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講演抄録/キーワード
講演名 2024-08-06 09:30
[招待講演]3D-NAND型メモリーにおけるワードラインの抵抗率低減
寺田 博東京エレクトロン)・山口克昌横井 翼鮫島 崇鈴木啓介東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・中村源志永井洋之東京エレクトロン
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文献情報 映情学技報
資料番号  
発行日  
ISSN Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IEICE-ICD IEICE-SDM IST  
開催期間 2024-08-05 - 2024-08-07 
開催地(和) 北海道大学 情報教育館3F スタジオ型多目的中講義室 
開催地(英)  
テーマ(和) アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路、低電圧・低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 
テーマ(英) Analog, Mixed Analog and Digital, RF, and Sensor Interface, Low Voltage/Low Power Techniques, Novel Devices/Circuits, and the Applications 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IEICE-SDM 
会議コード 2024-08-SDM-ICD-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 3D-NAND型メモリーにおけるワードラインの抵抗率低減 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Resistivity reduction of word lines in 3D-NAND memory 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 寺田 博 / Hiroshi Terada / テラダ ヒロシ
第1著者 所属(和/英) 東京エレクトロン株式会社 (略称: 東京エレクトロン)
Tokyo Electron Ltd. (略称: TEL)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 山口 克昌 / Katsumasa Yamaguchi / ヤマグチ カツマサ
第2著者 所属(和/英) 東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ株式会社 (略称: 東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)
Tokyo Electron Technology Solutions Ltd. (略称: TTS)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 横井 翼 / Tsubasa Yokoi / ヨコイ ツバサ
第3著者 所属(和/英) 東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ株式会社 (略称: 東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)
Tokyo Electron Technology Solutions Ltd. (略称: TTS)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 鮫島 崇 / Takashi Sameshima / サメシマ タカシ
第4著者 所属(和/英) 東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ株式会社 (略称: 東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)
Tokyo Electron Technology Solutions Ltd. (略称: TTS)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 鈴木 啓介 / Keisuke Suzuki / スズキ ケイスケ
第5著者 所属(和/英) 東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ株式会社 (略称: 東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)
Tokyo Electron Technology Solutions Ltd. (略称: TTS)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 中村 源志 / Genji Nakamura / ナカムラ ゲンジ
第6著者 所属(和/英) 東京エレクトロン株式会社 (略称: 東京エレクトロン)
Tokyo Electron Ltd. (略称: TEL)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 永井 洋之 / Hiroyuki Nagai / ナガイ ヒロユキ
第7著者 所属(和/英) 東京エレクトロン株式会社 (略称: 東京エレクトロン)
Tokyo Electron Ltd. (略称: TEL)
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講演者 第1著者 
発表日時 2024-08-06 09:30:00 
発表時間 45分 
申込先研究会 IEICE-SDM 
資料番号  
巻番号(vol) vol.48 
号番号(no)  
ページ範囲  
ページ数  
発行日  


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