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講演抄録/キーワード
講演名 2018-03-08 15:00
[依頼講演]TFT作製プロセスによりa-IGZO-TFTに導入される水素関連欠陥の光誘起電流過渡分光法による評価
林 和志越智元隆日野 綾後藤裕史釘宮敏洋神戸製鋼所
抄録 (和) In-Ga-Zn-O(IGZO)に代表されるアモルファス酸化物半導体は、高い電子移動度が比較的容易に得られるため次世代高精度FPD用材料として期待されている。しかしながら、各種ストレスに対する不安定性などの問題から、実際に量産に成功したメーカーは、現時点では一部に留まっている。TFT動作時のストレス不安定性は、TFTチャネル領域の電子状態の変化に起因する。本研究では、TFTのチャネル部の電子状態を明確化するために、光誘起電流過渡分光法(Photo-induced transient Spectroscopy: PITS)を適用し、TFT作製プロセス中に導入される水素関連欠陥の評価を行った。 
(英) Hydrogen-related trap states induced during a-IGZO TFT fabrication process were examined. The a-IGZO TFTs with various ESL deposition conditions were examined by means of photo-induced transient spectroscopy (PITS). The PITS measurements revealed that, as the flow rate of SiH4/N2O, the position of the peak changed from 110 to 160 K in the PITS spectra. Accordingly, a monotonous increase in width was observed. These results were successfully correlated with the threshold voltage shift originating from positive bias thermal and negative bias thermal illumination stresses.
キーワード (和) a-IGZO / トラップ準位 / TFT / 光誘起電流過渡分光法 / / / /  
(英) Amorphous In-Ga-Zn-O / Trap states / Thin-film transistor / Photo-induced transient spectroscopy / / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 42, no. 8, IDY2018-19, pp. 21-26, 2018年3月.
資料番号 IDY2018-19 
発行日 2018-03-01 (IDY) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IDY  
開催期間 2018-03-08 - 2018-03-08 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム2018 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IDY 
会議コード 2018-03-IDY 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) TFT作製プロセスによりa-IGZO-TFTに導入される水素関連欠陥の光誘起電流過渡分光法による評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Photo-Induced Transient Spectroscopy Study on Hydrogen-Related Trap States in a-IGZO-TFTs induced during TFT Fabrication Process 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) a-IGZO / Amorphous In-Ga-Zn-O  
キーワード(2)(和/英) トラップ準位 / Trap states  
キーワード(3)(和/英) TFT / Thin-film transistor  
キーワード(4)(和/英) 光誘起電流過渡分光法 / Photo-induced transient spectroscopy  
キーワード(5)(和/英) /  
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キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 林 和志 / Kazushi Hayashi / ハヤシ カズシ
第1著者 所属(和/英) 株式会社神戸製鋼所 (略称: 神戸製鋼所)
Kobe Steel, Ltd. (略称: Kobe Steel)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 越智 元隆 / Mototaka Ochi / オチ モトタカ
第2著者 所属(和/英) 株式会社神戸製鋼所 (略称: 神戸製鋼所)
Kobe Steel, Ltd. (略称: Kobe Steel)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 日野 綾 / Aya Hino / ヒノ アヤ
第3著者 所属(和/英) 株式会社神戸製鋼所 (略称: 神戸製鋼所)
Kobe Steel, Ltd. (略称: Kobe Steel)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 後藤 裕史 / Hiroshi Goto / ゴトウ ヒロシ
第4著者 所属(和/英) 株式会社神戸製鋼所 (略称: 神戸製鋼所)
Kobe Steel, Ltd. (略称: Kobe Steel)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 釘宮 敏洋 / Toshihiro Kugimiya / クギミヤ トシヒロ
第5著者 所属(和/英) 株式会社神戸製鋼所 (略称: 神戸製鋼所)
Kobe Steel, Ltd. (略称: Kobe Steel)
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講演者
発表日時 2018-03-08 15:00:00 
発表時間 25 
申込先研究会 IDY 
資料番号 ITE-IDY2018-19 
巻番号(vol) ITE-42 
号番号(no) no.8 
ページ範囲 pp.21-26 
ページ数 ITE-6 
発行日 ITE-IDY-2018-03-01 


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