| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2022-07-29 16:10
［招待講演］バックコンタクトIGZO-TFTを用いた新規ハイブリッドバックプレーン構造の開発
○本城正智・武田悠二郎・アマン メハディ・伊東一篤・田中耕平・松木薗広志・中村 渉（SDTC） |
| 抄録 |
（和） |
バックコンタクトIGZO-TFTとLTPSを用いた新規ハイブリッドバックプレーン構造の開発について報告する。本構造ではレイヤ数削減のため、独自の構造を提案することで中間メタル層によりIGZOとLTPSを接続した。IGZOと中間メタル層のコンタクト抵抗は20Ω以下であり、信号線として十分低い値であることが確認された。作成した、IGZO-TFT特性は十分に高い均一性および、信頼性を有している。本構造を有するハイブリッドバックプレーンを用いて、6.6型フレキシブルOLEDディスプレイのスマートフォンの量産化を実現した。本構造は低コストで高性能OLEDディスプレイを量産する方法として有用であると考えられる。 |
| （英） |
We propose the new structure of hybrid backplane technology with IGZO-TFT and LTPS. In this structure, IGZO is directly connected with inter metal to reduce the number of layers. The uniformity of contact resistance between IGZO and metal was less than 20Ω at G4.5 which is enough for using signal bass line. The characteristics of IGZO-TFT uniformity and reliability were good enough for mass-production. The panel with the new hybrid structure backplane has been adopted into practical use as the smartphone with 6.6 inches flexible OLED panel. We believe that the proposed structure would be useful for the mass production of high performance OLED display at low cost production. |
| キーワード |
（和） |
IGZO / LTPO / ハイブリッドバックプレーン / OLED / 低消費電力 / / / |
| （英） |
IGZO / LTPO / hybrid-backplane / OLED / low power consumption / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 46, no. 22, IDY2022-29, pp. 35-37, 2022年7月. |
| 資料番号 |
IDY2022-29 |
| 発行日 |
2022-07-22 (IDY) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
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