| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2022-06-10 13:30
［招待講演］酸素ビーム照射を用いて作製された抵抗変化型メモリ
○大野武雄（大分大） |
| 抄録 |
（和） |
抵抗変化型メモリはイオン伝導現象と電気化学反応を動作原理とした次世代不揮発性メモリの一つである．この構造中で用いられる金属酸化膜にはナノメートル厚さでかつ高い電気抵抗が要求される．本報告では，金属酸化膜の新しい形成手法として中性な酸素ビーム照射を用いた金属酸化プロセスを提案する．金属タンタル 膜への酸素ビーム照射により数ナノメートル厚さの酸化タンタル膜を形成し，それを抵抗変化型メモリのイオン 伝導体層として用いたときのメモリ特性を評価した．また，同手法により形成した白金酸化膜を持つスピン軌道トルク発生デバイスについても報告する． |
| （英） |
(Not available yet) |
| キーワード |
（和） |
抵抗変化型メモリ / 中性酸素ビーム / 金属酸化 / / / / / |
| （英） |
/ / / / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 46, no. 16, MMS2022-38, pp. 31-35, 2022年6月. |
| 資料番号 |
MMS2022-38 |
| 発行日 |
2022-06-02 (MMS) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
| PDFダウンロード |
|
| 研究会情報 |
| 研究会 |
IEICE-MRIS MMS |
| 開催期間 |
2022-06-09 - 2022-06-10 |
| 開催地（和） |
東北大（通研） |
| 開催地（英） |
RIEC, Tohoku Univ. |
| テーマ（和） |
記録システム・ヘッド・媒体＋一般 |
| テーマ（英） |
Recording system, Head, Media, and Others |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
MMS |
| 会議コード |
2022-06-MRIS-MMS |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
酸素ビーム照射を用いて作製された抵抗変化型メモリ |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
Fabrication of Resistive RAM Using Oxygen Beam Irradiation |
| サブタイトル（英） |
|
| キーワード(1)（和/英） |
抵抗変化型メモリ / |
| キーワード(2)（和/英） |
中性酸素ビーム / |
| キーワード(3)（和/英） |
金属酸化 / |
| キーワード(4)（和/英） |
/ |
| キーワード(5)（和/英） |
/ |
| キーワード(6)（和/英） |
/ |
| キーワード(7)（和/英） |
/ |
| キーワード(8)（和/英） |
/ |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
大野 武雄 / Takeo Ohno / オオノ タケオ |
| 第1著者 所属（和/英） |
大分大学 (略称： 大分大)
Oita University (略称： Oita Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第2著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第3著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第4著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第5著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第6著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第7著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第8著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第9著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第10著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第11著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第12著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第13著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第14著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第15著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第16著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第17著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第18著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第19著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第19著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第20著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第20著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2022-06-10 13:30:00 |
| 発表時間 |
50分 |
| 申込先研究会 |
MMS |
| 資料番号 |
MMS2022-38 |
| 巻番号（vol） |
vol.46 |
| 号番号（no） |
no.16 |
| ページ範囲 |
pp.31-35 |
| ページ数 |
5 |
| 発行日 |
2022-06-02 (MMS) |
|