| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2016-11-17 16:30
［ポスター講演］Light shielding Al alloy film for image sensor.
○Yoko Shida・Hiroshi Goto・Mototaka Ochi（KSL）・Hiroyuki Okuno・Moriyoshi Kanamaru（KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC） |
| 抄録 |
（和） |
We have developed new aluminum alloy films for a light-shielding metal layer in image sensors. Unlike conventional tungsten films, which are widely used for light shielding in image sensor but easily peel off due to their high membrane stress of the film, the proposed aluminum alloy films have lesser membrane stress and show good adhesion properties as well as good thermal resistance. |
| （英） |
We have developed new aluminum alloy films for a light-shielding metal layer in image sensors. Unlike conventional tungsten films, which are widely used for light shielding in image sensor but easily peel off due to their high membrane stress of the film, the proposed aluminum alloy films have lesser membrane stress and show good adhesion properties as well as good thermal resistance. |
| キーワード |
（和） |
Light-shielding fulm / Al alloy / / / / / / |
| （英） |
Light-shielding fulm / Al alloy / / / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 40, no. 40, IST2016-59, pp. 23-24, 2016年11月. |
| 資料番号 |
IST2016-59 |
| 発行日 |
2016-11-10 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
| PDFダウンロード |
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| 研究会情報 |
| 研究会 |
IST |
| 開催期間 |
2016-11-17 - 2016-11-17 |
| 開催地（和） |
東工大田町キャンパス |
| 開催地（英） |
TITECH Tamachi Campus |
| テーマ（和） |
Open Poster Session of 3rd International Workshop on Image Sensors and Imaging Systems (IWISS2016) |
| テーマ（英） |
Open Poster Session of 3rd International Workshop on Image Sensors and Imaging Systems (IWISS2016) |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
IST |
| 会議コード |
2016-11-IST |
| 本文の言語 |
英語（日本語タイトルあり） |
| タイトル（和） |
Light shielding Al alloy film for image sensor. |
| サブタイトル（和） |
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| タイトル（英） |
Light shielding Al alloy film for image sensor. |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
Light-shielding fulm / Light-shielding fulm |
| キーワード(2)（和/英） |
Al alloy / Al alloy |
| キーワード(3)（和/英） |
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| キーワード(4)（和/英） |
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| キーワード(5)（和/英） |
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| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
Yoko Shida / Yoko Shida / |
| 第1著者 所属（和/英） |
KOBE STEEL, LTD. (略称： KSL)
KOBE STEEL, LTD. (略称： KSL) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
Hiroshi Goto / Hiroshi Goto / |
| 第2著者 所属（和/英） |
KOBE STEEL, LTD. (略称： KSL)
KOBE STEEL, LTD. (略称： KSL) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
Mototaka Ochi / Mototaka Ochi / |
| 第3著者 所属（和/英） |
KOBE STEEL, LTD. (略称： KSL)
KOBE STEEL, LTD. (略称： KSL) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
Hiroyuki Okuno / Hiroyuki Okuno / |
| 第4著者 所属（和/英） |
KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC (略称： KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC)
KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC (略称： KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
Moriyoshi Kanamaru / Moriyoshi Kanamaru / |
| 第5著者 所属（和/英） |
KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC (略称： KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC)
KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC (略称： KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第6著者 所属（和/英） |
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| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第7著者 所属（和/英） |
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| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第8著者 所属（和/英） |
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| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第9著者 所属（和/英） |
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| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第10著者 所属（和/英） |
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| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第11著者 所属（和/英） |
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| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第17著者 所属（和/英） |
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| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第19著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第19著者 所属（和/英） |
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| 第20著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第20著者 所属（和/英） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2016-11-17 16:30:00 |
| 発表時間 |
90分 |
| 申込先研究会 |
IST |
| 資料番号 |
IST2016-59 |
| 巻番号（vol） |
vol.40 |
| 号番号（no） |
no.40 |
| ページ範囲 |
pp.23-24 |
| ページ数 |
2 |
| 発行日 |
2016-11-10 (IST) |
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