| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
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CMOS-MEMS技術を用いたファブリ・ペロー干渉計による非標識タンパク質センサ
○小澤 遼・高橋一浩・大山泰生・二川雅登・太斎文博・石田 誠・澤田和明（豊橋技科大） |
| 抄録 |
（和） |
本研究では，超高感度に表面応力の検出が可能なファブリ・ペロー型MEMSセンサと信号処理回路の集積化プロセス技術の開発を行った．提案するセンサは，ファブリ・ペロー干渉を利用し，膜の変位を透過率の変化に変換し，フォトダイオードで信号を読み出すことにより，非標識にタンパク質を検出することができる．センサの理論的最少検出限界は1 N/mで，これは従来のピエゾ型を二ケタ上回る．２次元にアレイ化されたMEMSセンサからの微小な光電流は集積化されたソースフォロワ回路と選択回路によって信号処理することで読み出される．製作したMOS回路およびMEMSセンサの動作を確認し，集積化プロセス技術の確立に成功した．この集積化MEMSセンサアレイは複数のガンのスクリーニング検査に適用することが可能である． |
| （英） |
We have developed a CMOS-MEMS-based label-free protein sensor, which utilizes nonlinear optical transmittance change by the Fabry-Perot interference to enhance the sensitivity of surface-stress. Theoretical minimum detectable surface stress of the proposed sensor is predicted -1 N/m which is two orders of magnitude above the peizoresistive type. A read-out tiny photocurrent from the multidimensional arrayed MEMS sensor is signal-processed by integrated source follower circuit, selector, and decoder. We successfully demonstrated the MOSFET and MEMS sensor and established the heterogeneous integration process. The integrated MEMS sensor array can be used for screening analysis for any cancers. |
| キーワード |
（和） |
ファブリペロー干渉計 / 表面応力 / タンパク質 / 非標識 / 集積化 / / / |
| （英） |
Fabry-Perot interference / surface-stress / protein / label-free / heterogeneous integration / / / |
| 文献情報 |
映情学技報 |
| 資料番号 |
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| 発行日 |
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| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
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