講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-05-06 13:05
[ポスター講演]シリコンフォトダイオードを用いた分光感度差分型紫外線センサ ○Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva・幸田安真・那須野悟史・黒田理人・須川成利(東北大) |
抄録 |
(和) |
ドーパントの濃度プロファイルを調整することで,紫外線高感度PDと紫外線低感度PDの2種類のPDを受光素子内に作り込み,それらの分光感度差からSiのみで紫外線を検出するセンサを作製した.試作したセンサにより,310 nmの紫外線に対して0.132 A/Wの感度,500 nmより長い波長に対して0.014 A/W以下の残留感度を有する,紫外線に対して選択性の高い感度スペクトルを得た.本稿では,開発した分光感度差分型紫外線センサの原理,作製方法と測定結果について論じる. |
(英) |
A bulk-Si ultraviolet radiation sensor was developed by extracting the differential spectral response of a high UV sensitivity and a low UV sensitivity photodiodes. Both types of photodiodes were fabricated together in the same chip, by adjusting the dopant concentration profiles. The developed sensor showed a sensitivity of 0.132 A/W at 310 nm and a residual sensitivity lower than 0.014 A/W for wavelengths longer than 500 nm. In this paper, the operating principle of this sensor, its fabrication method and the measurement results are discussed. |
キーワード |
(和) |
紫外線センサ / 分光差分 / バルクシリコン / 紫外線 / フォトダイオード / / / |
(英) |
Ultraviolet radiation sensor / Differential spectral response / Bulk-Si / Ultraviolet / Photodiode / / / |
文献情報 |
映情学技報, vol. 40, no. 15, IST2016-22, pp. 5-8, 2016年5月. |
資料番号 |
IST2016-22 |
発行日 |
2016-04-29 (IST) |
ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
PDFダウンロード |
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研究会情報 |
研究会 |
IST |
開催期間 |
2016-05-06 - 2016-05-06 |
開催地(和) |
東京理科大学 森戸記念館 |
開催地(英) |
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テーマ(和) |
高機能イメージセンシングとその応用 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
IST |
会議コード |
2016-05-IST |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
シリコンフォトダイオードを用いた分光感度差分型紫外線センサ |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Differential Spectral Response Based Ultraviolet Radiation Sensor Using Silicon Photodiodes |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
紫外線センサ / Ultraviolet radiation sensor |
キーワード(2)(和/英) |
分光差分 / Differential spectral response |
キーワード(3)(和/英) |
バルクシリコン / Bulk-Si |
キーワード(4)(和/英) |
紫外線 / Ultraviolet |
キーワード(5)(和/英) |
フォトダイオード / Photodiode |
キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva / Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva / シパウバ カルバリオ ダ シルバ イヤンギ リカルド |
第1著者 所属(和/英) |
東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
幸田 安真 / Yasumasa Koda / コウダ ヤスマサ |
第2著者 所属(和/英) |
東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
那須野 悟史 / Satoshi Nasuno / ナスノ サトシ |
第3著者 所属(和/英) |
東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト |
第4著者 所属(和/英) |
東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
第5著者 所属(和/英) |
東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2016-05-06 13:05:00 |
発表時間 |
60分 |
申込先研究会 |
IST |
資料番号 |
IST2016-22 |
巻番号(vol) |
vol.40 |
号番号(no) |
no.15 |
ページ範囲 |
pp.5-8 |
ページ数 |
4 |
発行日 |
2016-04-29 (IST) |