| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2016-05-06 13:05
［ポスター講演］シリコンフォトダイオードを用いた分光感度差分型紫外線センサ
○Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva・幸田安真・那須野悟史・黒田理人・須川成利（東北大） |
| 抄録 |
（和） |
ドーパントの濃度プロファイルを調整することで，紫外線高感度PDと紫外線低感度PDの2種類のPDを受光素子内に作り込み，それらの分光感度差からSiのみで紫外線を検出するセンサを作製した．試作したセンサにより，310 nmの紫外線に対して0.132 A/Wの感度，500 nmより長い波長に対して0.014 A/W以下の残留感度を有する，紫外線に対して選択性の高い感度スペクトルを得た．本稿では，開発した分光感度差分型紫外線センサの原理，作製方法と測定結果について論じる． |
| （英） |
A bulk-Si ultraviolet radiation sensor was developed by extracting the differential spectral response of a high UV sensitivity and a low UV sensitivity photodiodes. Both types of photodiodes were fabricated together in the same chip, by adjusting the dopant concentration profiles. The developed sensor showed a sensitivity of 0.132 A/W at 310 nm and a residual sensitivity lower than 0.014 A/W for wavelengths longer than 500 nm. In this paper, the operating principle of this sensor, its fabrication method and the measurement results are discussed. |
| キーワード |
（和） |
紫外線センサ / 分光差分 / バルクシリコン / 紫外線 / フォトダイオード / / / |
| （英） |
Ultraviolet radiation sensor / Differential spectral response / Bulk-Si / Ultraviolet / Photodiode / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 40, no. 15, IST2016-22, pp. 5-8, 2016年5月. |
| 資料番号 |
IST2016-22 |
| 発行日 |
2016-04-29 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
| PDFダウンロード |
|