊工業新聞
(2001年2月21日PP.7)
カーボンナノチューブ
ポリマーブレンド紡糸法
最小直径10〜20nm
160
2001年 4月号任意の位置に分子1個分の配線理化学研日刊工業新聞
(2001年2月8日PP.6)
日経産業新聞
(2001年2月8日PP.12)
ジアセチレン化合物分子
ナノ細線
走査形トンネル顕微鏡(STM)
160
2001年 3月号カーボンナノチューブ
-溶接機で簡易合成-
豊橋技科大
名城大
双葉電子工業
日経産業新聞
(2001年1月30日PP.1)
内径1nm以下
外形数十nm
長さ数百nm〜1μm
大気中アーク放電
ナノチューブ率80%
150
120
2001年 3月号カーボンナノコイル作成
-ディスプレイなどへ応用-
大阪府立大
豊橋技科大
日経産業新聞
(2001年1月23日PP.10)
カーボンナノコイル
太さ数十nm
カーボンナノチューブ
有機分子の高温ガス
反応温度650〜800℃
直径数10nm
マイクロマシン用ばね
150
120
260
2001年 3月号新有機分子
-単一分子に導電性-
東大日経産業新聞
(2001年1月16日PP.7)
CとSiからなる分子
大きさ2nm
常温〜
-273℃で導電性
120
2001年 2月号特徴電子顕微鏡使い検出科技庁日仏共同研究チーム東京新聞
(2000年12月22日PP.10)
金属原子ガドニウム
カーボンナノチューブ
チューブの直径1.6nm
320
360
2001年 2月号光の波長
計測精度10000倍に
工技院計量研
英バース大
日経産業新聞
(2000年12月21日PP.7)
チタン・サファイア固体レーザ
光ファイバ
0.1nm間隔の物差し
卓上サイズの装置
320
360
2001年 2月号X線レーザ装置を小形化豊田工大日経産業新聞
(2000年12月20日PP.13)
波長15.4nmのX線レーザ
X線光電子顕微鏡
350
250
360
2001年 2月号高純度の赤色有機EL素子タイホー工業日本工業新聞
(2000年12月13日PP.13)
日刊工業新聞
(2000年12月18日PP.9)
色度座標にてX軸0.67/Y軸0.32
2000cd/m2
インドール染料系
有機ポリマ
発光ピーク波長657nm
150
250
2001年 2月号MRAM向け成膜装置アネルバ日経産業新聞
(2000年12月4日PP.9)
直径8inウェハ
1nm以下の磁性膜
真空技術
230
160
2001年 1月号SiCパワー素子松下電器電波新聞
(2000年11月22日PP.1)
SiCパワー素子
DACFET
ナノ制御δドープ層状構造
113cm2/Vs
220
2001年 1月号単層カーボンナノチューブ
-直径0.4nm作製-
名城大
NEC
科学技術振興事業団
日刊工業新聞
(2000年11月2日PP.6)
日経産業新聞
(2000年11月2日PP.9)
カーボンナノチューブ
水素ガス中で放電
直径0.4〜10nm
多層構造
120
160
2000年12月号新形導電性銀ペースト
-配線幅10μm実現-
アルバック・コーポレートセンター
ハリマ化成
日本工業新聞
(2000年10月27日PP.7)
ナノ粒子ペースト160
2000年12月号ナノ結晶に光導電性
-CCDなどに応用-
NHK
広島大
日経産業新聞
(2000年10月24日PP.1)
Siナノ結晶
光導電性
210
120
2000年12月号超精密技術
-レーザ使い極小文字-
阪大電波新聞
(2000年10月20日PP.2)
微粒子20nm
蛍光プラスチック
光ピンセット
160
2000年12月号新規格ディスク装置
-記憶容量DVDの5倍-
ソニー日刊工業新聞
(2000年10月4日PP.1)
DVRブルー
22.5GB
相変化(PC)方式
波長405nm青色レーザ
DVD
230
250
530
330
2000年10月号極超短波でエッチング日立日経産業新聞
(2000年8月31日PP.9)
エッチング
電極幅0.1μm
加工精度0.5nm以下
160
2000年10月号新形X線顕微鏡
-細胞や染色体鮮明に-
明大
千葉大
日経産業新聞
(2000年8月24日PP.9)
X線顕微鏡
走査形電子顕微鏡を利用
10nmに絞った電子ビーム
分解能0.1μm
立体的な像
360
2000年10月号HD容量上げる微細加工技術
-容量10倍超へ-
東芝日本経済新聞
(2000年8月19日PP.13)
高分子材料
自己組織化
ナノテクノロジー
単一電子トランジスタ
ハードディスク
160
230
2000年 9月号金のナノワイヤ東工大日刊工業新聞
(2000年7月28日PP.7)
日経産業新聞
(2000年7月29日PP.12)
0.6nmφ×15nm
同軸形状
ナノワイヤ
120
2000年 9月号回折格子を形成する新技術
-硬い材料を直接加工-
科学技術振興事業団日経産業新聞
(2000年7月25日PP.1)
80nmチタンサファイアレーザ
1mJ/pulse
干渉縞で回折格子を形成
0.3μm幅の溝
溝間隔1μm幅
160
2000年 9月号ダイヤモンドナノチューブ東大
都立大
日本経済新聞
(2000年7月17日PP.15)
人工ダイヤ
CVD
カーボンナノチューブ
250
2000年 9月号ウェットプロセスで平滑な有機EL素子作成
-表面凹凸10nmに制御-
慶大日刊工業新聞
(2000年7月3日PP.9)
日刊工業新聞
(2000年7月6日PP.6)
日刊工業新聞
(2000年7月1日PP.7)
有機EL素子
ディスプレイ
ポリマー
ウェットプロセス
交互吸着膜
凹凸10nm
EL
光素子
160
150
2000年 5月号カーボンナノチューブで電子銃作成電総研日本経済新聞
(2000年3月27日PP.19)
直径2〜3nmφ
Si突起
炭化水素系ガス
カーボンナノチューブ
放電開始電圧10V
電子銃
260
250
150
2000年 5月号紫外線の発光ダイオード
-セラミックスを使用-
科学技術振興事業団日本経済新聞
(2000年3月27日PP.19)
紫外線発光ダイオード
ストロンチウム銅酸化物膜
酸化亜鉛膜
波長380nm
エピタキシャル成長
250
2000年 5月号人工ダイヤ常温で紫外線発光東京ガス日経産業新聞
(2000年3月3日PP.5)
毎日新聞
(2000年3月27日)
紫外線
人工ダイヤモンド
波長235nm
常温で発光
LNG
250
2000年 4月号新半導体製造法
-垂直構造で高集積-
米ルーセントテクノロジー日経産業新聞
(2000年2月25日PP.5)
トランジスタ
半導体
ゲート長50nm
垂直構造
220
160
2000年 3月号世界最高速のHEMT郵政省
富士通
阪大
日経産業新聞
(2000年1月21日PP.5)
HEMT
362GHz
電子走行層10nm
InGaAs
電子供給層
InAlAs
ミリ波
220
2000年 3月号量子ホール効果を確認
-新形素子開発に道-
NTT
東北大
日経産業新聞
(2000年1月14日PP.5)
量子ホール効果
量子コンピュータ
GaAs
AlGaAs
3nm厚
120
210
660
220
2000年 2月号半導体で最短の発光波長理化学研日刊工業新聞
(1999年12月14日PP.6)
日本工業新聞
(1999年12月16日PP.18)
量子井戸構造
AlN
AlGaN
波長230nm
紫外波長域
波長234nm
250
2000年 1月号シリコン基板上に情報書込み
-1平方インチに1兆ビット-
早大日経産業新聞
(1999年11月8日PP.5)
10Gb/in2
Si基板
酸化膜
ウエットエッチング
直径10nmの穴
160
230
2000年 1月号3次元電子顕微鏡
-ナノ構造を立体で観察-
理化学研
日本原子力研
名大
工学院大
日立
日刊工業新聞
(1999年11月3日PP.5)
日経産業新聞
(1999年11月4日PP.4)
分解能0.2nm
3次元画像
3次元顕微鏡
画像処理
エネルギー分析
360
320
520
2001年 1月号SiCパワー素子松下電器電波新聞
(2000年11月22日PP.1)
SiCパワー素子
DACFET
ナノ制御δドープ層状構造
113cm2/Vs
220
2001年 1月号単層カーボンナノチューブ
-直径0.4nm作製-
名城大
NEC
科学技術振興事業団
日刊工業新聞
(2000年11月2日PP.6)
日経産業新聞
(2000年11月2日PP.9)
カーボンナノチューブ
水素ガス中で放電
直径0.4〜10nm
多層構造
120
160
1999年12月号光CT装置島津製作所
浜松ホトニクス機械技術研北大
日刊工業新聞
(1999年10月5日PP.6)
近赤外光
200ns間隔の100ps光パルス
770nm・800nm・830nmの3波長
320
210
360
1999年12月号スピントランジスタ
-基本動作確認-
日立日経産業新聞
(1999年10月7日PP.5)
電子スピン
カーボンナノチューブ
220
1999年12月号微粒子1個に1ビット記録-配列パターンに垂直磁化-日立
東北大
日刊工業新聞
(1999年10月13日PP.7)
垂直磁化
円柱状磁性微粒子
パターンドメディア
MFM
30Gb/inch2
80nmφ44nmHの円柱状微粒子
150nmピッチ
130
230
160
1999年12月号感触センサ阪大
産業科学研
イナバゴム
日経産業新聞
(1999年10月26日PP.5)
ナノコンポジット
感圧センサ
シリコンゴム
球状炭素
セラミックス微粒子
210
1999年11月号青紫色面発光形半導体レーザ
-室温発振に成功-
東大日刊工業新聞
(1999年9月17日PP.8)
日経産業新聞
(1999年9月17日PP.4)
窒化ガリウム
インジウム
発振波長399nm
サファイア基板
多重量子井戸構造
青紫色面発光レーザ
室温発振
250
1999年11月号Si接合技術NEC
科学技術振興事業団
電波タイムズ
(1999年9月20日PP.2)
カーボンナノチューブ260
160
1999年11月号紫色半導体レーザ
-世界初の実用化-
日亜化学電波新聞
(1999年9月22日PP.2)
電波タイムズ
(1999年9月27日PP.7)
DVD
紫色半導体レーザ
波長405nm
出力5mW
250
1999年10月号ハイブリッド式成膜装置
-耐磨耗性を80倍に-
ナノテック日刊工業新聞
(1999年8月6日PP.7)
ダイヤモンド
磁気ディスク
DLC
130
160
1999年10月号10nmを切る半導体量子細線富士通研日刊工業新聞
(1999年8月25日PP.5)
ガスエッチング
有機金属気相成長
光通信帯で発光
InGaAs細線
250
160
1999年 9月号単一電子素子量産用製造技術東芝日本経済新聞
(1999年7月19日PP.19)
自己組織化
超微細加工
半導体基板
20〜30nmの凹凸
単一電子素子
製造技術
エッチング
160
220
260
120
1999年 8月号青紫色半導体レーザ
-消費電力1/10に-
東大日本経済新聞
(1999年6月7日PP.19)
青紫色半導体レーザ
量子箱
波長405nm
室温でパルス発振
250
1999年 8月号カーボンナノチューブ使用表示装置物資工学研日経産業新聞
(1999年6月13日PP.4)
カーボンナノチューブ
次世代平面ディスプレイ
3kV加圧で発光
100万A/cm2以上
250
1999年 8月号幅3nmの電線
-微小機械などに応用へ-
物質工学研日経産業新聞
(1999年6月15日PP.5)
誘電性繊維260
160
1999年 8月号世界最小のトランジスタ
-構造試作
動作を確認-
NEC日経産業新聞
(1999年6月17日PP.5)
ゲート電極長50nm
P-MOS
MOSトランジスタ
MOSFET
160
220
1999年 7月号青色半導体レーザ
-量子ドットで実現-
東大日刊工業新聞
(1999年5月21日PP.1)
InGaN
量子ドット
10層構造
室温発振
閾値電流
MOCVD
直径約20nm
高さ約4.5nm
波長405nm
色素レーザ励起
250
1999年 7月号DVD-RAM次世代機松下電器産業日本経済新聞
(1999年5月25日PP.13)
片面4.7GB
650nm
230
330
160
130
1999年 6月号記録用基礎技術「ナノマグネット」
-記録密度,磁気ディスクの100倍に-
米コーネル大日経産業新聞
(1999年4月7日PP.5)
ナノマグネット230
120
1999年 6月号青紫色半導体レーザ
-量産タイプの素子構造,連続発振-
NEC日刊工業新聞
(1999年4月6日PP.6)
青紫色半導体レーザ
室温連続発振
GaIn系
N形NGa基板
HVPE
低欠陥
裏面電極
へき開共振器
波長401.9nm
250
1999年 5月号0.1μmプロセス用絶縁材料
-2GHz動作のLSI実現-
富士通研電波新聞
(1999年3月30日PP.1)
2GHz動作
0.1μmプロセス用絶縁材料
ナノキャビティ技術
層間絶縁膜誘電率1.98
アリサイクリックモノマ
220
120
160
1999年 5月号世界最小MOSトランジスタ
-ゲート長8nm-
NEC日刊工業新聞
(1999年3月29日PP.1)
MOSトランジスタ
HET
10Tbメモリー
ホットエレクトロン効果
トランジスタ
ゲート長8nm
電子線レジスト
横形HEMT
220
160
1999年 4月号最高速のFRAM東芝日本経済新聞
(1999年2月16日PP.13)
読出し37nm
書込み80ns
230
1999年 4月号紫色半導体レーザ
-次世代DVD用光源-
松下電器産業電波新聞
(1999年2月4日PP.1)
日経産業新聞
(1999年2月4日PP.5)
日本経済新聞
(1999年2月4日PP.11)
日本工業新聞
(1999年2月4日PP.4)
次世代DVD
波長400nm
集光特性
連続発振
多重量子井戸構造
GaN
DVD
紫色半導体レーザ
半導体レーザ
記録用光源
230
250
1999年 4月号高精度不純物検定装置
-30nmの不純物も検出-
横河電機日経産業新聞
(1999年2月2日PP.5)
YAGレーザ
プラズマ
250
660
1999年 3月号紫色半導体レーザ出荷
-DVD記録容量
赤の2.6倍-
日亜化学工業日経産業新聞
(1999年1月12日PP.1)
400nm
50mW
紫色半導体レーザ
250
1999年 2月号赤色有機EL
-TPCが発光物質-
東洋インキ
電総研
日経産業新聞
(1998年12月18日PP.5)
有機EL素子
TPC濃度1.7%
赤色発光
波長650nm
100cd/m2
250
1999年 2月号1.2nm極薄酸化膜使用のMOS素子広島大日刊工業新聞
(1998年12月8日PP.6)
1.2nmシリコン酸化膜220
160
1999年 2月号シリコン酸化膜の微細構造解析
-歪み層が信頼性決定-
松下電子日経産業新聞
(1998年12月8日PP.5)
1nm歪み層
絶縁破壊
160
1999年 2月号書込み速度50倍のフラッシュメモリー松下電器産業
松下電子
ヘイロLSI社
日本経済新聞
(1998年12月7日PP.17)
電波新聞
(1998年12月7日PP.1)
ゲート間距離40nm
書込み200ns
書込み電圧5V
バリスティック型トランジスタ
高効率エレクトロン
220
230
1999年 1月号炭素の微小管を使った平面ディスプレイ技術米バファロー大日経産業新聞
(1998年11月18日PP.5)
カーボンナノチューブ
平面ディスプレイ
電子銃
150
1999年 1月号条件により光通す結晶
-紫外線レーザに道-
東芝日本経済新聞
(1998年11月16日PP.19)
セラミックス
電磁気誘起透明化
Y
Al酸化物セラミクス
プラセジオムイオン
190nm以下
紫外線域
半導体レーザ
150
1999年 1月号シリコンの発光素子東芝日刊工業新聞
(1998年11月4日PP.1)
LED
シリコン
ナノクリスタル
可視発光
Si発光
非晶質Si
250
1998年12月号面発光の青色レーザ
-世界発開発-
東大日経産業新聞
(1998年10月28日PP.4)
青色面発光レーザ
DVD
380nm
面発光レーザ
青色レーザ
有機金属気相成長法
窒化ガリウム
250
230
1998年11月号世界初の完全単一モード
-面発光半導体レーザ開発-
東工大電波新聞
(1998年9月13日PP.5)
日経産業新聞
(1998年9月21日PP.5)
単一モードレーザ
面発光レーザ
GaAs
傾斜基板
閾値260μA
波長985nm
出力0.7mW
単一波長
250
1998年11月号大容量FeRAM
-記憶容量大幅に拡大-
富士通日本経済新聞
(1998年9月8日PP.12)
FeRAM
50nmの絶縁体膜
BiOxとSTBの積層絶縁膜
230
1998年 9月号電子線(EB)露光用ネガレジスト
-7nmの最小パターン形成可能-
NEC日刊工業新聞
(1998年7月10日PP.4)
アルファメチルスチレン
EB用
160
1998年 8月号0.4V以下の超低電圧Si量子素子松下電器産業電波新聞
(1998年6月24日PP.1)
日刊工業新聞
(1998年6月24日PP.11)
日経産業新聞
(1998年6月24日PP.5)
トンネル障壁
酸化膜
負性特性
エサキダイオード
消費電力
Si量子素子
超低電圧駆動
多結晶Si
量子化機能素子
3nm以下の薄いSi酸化膜
負性抵抗素子
3素子でメモリー
220
120
1998年 8月号高記録密度光ディスク
-記録密度
DVDの15倍-
工技院融合研日本経済新聞
(1998年6月20日PP.11)
日経産業新聞
(1998年6月22日PP.5)
光ディスク
DVD
近接場光
アンチモン
アンチモン薄膜
大容量記録
160nm直径の光スポット
波長680nm
230
1998年 8月号ナノ結晶の原子レベル挙動
観察に成功
金属材料研日刊工業新聞
(1998年6月19日PP.4)
金属結晶
イオン照射
ナノ結晶
キセノン
電子顕微鏡
360
660
1998年 8月号「円偏光」型面発光レーザNTT日経産業新聞
(1998年6月9日PP.1)
円偏光
スピン光学
面発光レーザ
通信容量
超高速光通信
860nm
波長板
データ転送量2倍に
250
240
1998年 6月号DVD用半導体レーザNEC日経産業新聞
(1998年4月17日PP.5)
低消費電力
高温動作
5mW出力
波長650nm
共振器長を350μmに短縮
磁界電流70mA
最高動作温度100℃
250
330
1998年 6月号光使う“半導体”素材
-情報処理速度100〜1000倍に-
HOYA日経産業新聞
(1998年3月31日PP.1)
光の強さで屈折率変化
1kW/cm2で利用可
酸化チタンに直径数十nmの金粒子を分散蒸着
220
230
1998年 5月号高精度作業台システム
-位置決めnm精度で-
東工大日経産業新聞
(1998年3月17日PP.5)
アルミナ
静圧案内
160
1998年 4月号波長より小さな穴に光透過NEC北米研電波新聞
(1998年2月14日PP.2)
波長1370nmの赤外光
厚さ200nmの銀薄膜
穴の直径が波長の約1/10で光強度2倍
130
1998年 3月号巨大磁気抵抗効果
-最大で40倍に変化-
アトムテクノロジー研究体
(JRCAT)
日経産業新聞
(1998年1月26日PP.5)
巨大磁気効果
磁気抵抗
マンガン酸化物
ランタンストロンチウム酸化物
0.2nmで交互に積層
4.2K
4000気圧で
40倍/0.3T
GMRヘッド用材料
120
1998年 3月号ナノ構造の量子ドッドアトムテクノロジー研究体
(JRCAT)
日刊工業新聞
(1998年1月20日PP.9)
ゲルマニウム
10nm径
160
1998年 2月号世界最小のトランジスタ京大
富士通研
日経産業新聞
(1997年12月17日PP.5)
日本経済新聞
(1997年12月17日PP.11)
線幅40nm
クラスタイオン
ホウ素原子の10個の塊をイオン注入
トランジスタ
160
220
1998年 2月号界面の電子状態微細制御科技振興事業団日経産業新聞
(1997年12月8日PP.5)
100nm未満
SiAu
縞模様
160
120
1997年12月号半導体レーザ
-青紫色
実用化にメド-
日亜化学工業日経産業新聞
(1997年10月30日PP.1)
青紫色半導体レーザ
50℃で寿命1500時間
室温換算寿命10000時間以上
電流密度4kA/m2
波長403nm
片面15GBのDVD用
250
1997年12月号光導波路素子
-温度変化に強く-
NTT日経産業新聞
(1997年10月6日PP.5)
光導波路
アレイ導波路回折格子
Si樹脂性のプリズム
0〜80℃で0/05nmの変動
240
1997年12月号片面15GBのDVD
-記憶容量3倍に-
パイオニア日経産業新聞
(1997年10月6日PP.1)
15GB
波長430nm
430nmレーザ
ハイビジョンで2時間13分
片面15GB
430nmSHGレーザ
再生装置の試作
トラック幅0.37μm
3ビーム方式
330
230
250
1997年11月号耐候性に優れた青色,青緑色発光の蓄光体リード電波新聞
(1997年9月22日PP.11)
蓄光体
耐候性
460+490nm
150
1997年11月号超微細MOSトランジスタ
-模擬素子で正常動作-
NEC電波新聞
(1997年9月12日PP.1)
日経産業新聞
(1997年9月12日PP.5)
ゲート長14nm
EJ-MOSFET
2重ゲート構造
10Tbメモリーへ道
10Tb
MOS
220
1997年11月号全光スイッチ
-ナノ秒でオンオフ-
静岡大日刊工業新聞
(1997年9月5日PP.7)
光スイッチ
フォトクロミック色素
120
240
1997年10月号ナノメートルの領域で硬さ測定科学技術庁日経産業新聞
(1997年8月25日PP.5)
AFM
ダイヤモンド針
360
660
1997年 9月号厚さ最小のLSI用絶縁膜東芝日経産業新聞
(1997年7月18日PP.6)
LSI
絶縁膜
1.5nm
消費電力1/18
220
160
1997年 8月号15GBの高密度記録技術
-光ディスク記憶容量で世界最大-
松下電器産業電波新聞
(1997年6月10日PP.1)
日本経済新聞
(1997年6月10日PP.11)
日刊工業新聞
(1997年6月10日PP.10)
8mW
425nm青色レーザ
光ディスク
DVD
高密度記録
SHG
425nm
15mW
SHGレーザ
相変化ディスク
トラックピッチ0.33μm
マーク長0.42μm
片面15GB
230
250
1997年 7月号次世代大容量光ディスク
-DVD越す12GB実現-
ソニー電波新聞
(1997年5月21日PP.1)
日刊工業新聞
(1997年5月21日PP.8)
日本経済新聞
(1997年5月21日PP.13)
日経産業新聞
(1997年5月21日PP.9)
CDサイズに片面12GB
青緑色レーザ
515nm
20mW
CDサイズ
光ディスク
青緑色半導体レーザ
波長515nm
出力20mWの半導体レーザ
9.5Gb/in2
230
330
250
1997年 5月号半導体型光フィルタ
-温度変化の影響抑制-
NTT日経産業新聞
(1997年3月4日PP.5)
光フィルタ
波長多重通信
0.01nm/℃
InGaAsP
240
1997年 2月号電圧0.6Vで動作するロジックLSIシャープ日経産業新聞
(1996年12月12日PP.5)
LSI
MOS
FET
ロジックLSI
MOS型FET
低電圧動作
0.6V
3層構造チャンネル
ゲート膜厚2.8nm
0.6V動作
低漏波電流形状
低電圧
MOSFET
220
1997年 2月号電界の振動一定の面発光レーザATR
東工大
日経産業新聞
(1996年12月10日PP.5)
GaAs311A面
25μm角
1mAで発振
1500nm
電界方向一定
面発光レーザ
240
250
1997年 2月号青色発光有機EL材
-350℃でも安定-
ソニー日経産業新聞
(1996年12月2日PP.5)
有機EL
亜鉛錯体
耐熱350℃
発光波長460nmと550nm
20cd
フルカラー表示板を試作
青色発光有機EL
250
150
1997年 1月号赤外半導体レーザ
-出力1.5倍に-
三井石化日経産業新聞
(1996年11月25日PP.1)
860nm
300mW
寿命10000時間以上
250
1997年 1月号2nmのSi細線
-電子線露光で作製-
NTT日経産業新聞
(1996年11月5日PP.6)
幅2nm
エッチング
電子線露光
Si細線
単一電子トランジスタ
120
260
160
1996年12月号窒化膜で原子層マスク
-STM使いナノ構造-
NTT日刊工業新聞
(1996年10月22日PP.6)
微細加工
窒化膜原子層マスク
STM
MOCVD
窒化保護膜
低電流加工可能
量子効果素子
160
120
1996年12月号原子層マスク技術
-ナノ構造を形成-
工技院アトムテクノロジー研日刊工業新聞
(1996年10月9日PP.6)
1層原子層マスク160
1996年11月号面発光レーザ
-連続発振に成功-
名工大日経産業新聞
(1996年9月3日PP.5)
OEIC
844nm
250
1996年10月号幅20μm 深さ600nmの量子細線松下電器産業日刊工業新聞
(1996年8月15日PP.7)
レーザ加工
GaAs基板
量子細線
20μm
600nm厚
160
140
240
1996年 5月号電子線露光用レジスト
-フラーレンを利用-
アトムテクノロジ-研究体日刊工業新聞
(1996年3月12日PP.5)
電子線用レジスト
フラーレン
感度0.01クーロン/cm2
10nmオーダの加工
160
1996年 4月号青緑色半導体レーザ
-室温発振100時間突破-
ソニー電波新聞
(1996年2月1日PP.1)
日経産業新聞
(1996年2月1日PP.5)
日刊工業新聞
(1996年2月1日PP.6)
波長515nm
1mW
青緑色半導体レーザ
室温連続発振101.5時間
250
1996年 3月号量子細線形成技術
-厚さ幅とも10nm 均一に形成-
NTT日経産業新聞
(1996年1月19日PP.5)
日刊工業新聞
(1996年1月19日PP.5)
量子細線
光吸収ピーク観測
製造加工技術
120
160
1996年 2月号青紫色半導体レーザ日亜化学工業電波新聞
(1995年12月13日PP.1)
日経産業新聞
(1995年12月13日PP.10)
日刊工業新聞
(1995年12月13日PP.9)
日本経済新聞
(1995年12月13日PP.11)
半導体レーザ
波長410nm
DVD
GaN
室温
パルス発振
高密度記録
250
1996年 1月号光磁気ディスクに直径0.2μmの記録領域豊田工大
IBM
日経産業新聞
(1995年11月1日PP.5)
光磁気ディスク
10GB/cm
記録波長830nm
230
1995年12月号書換え可能光ディスクレコーダ
-両面で10.4GB記録-
NEC日経産業新聞
(1995年10月18日PP.12)
日刊工業新聞
(1995年10月18日PP.9)
電波新聞
(1995年10月18日PP.1)
光ディスク
両面で10.4GB
記録波長680nm
相変化
両面で10.4GB
12cmディスク
230
330
1995年11月号純緑色LED日亜化学工業電波新聞
(1995年9月19日PP.2)
日経産業新聞
(1995年9月19日PP.1)
LED
波長525nm
20mA
6cd
緑発光
250
1995年10月号波長可変の半導体レーザNEC日刊工業新聞
(1995年8月4日PP.7)
半導体レーザ
MOCVD法
1.55μm帯
可変幅±3.8nm
連続波長可変
250
240
1995年 9月号世界初の量子ドットレーザ富士通研日刊工業新聞
(1995年7月25日PP.1)
量子ドットレーザ
正孔とじこめ発光
InGaAs
閾値1.1A
λ911nm/温度80K
パルス発振
超低消費電力
250
150
1995年 9月号全固体SHGレーザ日立製作所金属日経産業新聞
(1995年7月6日PP.11)
電波新聞
(1995年7月6日PP.6)
日刊工業新聞
(1995年7月6日PP.16)
青色レーザ
SHGレーザ
波長430nm
250
1995年 8月号分解能15倍の光学顕微鏡NTT日経産業新聞
(1995年6月14日PP.5)
日刊工業新聞
(1995年6月14日PP.7)
光学顕微鏡
分解能20nm
360
1995年 8月号ギガヘルツ対応0.07μmCMOSNEC電波新聞
(1995年6月6日PP.7)
日刊工業新聞
(1995年6月6日PP.9)
日経産業新聞
(1995年6月6日PP.5)
ゲート長0.07μm
低電源電圧1.5V
3.5nm接合
CMOS
遅延時間19.7ps
DRAM
16Gbps
220
520
160
1995年 7月号高安定光合分波器東芝日刊工業新聞
(1995年5月9日PP.4)
波長1nm間隔で8ch
波長多重伝送
光ファイバ増幅器
WDM(波長多重伝送)
リトロー型
240
1995年 3月号680nmの2ビーム赤色半導体レーザ松下電器産業電波新聞
(1995年1月6日PP.1)
2ビーム半導体レーザ250
1995年 2月号世界最高速の省電力MOSトランジスタ東芝朝日新聞
(1994年12月9日PP.13)
電波新聞
(1994年12月9日PP.2)
日経産業新聞
(1994年12月9日PP.5)
MOSトランジスタ
膜厚1.5nm
1.5V動作
1〜4GbDRAM
ゲート長0.09μm
省電力
220
1994年11月号POFで2.5Gbps伝送成功NEC日経産業新聞
(1994年9月27日PP.5)
日刊工業新聞
(1994年9月27日PP.7)
POF(高性能プラスチック光ファイバ)
650nm
100m伝送
440
240
1994年11月号走査型電子線露光
-初の5nmパターン形成-
NEC日刊工業新聞
(1994年9月13日PP.7)
無機レジスト法
量子効果素子
イオンビームスパッタ法
120
160
1994年11月号POF向け半導体レーザ
-可視光で世界最高速-
NEC日経産業新聞
(1994年9月7日PP.1)
POF用レーザダイオード
可視光
波長50nm
光通信レーザ
波長の短い可視光で世界最速2.5Gbps
250
1994年11月号超高密度記録の光ディスク
-相変化光ディスク1Tb/cm2-
松下電器産業電波新聞
(1994年9月17日PP.1)
日刊工業新聞
(1994年9月17日PP.5)
相変化光ディスク
1Tb/cm2
3.5インチ
1800時間
AFM利用
原子間顕微鏡
探針記録方式(AFM)方式
ビット径10nm
230
360
1994年11月号光ディスクで高画質動画再生三洋電機電波新聞
(1994年9月2日PP.1)
日経産業新聞
(1994年9月2日PP.8)
MOディスク
12cm
2.5GB
135分
4倍密度
光ディスク動画記録
635nmの半導体レーザ
230
530
1994年10月号10nm幅のSi細線
- -173℃で量子効果-
NTT日経産業新聞
(1994年8月26日PP.5)
Si細線
量子効果
極細構造
160
220
1994年 9月号半導体ナノ細線製造技術
-超高速素子に道-
日立製作所日経産業新聞
(1994年7月12日PP.5)
半導体細線製造加工
量子効果
太さ十数nm
超極細線半導体細線
超高速素子
半導体製造技術
160
1994年 8月号レーザ干渉計利用の小型装置
-0.4nmの高分解能-
ニコン日経産業新聞
(1994年6月22日PP.3)
レーザ干渉計360
1994年 8月号T型トランジスタ-ゲート電極,長さ70nmに-NEC日経産業新聞
(1994年6月21日PP.4)
ゲート電極
長さ70nm
増幅率ほぼ2倍
高効率
FET
ゲート長70nm
電界効果型トランジスタ
220
1994年 7月号高輝度青緑色LED東芝日経産業新聞
(1994年5月25日PP.5)
青緑色LED
2cd
波長500nm
セレン化亜鉛
250
1994年 7月号量子箱構造を自然形成NTT日経産業新聞
(1994年5月12日PP.5)
量子箱
半導体レーザ
直径50〜200nm
160
250
1994年 6月号SHG方式ブルーレーザの小型モジュールを試作松下電器産業電波新聞
(1994年4月1日PP.1)
ブルーレーザ(SHG方式)
初の小型化(8cc)
429nm
2mW
250
1994年 5月号高密度記録磁気材料CoCr薄膜NTT原子研日刊工業新聞
(1994年3月23日PP.11)
日本工業新聞
(1994年3月23日PP.6)
朝日新聞
(1994年3月23日PP.12)
磁気記録材料
CoCr微細磁気構造
超微細磁気構造
8nm
10Gb/cm2
130
1994年 5月号大容量光VDレコーダNEC電波新聞
(1994年3月23日PP.1)
日経産業新聞
(1994年3月23日PP.5)
VDレコーダ
300mm
23GB
λ:680nm
時間:32分/5時間
230
330
1994年 5月号高密度分子メモリー
-1枚でCD100万枚分-
京大日刊工業新聞
(1994年3月15日PP.4)
分子メモリー
1nmの有機分子
STM利用
メモリー
超高密度メモリー
1nm2/b
130
230
1994年 5月号青色半導体レーザ
-室温で連続発振-
ソニー日刊工業新聞
(1994年3月29日PP.1)
青色半導体レーザ
23℃
λ:189.9nm
半導体レーザ
青色室温連続発振
250
1994年 3月号フラーレン単結晶薄膜化三菱電機日経産業新聞
(1994年1月12日PP.1)
炭素物質フラーレン
ICB法
マイカ基板
フラーレン(C60)
1cm2
膜厚15nm
半導体材料
t=15nm
120
1994年 3月号新走査型顕微鏡電総研日本経済新聞
(1994年1月8日PP.12)
走査型マクスウェル顕微鏡(SMM)
nmレベル
360
1994年 1月号明るさ100倍の青色LED日亜化学工業日経産業新聞
(1993年11月30日PP.1)
青色LED
1000mcd
20mA
3.6V
450nm
窒化ガリウム
250
1994年 1月号赤色半導体レーザダイオード633n帯で5mW日立製作所日刊工業新聞
(1993年11月25日PP.9)
赤色半導体レーザダイオード
発振波長633nm帯
光出力5mW
250
1993年12月号10nm測定エバネッセント場顕微鏡阪大日刊工業新聞
(1993年10月14日PP.5)
エバネッセント場顕微鏡360
1993年11月号磁化分布直接観察電子顕微鏡
-20nmの磁化分布直接観察-
日立製作所日刊工業新聞
(1993年9月21日PP.6)
スピンSEM
分解能20nm
磁気記録媒体の評価
電子顕微鏡
360
1993年11月号緑色波長用光磁気記録媒体
-MOの記録容量10倍に-
新日鉄
NHK
日刊工業新聞
(1993年9月7日PP.10)
電波新聞
(1993年9月7日PP.3)
ビスマス置換
ガーネット
波長500nm
5インチ
3GB
MOディスク
230
130
1993年 9月号青緑色半導体レーザ
-波長532nmの室温連続発振-
ソニー電波新聞
(1993年7月9日PP.1)
日経産業新聞
(1993年7月9日PP.5)
日刊工業新聞
(1993年7月9日PP.7)
青緑色半導体レーザ
波長523nm
室温連続発振
高密度記録
250
1993年 7月号超音波力顕微鏡工技院機械技研日経産業新聞
(1993年5月19日PP.5)
超音波力顕微鏡
原子レベル観察
顕微鏡
超音波振動子
解像力5nm
360
1993年 6月号真空マイクロ素子
-先端の鋭さ世界最高のエミッタアレイ-
東芝日刊工業新聞
(1993年4月22日PP.7)
真空マイクロ素子
先端曲率10nm
260
1993年 5月号超微粒子を密閉NTT
三重大
日経産業新聞
(1993年3月31日PP.5)
日刊工業新聞
(1993年3月31日PP.13)
フラーレン
30nmの炭素結晶
160
1993年 5月号記録容量4倍のCD-ROMNEC日刊工業新聞
(1993年3月8日PP.1)
CD-ROM
光ディスク
λ=363.8nm
記録容量2MB
230
1993年 3月号超高密度記録技術
-新聞100年分を1円玉サイズに記録-
日立製作所電波新聞
(1993年1月8日PP.2)
日刊工業新聞
(1993年1月8日PP.9)
原子レベル記録密度
20nmドット
高密度記録
原子間力顕微鏡
Si基板金1Tb/inch
130
660
630
1993年 2月号第3の半導体光源誕生NTT日刊工業新聞
(1992年12月4日PP.7)
日経産業新聞
(1992年12月4日PP.5)
日本工業新聞
(1992年12月4日PP.5)
日本経済新聞
(1992年12月4日PP.13)
電波新聞
(1992年12月4日PP.3)
半導体レーザ
10μA
800nm帯
極小電流発振
新発光素子
自然放出光
光コンピュータ
250
150
1992年12月号発振波長635nmの赤色半導体レーザ東芝電波新聞
(1992年10月6日PP.2)
半導体レーザ250
1992年12月号2ビーム・レーザソニー日経産業新聞
(1992年10月21日PP.5)
量子井戸構造
波長780nm
間隔100μm
出力50mW
250
1992年11月号103nmの広波長可変レーザNTT電波新聞
(1992年9月22日PP.6)
日本工業新聞
(1992年9月22日PP.5)
波長可変半導体レーザ
可変域103nm
1.5μm
250
1992年11月号新方式光交換システム
-光信号のまま伝送先切換え-
東大朝日新聞(夕刊)ほか
(1992年9月11日PP.7)
光交換
780/840nm切換え
1/1000シャッタ
液晶シャッタ
240
1992年11月号超高密度記録・消去STMメモリー
-室温大気中で10nmレベル-
NEC電波新聞
(1992年9月9日PP.1)
日経産業新聞
(1992年9月9日PP.5)
日刊工業新聞
(1992年9月9日PP.9)
記録波長10nm
超高密度記録再生
トンネル顕微鏡(STM)
1インチ四方に1兆ビット
書換え可能STMメモリー
ピット径10nm
CDROMの3000倍
230
330
1992年10月号発光層幅30nm以下の量子細線レーザ構造NTT日刊工業新聞
(1992年8月20日PP.6)
30nmの発光層幅250
1992年10月号超微細加工技術
-アルミ化合物を原子単位で積層-
NTT日経産業新聞
(1992年8月11日PP.4)
超微細加工技術
厚さ1.96nm
ALE法
160
1992年10月号室温で連続発振可能な橙色半導体レーザ-
-世界初発振波長615nm-
三洋電機電波新聞
(1992年8月6日PP.1)
レーザダイオード250
1992年 9月号青色半導体レーザ
-ダブルヘテロ構造-
ソニー読売新聞
(1992年7月22日PP.1)
電波新聞
(1992年7月24日PP.6)
青色レーザ
青色半導体レーザ
440nm発振
音声3時間半/12cmCD
CD情報量従来の3倍
250
330
1992年 8月号ナノメートル級の金細線製法開発アドバンテスト日本経済新聞
(1992年6月20日PP.11)
加工技術
直径50nm
160
1992年 6月号633nmの半導体レーザ上智大日刊工業新聞
(1992年4月24日PP.7)
ガスレーザの代替で小型化可能250
1992年 4月号高密度光ディスク記録技術
-記録密度2倍-
東芝電波新聞
(1992年2月8日PP.1)
日刊工業新聞
(1992年2月8日PP.4)
日本工業新聞
(1992年2月10日PP.15)
赤色半導体レーザ
光ディスク
690nmレーザ
230
250
1992年 4月号出力35mWを実現した赤色半導体レーザ
-光ディスク用に開発-
松下電器産業日経産業新聞
(1992年2月5日PP.5)
赤色半導体レーザ
35mW
680nmレーザ
250
1992年 3月号高性能光アイソレータ新技術事業団
並木精密
電波新聞
(1992年1月23日PP.2)
日経産業新聞
(1992年1月23日PP.5)
日刊工業新聞
(1992年1月23日PP.6)
800nm
1/1000の大きさに
220
1992年 1月号世界最小のグリーンレーザ
-従来比1/70-
三菱電機電波新聞
(1991年11月27日PP.1)
日経産業新聞
(1991年11月27日PP.5)
日刊工業新聞
(1991年11月27日PP.9)
レーザ素子
半導体レーザ
グリーンレーザ
ハイビジョン録画
録画時間3倍
外寸10mm×17.5mm
532nm
4mW
集光レンズなし
250
1992年 1月号走査電子顕微鏡
-0.6nmの超高分解能-
日立製作所電波新聞
(1991年11月13日PP.2)
電子顕微鏡660
1992年 1月号新原理でレーザ発振東大日刊工業新聞
(1991年11月5日PP.1)
レーザ素子
400〜650nm
250
1991年11月号DFBレーザ
-外部変調器なしで100km光伝送可能-
東芝日刊工業新聞
(1991年9月25日PP.7)
日経産業新聞
(1991年9月23日PP.1)
10Gbps
量子井戸
光のゆらぎ0.4nm
250
440
1991年11月号極薄絶縁膜形成技術沖電気日経産業新聞
(1991年9月5日PP.5)
酸窒化シリコン膜,厚さ5nm
256M〜1GbDRAM用
260
1991年 7月号緑レーザ書き替え型光磁気ディスク日立製作所日刊工業新聞
(1991年5月29日PP.1)
SHG素子
2層膜媒体
書き替え可能
5インチMOディスク
出力15mW
波長530nm
記録媒体を2層膜にして記録密度3倍に
330
1991年 7月号紫外線光学顕微鏡オリンパス日経産業新聞
(1991年5月21日PP.5)
紫外線
500nm識別
310
1991年 7月号有機SHGで青色レーザ
-PMMAに色素加え-
慶大日刊工業新聞
(1991年5月14日PP.5)
薄膜導波路型SHG(第2高調波)素子
406nm
レーザ光波長を半分にする変換効率は約1%
10W出力
第2高調波で変換効率1%
250
1991年 7月号高出力赤色半導体レーザ三洋電機電波新聞
(1991年5月13日PP.1)
赤色レーザ
半導体レーザ
635nm
33mW
He-Neレーザ置替え
250
1991年 7月号親指大のグリーンレーザ
-低雑音特性を達成-
松下電子日刊工業新聞
(1991年5月9日PP.9)
電波新聞
(1991年5月9日PP.1)
グリーンレーザ
半導体レーザ
1060nmのレーザ光を非線型光学結晶で波長変換して532nmの波長
親指サイズ(16φ×20mm)
532nm/3mW/-135dB/Hz
250
1991年 6月号波長幅4nmで可変のレーザ日立製作所日経産業新聞
(1991年4月10日PP.5)
多重量子井戸構造分布レーザ
1548〜1552nmと4nm可変
出力20mW
可変幅
従来の2倍
出力20mn
コヒーレント光通信に応用可
250
1991年 5月号青緑色レーザ発振に成功京大日刊工業新聞
(1991年3月15日PP.7)
半導体レーザ
-族青緑色で初
540nm(17℃)→490nm
MQW11層と井戸層の薄膜化
250
1991年 4月号光磁気ディスクの記録6倍にソニー電波新聞
(1991年2月22日PP.0)
日刊工業新聞
(1991年2月22日PP.0)
朝日新聞
(1991年2月22日PP.0)
日経産業新聞
(1991年2月22日PP.0)
再生時にレーザスポットの中の高温部のみ読出す新技術
超高解像度光信号録再技術スポット径を等価的に縮小
現行半導体レーザ(λ7404nm)で記録波長370nm(1/2)の再生可能
光磁気ディスク
超解像
超解像光信号記録再生
アイソスター
230
1991年 3月号パルスを22フェムト秒に圧縮レーザ電総研
住友電工
日刊工業新聞
(1991年2月6日PP.0)
DAN(ジメチルアセトアミドニトロベンゼン)と呼ぶ誘導体を用いたファイバ627nmのレーザ光を利用240
250
1991年 3月号微弱電力でレーザ発生日電日経産業新聞
(1991年1月29日PP.0)
低消費電力
無しきい値レーザ
0.6ナノジュール560nm
250
1991年 3月号青色LED最高の光度達成新技術事業団
豊田合成
日経産業新聞
(1991年1月24日PP.0)
日刊工業新聞
日経産業新聞(産業一語)
(1991年1月24日PP.0)
480nm
10mA
30〜70cd
寿命2000hr以上
250
1991年 3月号世界最高輝度のLED東芝日経産業新聞
(1991年1月18日PP.0)
橙色
6cd
620nm
20mA
レンズ10nmφ
250
1991年 3月号固体表面から原子1個ずつはぎ取る日立製作所日経産業新聞
(1991年1月15日PP.0)
電波新聞
(1991年1月15日PP.0)
屋温
走査型トンネル顕微鏡
一文字2nm口
130
430
1991年 2月号2000時間の長寿命レーザ素子シャープ電波新聞
(1990年12月20日PP.0)
日刊工業新聞
(1990年12月20日PP.0)
830nm
150mW
50℃
2000時間寿命
240
1991年 1月号幅1nmの溝刻む日本電子日経産業新聞
(1990年11月22日PP.0)
STM360
1991年 1月号64Mb級DRAMの10nm厚極薄窒化Si膜形成技術沖電気電波新聞
(1990年11月16日PP.0)
急速加熱法で極薄膜のSiN
純酸素を亜酸化窒素に置き換え
260
1990年12月号40msの高分子液晶光記録材料東工大日刊工業新聞
(1990年11月5日PP.0)
高分子では高速応答(画素数は100ms)
ファニルベンゾユート(対応液晶)とアゾベンゼル(光応答分子)のモノマーをランカル重複したもの
フィルム塗布
633nmで書き込み
367nmで読み出しレゾ2μm保存1年以上
書き込み可能
130
1990年12月号分子大の文字を描くNTT日経産業新聞
(1990年10月25日PP.0)
Si基板にGeSe化合物
AgSe化合物をつけたフィルム材料
走査型トンネル電子顕微鏡の探針で原子をとばして溝を掘った
溝幅13nm
文字サイズ:40×70nm
160
1990年11月号高密度半導体レーザ連続発振に成功日経産業新聞
(1990年9月28日PP.0)
電波新聞
(1990年9月28日PP.0)
日刊工業新聞
(1990年9月28日PP.0)
4.5μm間隔で集積102個
閾電流1.8
ΔI=0.017mA
8.5mW/個
840nm
250
1990年10月号世界で最短波長三洋電機日経産業新聞
(1990年9月6日PP.0)
631nm
35℃で発振2mW出力
250
1990年10月号単純な新容量セル日電日刊工業新聞
(1990年8月24日PP.0)
80nm直径の半球状結晶つぶPoly-Si
容量2倍
130
1990年10月号輝度3カンデラの橙色LED東芝電波新聞
(1990年8月23日PP.0)
日経産業新聞
(1990年8月23日PP.0)
日刊工業新聞
(1990年8月23日PP.0)
620nm
発光効率1.5%
250
1990年 9月号世界最短波長632.7nm日電日経産業新聞
(1990年7月25日PP.0)
250
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