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講演抄録/キーワード
講演名 2018-03-08 16:15
[依頼講演]非晶質酸化物半導体の空乏状態を利用した新規薄膜デバイスのシミュレーション検討
安部勝美藤永正人桑垣武司シルバコ
抄録 (和) 非晶質酸化物半導体(AOS)を用いた新規薄膜デバイスをデバイスシミュレーションにより検討した.シミュレーション結果より,AOS 薄膜トランジスタ(TFT)のオフ動作におけるAOSの空乏状態では,イオン化したドナー型捕獲準位又は正孔を十分誘起できないことが示唆された.また,AOS空乏状態の特性により,第一のメタルゲートと第二のAOSゲートを有する積層ゲートTFTがNAND的な動作を示した.これにより,AOSの空乏状態を利用した新規薄膜デバイスの新しい機能を確認することができた. 
(英) Novel thin-film devices using amorphous oxide semiconductor (AOS) were studied via device simulation. The simulation of AOS thin-film transistor (TFT) suggested that the depleted AOS is similar to insulator because it does not have enough holes and/or ionized donor-like traps to compensate the negative gate voltage. Because of the feature, the simulation of the device with a conventional first-gate and an AOS second-gate showed NAND-like function.
キーワード (和) 酸化物半導体 / a-IGZO / 薄膜デバイス / デバイスシミュレーション / 空乏状態 / / /  
(英) Oxide semiconductor / a-IGZO / Thin-film devices / Device simulation / Depletion state / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 42, no. 8, IDY2018-22, pp. 37-41, 2018年3月.
資料番号 IDY2018-22 
発行日 2018-03-01 (IDY) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IDY  
開催期間 2018-03-08 - 2018-03-08 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム2018 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IDY 
会議コード 2018-03-IDY 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 非晶質酸化物半導体の空乏状態を利用した新規薄膜デバイスのシミュレーション検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Simulation Study of Novel Thin-Film Devices Using Depletion State of Amorphous Oxide Semiconductor 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 酸化物半導体 / Oxide semiconductor  
キーワード(2)(和/英) a-IGZO / a-IGZO  
キーワード(3)(和/英) 薄膜デバイス / Thin-film devices  
キーワード(4)(和/英) デバイスシミュレーション / Device simulation  
キーワード(5)(和/英) 空乏状態 / Depletion state  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 安部 勝美 / Katsumi Abe / アベ カツミ
第1著者 所属(和/英) 株式会社シルバコ・ジャパン (略称: シルバコ)
Silvaco Japan Co., Ltd. (略称: Silvaco Japan)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤永 正人 / Masato Fujinaga / フジナガ マサト
第2著者 所属(和/英) 株式会社シルバコ・ジャパン (略称: シルバコ)
Silvaco Japan Co., Ltd. (略称: Silvaco Japan)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 桑垣 武司 / Takeshi Kuwagaki / クワガキ タケシ
第3著者 所属(和/英) 株式会社シルバコ・ジャパン (略称: シルバコ)
Silvaco Japan Co., Ltd. (略称: Silvaco Japan)
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講演者
発表日時 2018-03-08 16:15:00 
発表時間 25 
申込先研究会 IDY 
資料番号 ITE-IDY2018-22 
巻番号(vol) ITE-42 
号番号(no) no.8 
ページ範囲 pp.37-41 
ページ数 ITE-5 
発行日 ITE-IDY-2018-03-01 


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