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講演抄録/キーワード
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低Noise/高飽和電荷量CMOS Image Sensorの開発
糸長総一郎水田恭平片岡豊隆池田晴美柳田将志石渡弘明田中裕介若野寿史的場義久大石哲也山本 亮荒川伸一小町 潤勝俣幹生渡邉慎也ソニー
抄録 (和) PD領域のSi基板をエッチングしない画素専用素子分離(FLAT isolation)と専用トランジスタ(FLAT transistor)を新規開発し、従来にない低ダメージCMOS Image Sensor(CIS)を開発した。本技術により、従来比でSi-SiO2の界面準位密度を大幅に低減し、低1/f noise/低暗電流(2桁減)、高飽和信号電荷量(1.6倍)を同時に満たす世界最小1.12m pitch pixel CISを実現したので報告する。 
(英) We have developed a flat device structure, which we call “FLAT”, with no isolation grooves/ridges and no Si substrate etching in the imaging area of the CMOS Image Sensor (CIS). We employed this FLAT structure to achieve a 1.12 μm pitch pixel CIS with a 1.25 transistor/pixel architecture and excellent image quality. It uses FLAT transistors (Trs) that generate greatly-reduced 1/f noise, and FLAT isolators (Isos) that increase the saturation capacity (Qs) due to increasing both effective photodiode (PD) area and PD potential under low dark current.
キーワード (和) 素子分離 / 暗電流 / 共有画素 / ノイズ / RTN / 1/f / ダメージ / 欠陥  
(英) isolation / dark current / shared pixel / noise / RTN / 1/f / damage / defect  
文献情報 映情学技報
資料番号  
発行日  
ISSN  
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研究会情報
研究会 IST CE  
開催期間 2012-03-30 - 2012-03-30 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 固体撮像技術および一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2012-03-IST-CE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 低Noise/高飽和電荷量CMOS Image Sensorの開発 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Extremely-Low-Noise CMOS Image Sensor with High Saturation Capacity 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 素子分離 / isolation  
キーワード(2)(和/英) 暗電流 / dark current  
キーワード(3)(和/英) 共有画素 / shared pixel  
キーワード(4)(和/英) ノイズ / noise  
キーワード(5)(和/英) RTN / RTN  
キーワード(6)(和/英) 1/f / 1/f  
キーワード(7)(和/英) ダメージ / damage  
キーワード(8)(和/英) 欠陥 / defect  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 糸長 総一郎 / Kazuichiroh Itonaga / イトナガ カズイチロウ
第1著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 水田 恭平 / Kyohei Mizuta / ミズタ キョウヘイ
第2著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 片岡 豊隆 / Toyotaka Kataoka / カタオカ トヨタカ
第3著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 池田 晴美 / Harumi Ikeda / イケダ ハルミ
第4著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 柳田 将志 / Masashii Yanagita / ヤナギタ マサシ
第5著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 石渡 弘明 / Hiroaki Ishiwata / イシワタ ヒロアキ
第6著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 田中 裕介 / Yusuke Tanaka / タナカ ユウスケ
第7著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 若野 寿史 / Takashi Wakano / ワカノ タカシ
第8著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 的場 義久 / Yoshihisa Matoba / マトバ ヨシヒサ
第9著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 大石 哲也 / Tetsuya Oishi / オオイシ テツヤ
第10著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 山本 亮 / Ryou Yamamoto / ヤマモト リョウ
第11著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) 荒川 伸一 / Shinichi Arakawa / アラカワ シンイチ
第12著者 所属(和/英) ソニー株式会社九州株式会社 (略称: ソニー)
SCK (略称: Sony)
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) 小町 潤 / Jun Komachi / コマチ ジュン
第13著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) 勝俣 幹生 / Mikio Katsumata / ミキオ カツマタ
第14著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡邉 慎也 / Shinya Watanabe / ワタナベ シンヤ
第15著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony (略称: Sony)
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講演者 第1著者 
発表日時 0000-00-00 00:00:00 
発表時間 分 
申込先研究会 IST 
資料番号  
巻番号(vol) vol. 
号番号(no)  
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ページ数  
発行日  


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