お知らせ ◆映像情報メディア学会における研究会の開催について (新型コロナウイルス関連)2021年7月21日更新
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IDY 2018-03-08
15:00
東京 機械振興会館 [依頼講演]TFT作製プロセスによりa-IGZO-TFTに導入される水素関連欠陥の光誘起電流過渡分光法による評価
林 和志越智元隆日野 綾後藤裕史釘宮敏洋神戸製鋼所
In-Ga-Zn-O(IGZO)に代表されるアモルファス酸化物半導体は、高い電子移動度が比較的容易に得られるため次世代高... [more] IDY2018-19
pp.21-26
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