講演抄録/キーワード |
講演名 |
2018-07-30 14:15
[依頼講演]フレキシブル基板へ向けたトップゲート酸化物TFTの開発 ○山口陽平・川中子 寛・鈴村 功(JDI) |
抄録 |
(和) |
本研究では、プラスティック基板を用いた液晶ディスプレイ(LCD)向けの薄膜トランジスタ(TFT)技術を開発した。G4.5世代マザーガラスを用いて、透明ポリイミド上にL 2m, 3m のトップゲート型酸化物TFTを300C以下で作製した。良好なTFT特性と信頼性を得ることが出来た。 |
(英) |
A thin-film-transistor (TFT) technology for plastic-film liquid crystal displays (LCDs) was developed herein. Top-gate oxide TFTs with channel lengths L 2 and 3 m were fabricated on a transparent polyimide layer at approximately 300C using Generation 4.5 mother glass. The desirable performance and reliability of the TFTs were obtained. |
キーワード |
(和) |
plastic film LCD / Top-gate / Oxide TFT / PBTS / NBTIS / / / |
(英) |
plastic film LCD / Top-gate / Oxide TFT / PBTS / NBTIS / / / |
文献情報 |
映情学技報, vol. 42, no. 24, IDY2018-36, pp. 13-16, 2018年7月. |
資料番号 |
IDY2018-36 |
発行日 |
2018-07-23 (IDY) |
ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
PDFダウンロード |
|