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講演抄録／キーワード
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1.12umセル低ノイズ表面照射型導波路構造イメージセンサ：SmartFSI®
○仙石直久・平田達也・立川景士・中村哲也・渡辺尚志・宮川良平・大槻浩久・大野重幸・武田友胤・山本浩一・鈴木　繁・矢野　尚・折笠憲一・網川裕之・荻田進一（パナソニック）
抄録 （和） 1.12umセルサイズ低ノイズ表面照射型導波路構造イメージセンサ：SmartFSI®を開発した。独自の屈曲ライトパイプ構造の採用、画素レイアウトやフォトダイオード部のポテンシャルの最適化等により、BSIを凌駕する量子効率72%の高感度と、読み出しノイズ0.9eleの低ノイズを実現した。 
（英） We have developed 1.12um cell size low-noise front side illumination (FSI) CMOS image sensor with light pipe: SmartFSI®. Adopting unique bended light pipe structure, and optimizing cell layout and potential profile in photo diode, we realized quite high quantum efficiency (QE) of 72% and low read-out noise of 0.9ele, which exceeds the performance of backside illumination (BSI) image sensors.
キーワード （和） イメージセンサ / FSI / 1.12umセル / ライトパイプ / CRA / / /  
（英） Image sensor / FSI / 1.12um cell / light pipe / CRA / / /  
文献情報 映情学技報
資料番号  
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研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2013-03-22 - 2013-03-22 
開催地（和） NHK放送技術研究所 
開催地（英） NHK Science & Technology Research Laboratories 
テーマ（和） 固体撮像技術および一般 
テーマ（英） Image Sensors, etc 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2013-03-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル（和） 1.12umセル低ノイズ表面照射型導波路構造イメージセンサ：SmartFSI® 
サブタイトル（和）  
タイトル（英） 1.12um Cell Low-Noise Front Side Illumination Image Sensors with Light Pipe: SmartFSI® 
サブタイトル（英）  
キーワード(1)（和/英） イメージセンサ / Image sensor  
キーワード(2)（和/英） FSI / FSI  
キーワード(3)（和/英） 1.12umセル / 1.12um cell  
キーワード(4)（和/英） ライトパイプ / light pipe  
キーワード(5)（和/英） CRA / CRA  
キーワード(6)（和/英） /  
キーワード(7)（和/英） /  
キーワード(8)（和/英） /  
第1著者 氏名（和/英/ヨミ） 仙石 直久 / Naohisa Sengoku / センゴク ナオヒサ
第1著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第2著者 氏名（和/英/ヨミ） 平田 達也 / Tatsuya Hirata / ヒラタ タツヤ
第2著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第3著者 氏名（和/英/ヨミ） 立川 景士 / Keishi Tachikawa / タチカワ ケイシ
第3著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第4著者 氏名（和/英/ヨミ） 中村 哲也 / Tetsuya Nakamura / ナカムラ テツヤ
第4著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第5著者 氏名（和/英/ヨミ） 渡辺 尚志 / Hisashi Watanabe / ワタナベ ヒサシ
第5著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第6著者 氏名（和/英/ヨミ） 宮川 良平 / Ryohei Miyagawa / ミヤガワ リョウヘイ
第6著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第7著者 氏名（和/英/ヨミ） 大槻 浩久 / Hirohisa Ohtsuki / オオツキ ヒロヒサ
第7著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第8著者 氏名（和/英/ヨミ） 大野 重幸 / Shigeyuki Ohno / オオノ シゲユキ
第8著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第9著者 氏名（和/英/ヨミ） 武田 友胤 / Tomotsugu Takeda / タケダ トモツグ
第9著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第10著者 氏名（和/英/ヨミ） 山本 浩一 / Kouichi Yamamoto / ヤマモト コウイチ
第10著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第11著者 氏名（和/英/ヨミ） 鈴木 繁 / Shigeru Suzuki / スズキ シゲル
第11著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第12著者 氏名（和/英/ヨミ） 矢野 尚 / Hisashi Yano / ヤノ ヒサシ
第12著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第13著者 氏名（和/英/ヨミ） 折笠 憲一 / Ken-ichi Origasa / オリガサ ケンイチ
第13著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第14著者 氏名（和/英/ヨミ） 網川 裕之 / Hiroyuki Amikawa / アミカワ ヒロユキ
第14著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第15著者 氏名（和/英/ヨミ） 荻田 進一 / Shin-ichi Ogita / オギタ シンイチ
第15著者 所属（和/英） パナソニック? (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
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講演者 第1著者 
発表日時 0000-00-00 00:00:00 
発表時間 分 
申込先研究会 IST 
資料番号  
巻番号（vol） vol. 
号番号（no）  
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ページ数  
発行日  

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