| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2023-03-17 15:40
［招待講演］ガラス並みの高バリア性能を有する塗布型PHPSガスバリア膜
○佐々木 樹・吉田麗娜・黒澤 優・髙橋辰宏・硯里善幸（山形大） |
| 抄録 |
（和） |
フレキシブル有機ELに求められる水蒸気バリア膜は主に真空プロセスで成膜される．我々は塗布型バリア膜として，vacuum UV光 でperhydropolysilazaneを光緻密化(窒素雰囲気下)したSiNx膜にて，バリア性能water vapor transmission rate (WVTR) 10-3 g/m2/dayと有機ELへの適応を報告してきた．本研究では成膜条件-緻密性-ガスバリア性能の関係性を調査し，ガラス並みのWVTR: 4.8x10-5 g/m2/dayを達成した．これは塗布型バリア構造では世界最高性能であり，有機ELだけでなく太陽電池等広く利用可能な技術である． |
| （英） |
We report all-solution-processed gas barriers using perhydropolysilazane (PHPS)-derived SiN films densified by vacuum ultraviolet (VUV) irradiation in a nitrogen atmosphere． The appropriate PDSN thickness and irradiated VUV dose afford an excellent WVTR of 4.8x10-5 g/m2/day, which makes it one of the best-performing water vapor barriers recorded to date． |
| キーワード |
（和） |
ガスバリア膜 / 塗布プロセス / ポリシラザン / 有機EL / / / / |
| （英） |
Gas barrier films / Solution process / Perhydropolysilazane / Organic light emitting diodes / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 47, no. 13, IDY2023-21, pp. 35-38, 2023年3月. |
| 資料番号 |
IDY2023-21 |
| 発行日 |
2023-03-10 (IDY) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
| PDFダウンロード |
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| 研究会情報 |
| 研究会 |
IDY SID-JC |
| 開催期間 |
2023-03-17 - 2023-03-17 |
| 開催地（和） |
オンライン（Zoom） |
| 開催地（英） |
online |
| テーマ（和） |
ディスプレイ技術シンポジウム2023 |
| テーマ（英） |
|
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
IDY |
| 会議コード |
2023-03-IDY-JC |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
ガラス並みの高バリア性能を有する塗布型PHPSガスバリア膜 |
| サブタイトル（和） |
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| タイトル（英） |
Solution-Processed Ultrahigh PHPS Gas Barriers with Glass-like Performance |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
ガスバリア膜 / Gas barrier films |
| キーワード(2)（和/英） |
塗布プロセス / Solution process |
| キーワード(3)（和/英） |
ポリシラザン / Perhydropolysilazane |
| キーワード(4)（和/英） |
有機EL / Organic light emitting diodes |
| キーワード(5)（和/英） |
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| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
佐々木 樹 / Tatsuki Sasaki / ササキ タツキ |
| 第1著者 所属（和/英） |
山形大学 (略称： 山形大)
Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
吉田 麗娜 / Lina Sun / ヨシダ レイナ |
| 第2著者 所属（和/英） |
山形大学 (略称： 山形大)
Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
黒澤 優 / Yu Kurosawa / クロサワ ユウ |
| 第3著者 所属（和/英） |
山形大学 (略称： 山形大)
Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
髙橋 辰宏 / Tatsuhiro Takahashi / タカハシ タツヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） |
山形大学 (略称： 山形大)
Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
硯里 善幸 / Yoshiyuki Suzuri / スズリ ヨシユキ |
| 第5著者 所属（和/英） |
山形大学 (略称： 山形大)
Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2023-03-17 15:40:00 |
| 発表時間 |
20分 |
| 申込先研究会 |
IDY |
| 資料番号 |
IDY2023-21 |
| 巻番号（vol） |
vol.47 |
| 号番号（no） |
no.13 |
| ページ範囲 |
pp.35-38 |
| ページ数 |
4 |
| 発行日 |
2023-03-10 (IDY) |