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講演抄録/キーワード
講演名 2019-01-24 14:25
[ポスター講演]Al2O3薄膜のALD低温成長と評価
山本 燎横北拓大中村篤志静大
抄録 (和) (まだ登録されていません) 
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文献情報 映情学技報, vol. 43, no. 1, IDY2019-9, pp. 37-40, 2019年1月.
資料番号 IDY2019-9 
発行日 2019-01-17 (IDY) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970

研究会情報
研究会 IDY IEICE-EID IEIJ-SSL SID-JC IEE-EDD  
開催期間 2019-01-24 - 2019-01-25 
開催地(和) 鹿児島大学 稲盛会館 
開催地(英)  
テーマ(和) 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IDY 
会議コード 2019-01-IDY-EID-SSL-JC-EDD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) Al2O3薄膜のALD低温成長と評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) ALD low temperature growth and characterization of Al2O3 thin films 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 山本 燎 / Ryo Yamamoto / ヤマモト リョウ
第1著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 横北 拓大 / Masahiro Yokokita / ヨコキタ マサヒロ
第2著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 中村 篤志 / Atsushi Nakamura / ナカムラ アツシ
第3著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
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講演者
発表日時 2019-01-24 14:25:00 
発表時間
申込先研究会 IDY 
資料番号 ITE-IDY2019-9 
巻番号(vol) ITE-43 
号番号(no) no.1 
ページ範囲 pp.37-40 
ページ数 ITE-4 
発行日 ITE-IDY-2019-01-17 


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