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講演抄録/キーワード
講演名
2016-09-26 16:20
CMOSイメージセンサーに対応した画素領域のコンタクト直下に形成したカーボン複合体欠陥での超近接ゲッタリング技術によるホワイトスポットの低減
○
山口 直
・
山下朋弘
(
ルネサス
)・
神野 健
・
後藤洋太郎
・
黒井 隆
(
RSMC
)・
松浦正純
(
ルネサス
)
抄録
(和)
(まだ登録されていません)
(英)
(Not available yet)
キーワード
(和)
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(英)
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文献情報
映情学技報, vol. 40, no. 32, IST2016-47, pp. 23-26, 2016年9月.
資料番号
IST2016-47
発行日
2016-09-19 (IST)
ISSN
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会
IST
開催期間
2016-09-26 - 2016-09-26
開催地(和)
機械振興会館
開催地(英)
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg.
テーマ(和)
イメージセンサおよび一般
テーマ(英)
Image Sensor , etc.
講演論文情報の詳細
申込み研究会
IST
会議コード
2016-09-IST
本文の言語
日本語
タイトル(和)
CMOSイメージセンサーに対応した画素領域のコンタクト直下に形成したカーボン複合体欠陥での超近接ゲッタリング技術によるホワイトスポットの低減
サブタイトル(和)
タイトル(英)
White Spots Reduction by Ultimate Proximity Metal Gettering at Carbon Complexes Formed underneath Contact Area in CMOS Image Sensors
サブタイトル(英)
キーワード(1)(和/英)
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キーワード(2)(和/英)
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キーワード(3)(和/英)
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キーワード(4)(和/英)
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キーワード(5)(和/英)
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キーワード(6)(和/英)
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キーワード(7)(和/英)
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キーワード(8)(和/英)
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ)
山口 直
/
Tadashi Yamaguchi
/
ヤマグチ タダシ
第1著者 所属(和/英)
ルネサスエレクトロニクス株式会社
(略称:
ルネサス
)
Renesas Electronics Corporation
(略称:
Renesas
)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ)
山下 朋弘
/
Tomohiro Yamashita
/
ヤマシタ トモヒロ
第2著者 所属(和/英)
ルネサスエレクトロニクス株式会社
(略称:
ルネサス
)
Renesas Electronics Corporation
(略称:
Renesas
)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ)
神野 健
/
Takeshi Kamino
/
カミノ タケシ
第3著者 所属(和/英)
ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社
(略称:
RSMC
)
Renesas Semiconductor Manufacturing Corporation
(略称:
RSMC
)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ)
後藤 洋太郎
/
Yotaro Goto
/
ゴトウ ヨウタロウ
第4著者 所属(和/英)
ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社
(略称:
RSMC
)
Renesas Semiconductor Manufacturing Corporation
(略称:
RSMC
)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ)
黒井 隆
/
Takashi Kuroi
/
クロイ タカシ
第5著者 所属(和/英)
ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社
(略称:
RSMC
)
Renesas Semiconductor Manufacturing Corporation
(略称:
RSMC
)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ)
松浦 正純
/
Masazumi Matsuura
/
マツウラ マサズミ
第6著者 所属(和/英)
ルネサスエレクトロニクス株式会社
(略称:
ルネサス
)
Renesas Electronics Corporation
(略称:
Renesas
)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第7著者 所属(和/英)
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第8著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第8著者 所属(和/英)
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第9著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第9著者 所属(和/英)
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第10著者 所属(和/英)
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第11著者 所属(和/英)
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第12著者 所属(和/英)
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第13著者 所属(和/英)
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第14著者 所属(和/英)
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第15著者 所属(和/英)
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第16著者 所属(和/英)
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第17著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第17著者 所属(和/英)
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第18著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第18著者 所属(和/英)
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第19著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第19著者 所属(和/英)
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第20著者 所属(和/英)
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講演者
第1著者
発表日時
2016-09-26 16:20:00
発表時間
30分
申込先研究会
IST
資料番号
IST2016-47
巻番号(vol)
vol.40
号番号(no)
no.32
ページ範囲
pp.23-26
ページ数
4
発行日
2016-09-19 (IST)
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