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講演抄録/キーワード
講演名 2023-10-27 12:15
RF-DC結合形スパッタ法により作製されるAZO薄膜の面内方向の特性
清水英彦高見洋輝新潟大
抄録 (和) (まだ登録されていません) 
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文献情報 映情学技報
資料番号  
発行日  
ISSN Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IEICE-CPM IEICE-MRIS IEICE-OME MMS  
開催期間 2023-10-26 - 2023-10-27 
開催地(和) 新潟大学 駅南キャンパスときめいと 
開催地(英)  
テーマ(和) スピントロニクス・固体メモリ・機能性材料・薄膜プロセス・材料・デバイス+一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IEICE-CPM 
会議コード 2023-10-MRIS-CPM-MMS-OME 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) RF-DC結合形スパッタ法により作製されるAZO薄膜の面内方向の特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) In-plane properties of AZO thin films deposited by RF-DC coupled magnetron sputtering method 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu / シミズ ヒデヒコ
第1著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 高見 洋輝 / Hiroki Takami / タカミ ヒロキ
第2著者 所属(和/英) 新潟大学 (略称: 新潟大)
Niigata University (略称: Niigata Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2023-10-27 12:15:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 IEICE-CPM 
資料番号  
巻番号(vol) vol.47 
号番号(no)  
ページ範囲  
ページ数  
発行日  


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