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講演抄録／キーワード
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PLS-160dBを実現した画素内保持容量内蔵のローリングシャッタ歪なし3次元積層イメージセンサ
青木　潤・竹本良章・小林賢司・坂口直史・月村光宏・高澤直裕・加藤秀樹・○近藤　亨・齊藤晴久・五味祐一・只木芳隆（オリンパス）
抄録 （和） PSL（parasitic light sensitivity）-160dBの画素内保持容量を有したローリングシャッタ歪なしイメージセンサを裏面照射型のフォトダイオードアレイを形成した基板と画素内ストレージアレイを形成した基板を3次元積層することで実現した。このイメージセンサは、8.6μmピッチの内部接続電極を有し、内部接続電極の歩留りは99.9%以上であることを確認している。 
（英） Rolling shutter distortion free 3D stacked image sensor with an in-pixel storage node of -160dB parasitic light sensitivity has two semiconductor substrates, and one substrate has a backside illuminated photo diode array and the other a storage node array. The image sensor has 8.6μm pitched interconnections. An interconnection yield of over 99.9% is achieved.
キーワード （和） CMOSイメージセンサ / 積層構造 / グローバルシャッタ / 画素内ストレージ / / / /  
（英） CMOS Image Sensor / 3D stacked structure / Global shutter / In-Pixel Storage Node / / / /  
文献情報 映情学技報
資料番号  
発行日  
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研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2013-03-22 - 2013-03-22 
開催地（和） NHK放送技術研究所 
開催地（英） NHK Science & Technology Research Laboratories 
テーマ（和） 固体撮像技術および一般 
テーマ（英） Image Sensors, etc 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2013-03-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル（和） PLS-160dBを実現した画素内保持容量内蔵のローリングシャッタ歪なし3次元積層イメージセンサ 
サブタイトル（和）  
タイトル（英） A Rolling-Shutter Distortion-Free 3D Stacked Image Sensor with -160dB Parasitic Light Sensitivity In-Pixel Storage Node 
サブタイトル（英）  
キーワード(1)（和/英） CMOSイメージセンサ / CMOS Image Sensor  
キーワード(2)（和/英） 積層構造 / 3D stacked structure  
キーワード(3)（和/英） グローバルシャッタ / Global shutter  
キーワード(4)（和/英） 画素内ストレージ / In-Pixel Storage Node  
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第1著者 氏名（和/英/ヨミ） 青木 潤 / Jun Aoki / アオキ ジュン
第1著者 所属（和/英） オリンパス株式会社 (略称： オリンパス)
Olympus Corporation (略称： Olympus)
第2著者 氏名（和/英/ヨミ） 竹本 良章 / Yoshiaki Takemoto / タケモト ヨシアキ
第2著者 所属（和/英） オリンパス株式会社 (略称： オリンパス)
Olympus Corporation (略称： Olympus)
第3著者 氏名（和/英/ヨミ） 小林 賢司 / Kenji Kobayashi / コバヤシ ケンジ
第3著者 所属（和/英） オリンパス株式会社 (略称： オリンパス)
Olympus Corporation (略称： Olympus)
第4著者 氏名（和/英/ヨミ） 坂口 直史 / Naofumi Sakaguchi / サカグチ ナオフミ
第4著者 所属（和/英） オリンパス株式会社 (略称： オリンパス)
Olympus Corporation (略称： Olympus)
第5著者 氏名（和/英/ヨミ） 月村 光宏 / Mitsuhiro Tsukimura / ツキムラ ミツヒロ
第5著者 所属（和/英） オリンパス株式会社 (略称： オリンパス)
Olympus Corporation (略称： Olympus)
第6著者 氏名（和/英/ヨミ） 高澤 直裕 / Naohiro Takazawa / タカザワ ナオヒロ
第6著者 所属（和/英） オリンパス株式会社 (略称： オリンパス)
Olympus Corporation (略称： Olympus)
第7著者 氏名（和/英/ヨミ） 加藤 秀樹 / Hideki Kato / カトウ ヒデキ
第7著者 所属（和/英） オリンパス株式会社 (略称： オリンパス)
Olympus Corporation (略称： Olympus)
第8著者 氏名（和/英/ヨミ） 近藤 亨 / Toru Kondo / コンドウ トオル
第8著者 所属（和/英） オリンパス株式会社 (略称： オリンパス)
Olympus Corporation (略称： Olympus)
第9著者 氏名（和/英/ヨミ） 齊藤 晴久 / Haruhisa Saito / サイトウ ハルヒサ
第9著者 所属（和/英） オリンパス株式会社 (略称： オリンパス)
Olympus Corporation (略称： Olympus)
第10著者 氏名（和/英/ヨミ） 五味 祐一 / Yuichi Gomi / ゴミ ユウイチ
第10著者 所属（和/英） オリンパス株式会社 (略称： オリンパス)
Olympus Corporation (略称： Olympus)
第11著者 氏名（和/英/ヨミ） 只木 芳隆 / Yoshitaka Tadaki / タダキ ヨシタカ
第11著者 所属（和/英） オリンパス株式会社 (略称： オリンパス)
Olympus Corporation (略称： Olympus)
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講演者 第8著者 
発表日時 0000-00-00 00:00:00 
発表時間 分 
申込先研究会 IST 
資料番号  
巻番号（vol） vol. 
号番号（no）  
ページ範囲  
ページ数  
発行日  

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