| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2023-03-17 15:40
［招待講演］ガラス並みの高バリア性能を有する塗布型PHPSガスバリア膜
○佐々木 樹・吉田麗娜・黒澤 優・髙橋辰宏・硯里善幸（山形大） |
| 抄録 |
（和） |
フレキシブル有機ELに求められる水蒸気バリア膜は主に真空プロセスで成膜される．我々は塗布型バリア膜として，vacuum UV光 でperhydropolysilazaneを光緻密化(窒素雰囲気下)したSiNx膜にて，バリア性能water vapor transmission rate (WVTR) 10-3 g/m2/dayと有機ELへの適応を報告してきた．本研究では成膜条件-緻密性-ガスバリア性能の関係性を調査し，ガラス並みのWVTR: 4.8x10-5 g/m2/dayを達成した．これは塗布型バリア構造では世界最高性能であり，有機ELだけでなく太陽電池等広く利用可能な技術である． |
| （英） |
We report all-solution-processed gas barriers using perhydropolysilazane (PHPS)-derived SiN films densified by vacuum ultraviolet (VUV) irradiation in a nitrogen atmosphere． The appropriate PDSN thickness and irradiated VUV dose afford an excellent WVTR of 4.8x10-5 g/m2/day, which makes it one of the best-performing water vapor barriers recorded to date． |
| キーワード |
（和） |
ガスバリア膜 / 塗布プロセス / ポリシラザン / 有機EL / / / / |
| （英） |
Gas barrier films / Solution process / Perhydropolysilazane / Organic light emitting diodes / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 47, no. 13, IDY2023-21, pp. 35-38, 2023年3月. |
| 資料番号 |
IDY2023-21 |
| 発行日 |
2023-03-10 (IDY) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
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