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講演抄録/キーワード
講演名 2011-11-18 15:50
[招待講演]原子レベル平坦化Si表面を用いた紫外光高感度・高信頼性フォトダイオード
黒田理人中澤泰希幸田安真半澤克彦須川成利東北大
抄録 (和) 紫外光に対する高い感度と,紫外光照射に対して高い安定性・長期信頼性を有する,原子レベル平坦化Si表面を用いたフォトダイオードを試作・評価した.本稿では,(100)面のSi表面の原子レベル平坦化技術,及び表面の原子レベル平坦性を維持可能とする集積化プロセス技術をまとめ,紫外光に対する高感度化と紫外光照射耐性向上の鍵となる,均一かつ極薄な表面光電荷ドリフト層の形成方法とその効果について論じる. 
(英) This reports demonstrates the highly ultraviolet light sensitive and highly reliable photodiode using atomically flat Si surface. Technologies to atomically flatten Si(100) orientated surface and integration process technologies to preserve the atomic flatness are summarized. The key technologies to form the ultrathin and uniform surface photo-generated carrier drift layer and its effectiveness to the sensitivity improvement to ultraviolet light and reliability improvement to ultraviolet light exposure are reported.
キーワード (和) フォトダイオード / 紫外光 / 原子レベル平坦化Si表面 / / / / /  
(英) Photodiode / Ultraviolet light / Atomically Flat Si Surface / / / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 35, no. 47, IST2011-74, pp. 25-31, 2011年11月.
資料番号 IST2011-74 
発行日 2011-11-11 (IST) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970

研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2011-11-18 - 2011-11-18 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 2011 International Image Sensor Workshop (IISW)関連およびイメージセンサ一般 
テーマ(英) 2011 International Image Sensor Workshop (IISW), etc 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2011-11-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 原子レベル平坦化Si表面を用いた紫外光高感度・高信頼性フォトダイオード 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Highly Ultraviolet Light Sensitive and Highly Reliable Photodiode with Atomically Flat Si Surface 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) フォトダイオード / Photodiode  
キーワード(2)(和/英) 紫外光 / Ultraviolet light  
キーワード(3)(和/英) 原子レベル平坦化Si表面 / Atomically Flat Si Surface  
キーワード(4)(和/英) /  
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キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tonoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 中澤 泰希 / Taiki Nakazawa / ナカザワ タイキ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tonoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 幸田 安真 / Yasumasa Koda / コウダ ヤスマサ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tonoku Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 半澤 克彦 / Katsuhiko Hanzawa / ハンザワ カツヒコ
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tonoku Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ
第5著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tonoku Univ.)
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講演者
発表日時 2011-11-18 15:50:00 
発表時間 50 
申込先研究会 IST 
資料番号 ITE-IST2011-74 
巻番号(vol) ITE-35 
号番号(no) no.47 
ページ範囲 pp.25-31 
ページ数 ITE-7 
発行日 ITE-IST-2011-11-11 


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