| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2009-07-24 13:25
CMOSイメージセンサの画素トランジスタのノイズ測定
山岸世明・小原崇弘・藤澤孝文・阿部健一・○須川成利（東北大） |
| 抄録 |
（和） |
CMOSイメージセンサの画素ソースフォロアトランジスタについて，ゲートポリシリコンのコンタクトが素子分離領域上にあるトランジスタとアクティブ領域上にあるトランジスタから成るアレイテスト回路を作成し，しきい値電圧ばらつきとランダムノイズを比較測定した．また，読出し回路系のノイズを0.5e-（入力換算）まで低減したLOFIC CMOSイメージセンサを用いて，画素トランジスタで発生するランダムノイズの動作条件依存性を測定した．本稿ではこれらの結果について論じる． |
| （英） |
Threshold voltage variation and random noise generated in pixel source follower transistors of a CMOS image sensor have been measured by using an array test circuits consisting of the transistors whose electric contacts of the gate poly-silicon are on the isolation region and on the active region. Moreover, operating condition dependency of the random noise generated by pixel transistors have been measured with a LOFIC CMOS image sensor in which the noise of the readout circuits have reduced to about 0.5e- (input referred). In this paper, these results are discussed. |
| キーワード |
（和） |
CMOSイメージセンサ / RTSノイズ / アレイテスト回路 / / / / / |
| （英） |
CMOS Image Sensor / RTS Noise / Array Test Circuits / / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 33, no. 30, IST2009-37, pp. 5-8, 2009年7月. |
| 資料番号 |
IST2009-37 |
| 発行日 |
2009-07-17 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 |
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