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抄録
資料番号
IDY
2018-03-08
15:50
東京
機械振興会館
［依頼講演］高信頼性酸化物TFT基板を実現するAlOスパッタリング法によるセルフアライン構造形成技術
○
林 宏
・
村井淳人
・
三浦正範
・
寺井康浩
・
大島宜浩
・
齊藤 徹
・
廣升泰信
・
荒井俊明
（
JOLED
）
ディスプレイの高精細化・高速駆動に適したセルフアライン型トップゲート酸化物TFTの新たな作製プロセスを開発した．本プロセ...
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IDY2018-21
pp.31-35
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