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掲載 予定 | 題 目 | 発表社 | 情報源 | キーポイント | 分類 番号 |
2002年10月号 | 光スイッチ大きさ1/10 | 住友電工 | 日経産業新聞 (2002年7月11日PP.1) | マイクロマシン技術 親指爪程度 従来価格の1/4 約10mm角で4mmの歯が16本 切替時間1.3μs | 240 260 440 |
2001年12月号 | 多層実装基板加工技術 -超精密・3次元加工を実現- | 東成エレクトロビーム | 日刊工業新聞 (2001年9月18日PP.7) | Siウェハ 実装用多層構造基板 マイクロマシン マイクロ光センサへの応用 | 260 |
2001年 3月号 | カーボンナノコイル作成 -ディスプレイなどへ応用- | 大阪府立大 豊橋技科大 | 日経産業新聞 (2001年1月23日PP.10) | カーボンナノコイル 太さ数十nm カーボンナノチューブ 有機分子の高温ガス 反応温度650〜800℃ 直径数10nm マイクロマシン用ばね | 150 120 260 |
2000年 3月号 | LSI 3次元集積化技術 | 東北大 | 日刊工業新聞 (2000年1月19日PP.7) | 3次元LSI 3次元集積化技術 マイクロマシン 3次元イメージセンサ | 210 160 |
1999年 8月号 | 世界初の微細立体配線技術 -レーザ2種を基板に同時照射- | 三洋電機 | 日経産業新聞 (1999年6月3日PP.5) | エキシマレーザ 微細配線技術 マイクロマシン用 可視光レーザ 二波長励起レーザ CVD | 160 260 |
1999年 3月号 | マイクロマシン技術応用の超小形リレー | オムロン | 日経産業新聞 (1999年1月20日PP.5) | マイクロマシン | 260 |
1999年 3月号 | マイクロマシン技術による磁気ヘッド制御システム | 情報ストレージ研究推進機構(SRC) | 日本工業新聞 (1999年1月14日PP.18) | 静電マイクロアクチュエータ 情報記録装置 トラッキング制御 20Gb/in2 | 260 230 |
1998年12月号 | レーザ走査素子 -超小型 消費電力は1/100- | 日本信号 | 日経産業新聞 (1998年10月20日PP.1) | 光デバイス マイクロマシン レーザ光走査 バーコードリーダ マイクロマシン技術 | 210 260 230 |
1997年 8月号 | 超小型駆動装置 -半導体熱膨張で大きな力- | オムロン | 日経産業新聞 (1997年6月5日PP.5) | マイクロマシン アクチュエータ | 260 250 |
1996年 3月号 | 2本指マイクロハンド | 工技院機械技研 | 電波新聞 (1996年1月3日PP.7) | マイクロマシン 2本指 | 260 |
1995年 7月号 | 静電気駆動マイクロアクチュエータ | 名大 日立製作所 | 日刊工業新聞 (1995年5月18日PP.8) | マイクロマシン マイクロアクチュエータ | 260 160 |
1995年 2月号 | 圧電素子の振動利用したアクチュエータ | ミノルタ | 日経産業新聞 (1994年12月20日PP.5) | 圧電リニアアクチュエータ マイクロマシン | 260 250 |
1995年 1月号 | 直径1mmの発電機 | 三菱電機 | 日本経済新聞 (1994年11月21日PP.19) | マイクロマシン 発電機 直径1mm | 260 350 |
1995年 1月号 | 超小型の回転角速度センサ | 村田製作所 | 日本経済新聞 (1994年11月12日PP.13) | 回転角速度センサ マイクロマシン | 210 260 |
1994年11月号 | ワイヤレスで給電技術 | テルモ | 日本工業新聞 (1994年9月8日PP.1) | 光伝送 マイクロマシン 電源供給 | 260 340 |
1994年10月号 | 大量の液晶含ませる高分子材料 -1sec以下で形状変化- | 工技院物質工研 | 日経産業新聞 (1994年8月30日PP.5) | マイクロマシン | 260 |
1994年10月号 | 直径5mmの電磁モータ | 富士電機 | 日経産業新聞 (1994年8月16日PP.1) 電波新聞 (1994年8月19日PP.10) | モータ マイクロマシン トルク3.5μNm | 260 250 |
1994年 8月号 | 光電変換方式でエネルギー供給 | 三洋電機 | 日経産業新聞 (1994年6月30日PP.1) | マイクロマシン 光電変換デバイス | 250 260 |
1994年 8月号 | 誤差実用範囲に小型のエンコーダ | 東芝 | 日経産業新聞 (1994年6月21日PP.4) | マイクロマシン 光ファイバエンコーダ コーダ | 250 260 |
1994年 4月号 | 超小型継電器 | NTT | 日経産業新聞 (1994年2月18日PP.1) | 超小型リレー レーザ動作 10ms 光で切替え Si基板に集積 マイクロマシン 幅200μm 長さ1.5m厚さ10μm | 260 240 |
1994年 3月号 | 小型静電マイクロモータ | 松下技研 | 日経産業新聞 (1994年1月21日PP.5) 日刊工業新聞 (1994年1月21日PP.9) 電波新聞 (1994年1月21日PP.1) | モータ マイクロマシン 直径1.4mm 長さ10mm マイクロモータ 100rpm 静電モータ | 260 250 |
1994年 1月号 | 微小駆動機構 | 東大 | 日経産業新聞 (1993年11月24日PP.5) | マイクロマシン アクチュエータ | 260 |
1994年 1月号 | マイクロアクチュエータ | 工業技術院大阪工業技研 | 日刊工業新聞 (1993年11月10日PP.5) | マイクロマシン アクチュエータ | 260 |
1993年 5月号 | マイクロマシン -22団体が連合組織成立- | 国内22団体 | 電波新聞 (1993年3月23日PP.1) | マイクロマシン | 160 |
1993年 5月号 | 光ファイバと光素子の接続用マイクロマシン | NTT | 日経産業新聞 (1993年3月19日PP.5) | 240 | |
1993年 4月号 | 世界最小の歯車 | 東芝 | 電波新聞 (1993年2月9日PP.2) 日経産業新聞 (1993年2月9日PP.5) 日刊工業新聞 (1993年2月9日PP.12) 日本工業新聞 (1993年2月9日PP.13) | マイクロマシン マイクロギア 放電加工 タングステンワイヤ 歯車 直径0.3mm 世界最小 | 160 360 |
1993年 1月号 | 直径30μmのバルブ | NTT | 日経産業新聞 (1992年11月30日PP.5) | マイクロマシン | 160 660 |
1992年 5月号 | マイクロマシン駆動機構 | 豊田工大 | 日経産業新聞 (1992年3月23日PP.5) | マイクロマシン イオン流 | 650 |
1992年 1月号 | マイクロマシンセンター発足 | 通産省 | 電波新聞 (1991年11月18日PP.1) | マイクロマシン | 260 |
1992年 1月号 | 超小型モータ -外形3mm長さ5mm- | 東芝 | 電波新聞 (1991年11月6日PP.1) 日刊工業新聞 (1991年11月6日PP.9) | 3mmφ×5mm マイクロマシン | 260 600 |
1991年 4月号 | 米粒大の光・電気変換装置 -微小機械の動力源に- | 東北学院大 | 日経産業新聞 (1991年2月5日PP.0) 日刊工業新聞 (1991年2月5日PP.0) | マイクロマシンの駆動力公電変換 フォトセル 多尺 薄膜トランス電極をSi基板上に一体形成 3.0mm×1.4mmの大きさ830mm 130mW光で510mV(1kl)の出力 変換効率5〜10% | 310 |