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講演抄録/キーワード
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CMOS-MEMS技術を用いたファブリ・ペロー干渉計による非標識タンパク質センサ
小澤 遼高橋一浩大山泰生二川雅登太斎文博石田 誠澤田和明豊橋技科大
抄録 (和) 本研究では,超高感度に表面応力の検出が可能なファブリ・ペロー型MEMSセンサと信号処理回路の集積化プロセス技術の開発を行った.提案するセンサは,ファブリ・ペロー干渉を利用し,膜の変位を透過率の変化に変換し,フォトダイオードで信号を読み出すことにより,非標識にタンパク質を検出することができる.センサの理論的最少検出限界は1 N/mで,これは従来のピエゾ型を二ケタ上回る.2次元にアレイ化されたMEMSセンサからの微小な光電流は集積化されたソースフォロワ回路と選択回路によって信号処理することで読み出される.製作したMOS回路およびMEMSセンサの動作を確認し,集積化プロセス技術の確立に成功した.この集積化MEMSセンサアレイは複数のガンのスクリーニング検査に適用することが可能である. 
(英) We have developed a CMOS-MEMS-based label-free protein sensor, which utilizes nonlinear optical transmittance change by the Fabry-Perot interference to enhance the sensitivity of surface-stress. Theoretical minimum detectable surface stress of the proposed sensor is predicted -1 N/m which is two orders of magnitude above the peizoresistive type. A read-out tiny photocurrent from the multidimensional arrayed MEMS sensor is signal-processed by integrated source follower circuit, selector, and decoder. We successfully demonstrated the MOSFET and MEMS sensor and established the heterogeneous integration process. The integrated MEMS sensor array can be used for screening analysis for any cancers.
キーワード (和) ファブリペロー干渉計 / 表面応力 / タンパク質 / 非標識 / 集積化 / / /  
(英) Fabry-Perot interference / surface-stress / protein / label-free / heterogeneous integration / / /  
文献情報 映情学技報
資料番号  
発行日  
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2013-03-22 - 2013-03-22 
開催地(和) NHK放送技術研究所 
開催地(英) NHK Science & Technology Research Laboratories 
テーマ(和) 固体撮像技術および一般 
テーマ(英) Image Sensors, etc 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2013-03-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) CMOS-MEMS技術を用いたファブリ・ペロー干渉計による非標識タンパク質センサ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A CMOS-MEMS-Based Label-Free Protein Sensor Using Fabry-Perot Interferometer 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ファブリペロー干渉計 / Fabry-Perot interference  
キーワード(2)(和/英) 表面応力 / surface-stress  
キーワード(3)(和/英) タンパク質 / protein  
キーワード(4)(和/英) 非標識 / label-free  
キーワード(5)(和/英) 集積化 / heterogeneous integration  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 小澤 遼 / Ryo Ozawa / オザワ リョウ
第1著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: Toyohashi Tech.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 高橋 一浩 / Kazuhiro Takahashi / タカハシ カズヒロ
第2著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: Toyohashi Tech.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 大山 泰生 / Hiroki Oyama / オオヤマ ヒロキ
第3著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: Toyohashi Tech.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 二川 雅登 / Masato Futagawa / フタガワ マサト
第4著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: Toyohashi Tech.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 太斎 文博 / Fumihiro Dasai / ダサイ フミヒロ
第5著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: Toyohashi Tech.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 石田 誠 / Makoto Ishida / イシダ マコト
第6著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: Toyohashi Tech.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 澤田 和明 / Kazuaki Sawada / サワダ カズアキ
第7著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: Toyohashi Tech.)
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講演者
発表日時 0000-00-00 00:00:00 
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申込先研究会 IST 
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