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マイクロマシン 関係の注目記事
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掲載
予定
題 目発表社情報源キーポイント 分類
番号
2002年10月号光スイッチ大きさ1/10住友電工日経産業新聞
(2002年7月11日PP.1)
マイクロマシン技術
親指爪程度
従来価格の1/4
約10mm角で4mmの歯が16本
切替時間1.3μs
240
260
440
2001年12月号多層実装基板加工技術
-超精密・3次元加工を実現-
東成エレクトロビーム日刊工業新聞
(2001年9月18日PP.7)
Siウェハ
実装用多層構造基板
マイクロマシン
マイクロ光センサへの応用
260
2001年 3月号カーボンナノコイル作成
-ディスプレイなどへ応用-
大阪府立大
豊橋技科大
日経産業新聞
(2001年1月23日PP.10)
カーボンナノコイル
太さ数十nm
カーボンナノチューブ
有機分子の高温ガス
反応温度650〜800℃
直径数10nm
マイクロマシン用ばね
150
120
260
2000年 3月号LSI 3次元集積化技術東北大日刊工業新聞
(2000年1月19日PP.7)
3次元LSI
3次元集積化技術
マイクロマシン
3次元イメージセンサ
210
160
1999年 8月号世界初の微細立体配線技術
-レーザ2種を基板に同時照射-
三洋電機日経産業新聞
(1999年6月3日PP.5)
エキシマレーザ
微細配線技術
マイクロマシン用
可視光レーザ
二波長励起レーザ
CVD
160
260
1999年 3月号マイクロマシン技術応用の超小形リレーオムロン日経産業新聞
(1999年1月20日PP.5)
マイクロマシン260
1999年 3月号マイクロマシン技術による磁気ヘッド制御システム情報ストレージ研究推進機構(SRC)日本工業新聞
(1999年1月14日PP.18)
静電マイクロアクチュエータ
情報記録装置
トラッキング制御
20Gb/in2
260
230
1998年12月号レーザ走査素子
-超小型
消費電力は1/100-
日本信号日経産業新聞
(1998年10月20日PP.1)
光デバイス
マイクロマシン
レーザ光走査
バーコードリーダ
マイクロマシン技術
210
260
230
1997年 8月号超小型駆動装置
-半導体熱膨張で大きな力-
オムロン日経産業新聞
(1997年6月5日PP.5)
マイクロマシン
アクチュエータ
260
250
1996年 3月号2本指マイクロハンド工技院機械技研電波新聞
(1996年1月3日PP.7)
マイクロマシン
2本指
260
1995年 7月号静電気駆動マイクロアクチュエータ名大
日立製作所
日刊工業新聞
(1995年5月18日PP.8)
マイクロマシン
マイクロアクチュエータ
260
160
1995年 2月号圧電素子の振動利用したアクチュエータミノルタ日経産業新聞
(1994年12月20日PP.5)
圧電リニアアクチュエータ
マイクロマシン
260
250
1995年 1月号直径1mmの発電機三菱電機日本経済新聞
(1994年11月21日PP.19)
マイクロマシン
発電機
直径1mm
260
350
1995年 1月号超小型の回転角速度センサ村田製作所日本経済新聞
(1994年11月12日PP.13)
回転角速度センサ
マイクロマシン
210
260
1994年11月号ワイヤレスで給電技術テルモ日本工業新聞
(1994年9月8日PP.1)
光伝送
マイクロマシン
電源供給
260
340
1994年10月号大量の液晶含ませる高分子材料
-1sec以下で形状変化-
工技院物質工研日経産業新聞
(1994年8月30日PP.5)
マイクロマシン260
1994年10月号直径5mmの電磁モータ富士電機日経産業新聞
(1994年8月16日PP.1)
電波新聞
(1994年8月19日PP.10)
モータ
マイクロマシン
トルク3.5μNm
260
250
1994年 8月号光電変換方式でエネルギー供給三洋電機日経産業新聞
(1994年6月30日PP.1)
マイクロマシン
光電変換デバイス
250
260
1994年 8月号誤差実用範囲に小型のエンコーダ東芝日経産業新聞
(1994年6月21日PP.4)
マイクロマシン
光ファイバエンコーダ
コーダ
250
260
1994年 4月号超小型継電器NTT日経産業新聞
(1994年2月18日PP.1)
超小型リレー
レーザ動作
10ms
光で切替え
Si基板に集積
マイクロマシン
幅200μm
長さ1.5m厚さ10μm
260
240
1994年 3月号小型静電マイクロモータ松下技研日経産業新聞
(1994年1月21日PP.5)
日刊工業新聞
(1994年1月21日PP.9)
電波新聞
(1994年1月21日PP.1)
モータ
マイクロマシン
直径1.4mm
長さ10mm
マイクロモータ
100rpm
静電モータ
260
250
1994年 1月号微小駆動機構東大日経産業新聞
(1993年11月24日PP.5)
マイクロマシン
アクチュエータ
260
1994年 1月号マイクロアクチュエータ工業技術院大阪工業技研日刊工業新聞
(1993年11月10日PP.5)
マイクロマシン
アクチュエータ
260
1993年 5月号マイクロマシン
-22団体が連合組織成立-
国内22団体電波新聞
(1993年3月23日PP.1)
マイクロマシン160
1993年 5月号光ファイバと光素子の接続用マイクロマシンNTT日経産業新聞
(1993年3月19日PP.5)
240
1993年 4月号世界最小の歯車東芝電波新聞
(1993年2月9日PP.2)
日経産業新聞
(1993年2月9日PP.5)
日刊工業新聞
(1993年2月9日PP.12)
日本工業新聞
(1993年2月9日PP.13)
マイクロマシン
マイクロギア
放電加工
タングステンワイヤ
歯車
直径0.3mm
世界最小
160
360
1993年 1月号直径30μmのバルブNTT日経産業新聞
(1992年11月30日PP.5)
マイクロマシン160
660
1992年 5月号マイクロマシン駆動機構豊田工大日経産業新聞
(1992年3月23日PP.5)
マイクロマシン
イオン流
650
1992年 1月号マイクロマシンセンター発足通産省電波新聞
(1991年11月18日PP.1)
マイクロマシン260
1992年 1月号超小型モータ
-外形3mm長さ5mm-
東芝電波新聞
(1991年11月6日PP.1)
日刊工業新聞
(1991年11月6日PP.9)
3mmφ×5mm
マイクロマシン
260
600
1991年 4月号米粒大の光・電気変換装置
-微小機械の動力源に-
東北学院大日経産業新聞
(1991年2月5日PP.0)
日刊工業新聞
(1991年2月5日PP.0)
マイクロマシンの駆動力公電変換
フォトセル
多尺
薄膜トランス電極をSi基板上に一体形成
3.0mm×1.4mmの大きさ830mm
130mW光で510mV(1kl)の出力
変換効率5〜10%
310
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