| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2025-01-23 13:15
［ポスター講演］減圧CVDによる層状BNの膜形成の成長雰囲気依存性
○太田颯真・青池琉希・竹村 晃・中野颯斗・成瀬 匠・青山涼太・小南裕子・原 和彦（静岡大） |
| 抄録 |
（和） |
BCl3およびNH3を原料に用いる減圧CVDによりc面サファイア基板上に成長した層状BN薄膜について、成長雰囲気がBNの多形形成に与える影響を調べた。使用した雰囲気ガスのうち、N2およびAr雰囲気中では、主に形成される多形はr-BNであり、H2雰囲気中ではh-BNとr-BNが混在した膜が形成された。これらの結晶構造とC不純物濃度の関係から、h-BNからr-BNへの転移を促進する要因として膜中への炭素混入の影響を検討した。 |
| （英） |
The effect of growth atmosphere on the formation of BN polytypes was investigated for layered BN films grown on c-plane sapphire substrates by low-pressure CVD using BCl3 and NH3 as sources. Among the ambient gases, r-BN was predominantly formed in the N2 and Ar atmospheres, while a mixture of h-BN and r-BN films was formed in the H2 atmosphere. Based on the relationship between these crystal structures and C impurity concentrations, we discussed the effect of carbon incorporation into the films as a factor promoting the transition from h-BN to r-BN. |
| キーワード |
（和） |
窒化ホウ素 / 化学気相成長 / 結晶多形 / カソードルミネッセンス / / / / |
| （英） |
Boron nitride / Chemical vapor deposition / Polytype / Cathodoluminescence / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報 |
| 資料番号 |
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| 発行日 |
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| ISSN |
Online edition: ISSN 2424-1970 |
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