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講演抄録/キーワード
講演名 2019-08-02 15:35
[依頼講演]フォルダブルディスプレイ用金属配線材料の特性評価
倉 千晴寺前裕美田内裕基神戸製鋼所)・後藤裕史奥野博行コベルコ科研
抄録 (和) フレキシブルディスプレイは従来のフラットパネルディスプレイに対し、薄くて軽い、柔軟であるなどの特徴をもち、将来的に需要が高まると予想されている。フォルダブルディスプレイのLTPS TFTゲート配線には耐熱性、低電気抵抗率に加えて屈曲耐性も求められる。しかしながら従来用いられてきたMoなどの高融点金属は、半径1 mmで屈曲すると断線してしまう。本研究では、過去にa-Si TFTに用いられた実績のあるAl-Nd合金について、屈曲後の電気抵抗上昇率を比較することにより屈曲耐性を評価した。その結果、Al-2.0および4.0 at% Nd合金薄膜がフォルダブルディスプレイ用金属配線材料として活用できる可能性を見出した。 
(英) Recently, flexible displays are receiving a lot of attention, and the demands of flexible displays are expected to increase in the future. For the metal interconnection in foldable displays, bending resistance is necessary in addition to heat resistance and low electrical resistivity. However, Mo interconnection, which is used as a gate electrode of LTPS TFT, is easily disconnected by bending test with a radius of 1 mm. In this study, we report the bending resistance of Al-Nd alloy films, which have been used as gate electrodes of a-Si TFT, and clarify the adaptability of Al-2.0 or 4.0 at% Nd alloy films to the foldable displays.
キーワード (和) フォルダブルディスプレイ / Al-Nd合金 / 金属配線 / 屈曲耐性 / / / /  
(英) foldable display / Al-Nd alloy / metal interconnection / bending resistance / / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 43, no. 24, IDY2019-46, pp. 21-24, 2019年8月.
資料番号 IDY2019-46 
発行日 2019-07-26 (IDY) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IDY IEICE-EID SID-JC  
開催期間 2019-08-02 - 2019-08-02 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) ディスプレイ一般 
テーマ(英) Information Display 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IDY 
会議コード 2019-08-IDY-EID-JC 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) フォルダブルディスプレイ用金属配線材料の特性評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Characterization of Metal Thin Film-Wiring Materials for Foldable Displays 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) フォルダブルディスプレイ / foldable display  
キーワード(2)(和/英) Al-Nd合金 / Al-Nd alloy  
キーワード(3)(和/英) 金属配線 / metal interconnection  
キーワード(4)(和/英) 屈曲耐性 / bending resistance  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 倉 千晴 / Chiharu Kura / クラ チハル
第1著者 所属(和/英) (株)神戸製鋼所 (略称: 神戸製鋼所)
Kobe Steel, LTD (略称: KOBELCO)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 寺前 裕美 / Yumi Teramae / テラマエ ユミ
第2著者 所属(和/英) (株)神戸製鋼所 (略称: 神戸製鋼所)
Kobe Steel, LTD (略称: KOBELCO)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 田内 裕基 / Yuki Tauchi / タウチ ユウキ
第3著者 所属(和/英) (株)神戸製鋼所 (略称: 神戸製鋼所)
Kobe Steel, LTD (略称: KOBELCO)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 後藤 裕史 / Hiroshi Goto / ゴトウ ヒロシ
第4著者 所属(和/英) (株)コベルコ科研 (略称: コベルコ科研)
Kobelco Research Institute (略称: Kobelco Research Institute)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 奥野 博行 / Hiroyuki Okuno / オクノ ヒロユキ
第5著者 所属(和/英) (株)コベルコ科研 (略称: コベルコ科研)
Kobelco Research Institute (略称: Kobelco Research Institute)
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講演者
発表日時 2019-08-02 15:35:00 
発表時間 25 
申込先研究会 IDY 
資料番号 ITE-IDY2019-46 
巻番号(vol) ITE-43 
号番号(no) no.24 
ページ範囲 pp.21-24 
ページ数 ITE-4 
発行日 ITE-IDY-2019-07-26 


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