| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2016-05-06 13:05
［ポスター講演］シリコンフォトダイオードを用いた分光感度差分型紫外線センサ
○Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva・幸田安真・那須野悟史・黒田理人・須川成利（東北大） |
| 抄録 |
（和） |
ドーパントの濃度プロファイルを調整することで，紫外線高感度PDと紫外線低感度PDの2種類のPDを受光素子内に作り込み，それらの分光感度差からSiのみで紫外線を検出するセンサを作製した．試作したセンサにより，310 nmの紫外線に対して0.132 A/Wの感度，500 nmより長い波長に対して0.014 A/W以下の残留感度を有する，紫外線に対して選択性の高い感度スペクトルを得た．本稿では，開発した分光感度差分型紫外線センサの原理，作製方法と測定結果について論じる． |
| （英） |
A bulk-Si ultraviolet radiation sensor was developed by extracting the differential spectral response of a high UV sensitivity and a low UV sensitivity photodiodes. Both types of photodiodes were fabricated together in the same chip, by adjusting the dopant concentration profiles. The developed sensor showed a sensitivity of 0.132 A/W at 310 nm and a residual sensitivity lower than 0.014 A/W for wavelengths longer than 500 nm. In this paper, the operating principle of this sensor, its fabrication method and the measurement results are discussed. |
| キーワード |
（和） |
紫外線センサ / 分光差分 / バルクシリコン / 紫外線 / フォトダイオード / / / |
| （英） |
Ultraviolet radiation sensor / Differential spectral response / Bulk-Si / Ultraviolet / Photodiode / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 40, no. 15, IST2016-22, pp. 5-8, 2016年5月. |
| 資料番号 |
IST2016-22 |
| 発行日 |
2016-04-29 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
| PDFダウンロード |
|
| 研究会情報 |
| 研究会 |
IST |
| 開催期間 |
2016-05-06 - 2016-05-06 |
| 開催地（和） |
東京理科大学 森戸記念館 |
| 開催地（英） |
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| テーマ（和） |
高機能イメージセンシングとその応用 |
| テーマ（英） |
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| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
IST |
| 会議コード |
2016-05-IST |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
シリコンフォトダイオードを用いた分光感度差分型紫外線センサ |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
Differential Spectral Response Based Ultraviolet Radiation Sensor Using Silicon Photodiodes |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
紫外線センサ / Ultraviolet radiation sensor |
| キーワード(2)（和/英） |
分光差分 / Differential spectral response |
| キーワード(3)（和/英） |
バルクシリコン / Bulk-Si |
| キーワード(4)（和/英） |
紫外線 / Ultraviolet |
| キーワード(5)（和/英） |
フォトダイオード / Photodiode |
| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva / Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva / シパウバ カルバリオ ダ シルバ イヤンギ リカルド |
| 第1著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
幸田 安真 / Yasumasa Koda / コウダ ヤスマサ |
| 第2著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
那須野 悟史 / Satoshi Nasuno / ナスノ サトシ |
| 第3著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト |
| 第4著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
| 第5著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2016-05-06 13:05:00 |
| 発表時間 |
60分 |
| 申込先研究会 |
IST |
| 資料番号 |
IST2016-22 |
| 巻番号（vol） |
vol.40 |
| 号番号（no） |
no.15 |
| ページ範囲 |
pp.5-8 |
| ページ数 |
4 |
| 発行日 |
2016-04-29 (IST) |