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講演抄録／キーワード
講演名 2012-03-30 15:45
A 1.4um front-side illuminated image sensor with novel light guiding structure consisting of stacked lightpipes
○Hisashi Watanabe・Jun Hirai・Motonari Katsuno・Keishi Tachikawa・Masao Kataoka・Saori Kawagishi・Hiroko Kubo・Hisashi Yano・Shigeru Suzuki・Gen Okazaki・Kouichi Yamamoto・Hiroshi Fujinaka・Takashi Fujioka・Masakatsu Suzuki（Panasonic）
抄録 （和） 高屈折率のシリコン窒化膜で形成した光導波路上に、低屈折率のシリコン酸化膜でカラーフィルタ間に分離した新規光学構造を有する1.4m画素の表面照射(FSI)型イメージセンサ。高性能を実現するために、300mmウェハの45nmCuプロセスを採用し、裏面照射(BSI)型イメージセンサを凌駕する75%の量子効率と40°の入射角特性を実現した。 
（英） A frontside illuminated image (FSI) sensor with novel light guiding structures consisting of stacked lightpipes was developed using 45nm Cu processing on 300 mm wafers. We demonstrated a high quantum efficiency (QE) of 75% and maximum incident angle of 40º, which exceeds the performance of backside illuminated image (BSI) sensors [1,2,3].
キーワード （和） イメージセンサ / FSI / 導波路 / カラー隔壁構造 / 1.4μm 画素 / / /  
（英） Image sensor / FSI / Lightpipe / Separation wall / 1.4μm pixel / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 36, no. 18, IST2012-14, pp. 37-40, 2012年3月.
資料番号 IST2012-14 
発行日 2012-03-23 (IST, CE) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893
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研究会情報
研究会 IST CE  
開催期間 2012-03-30 - 2012-03-30 
開催地（和） 機械振興会館 
開催地（英） Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ（和） 固体撮像技術および一般 
テーマ（英）  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2012-03-IST-CE 
本文の言語 英語 
タイトル（和）  
サブタイトル（和）  
タイトル（英） A 1.4um front-side illuminated image sensor with novel light guiding structure consisting of stacked lightpipes 
サブタイトル（英）  
キーワード(1)（和/英） イメージセンサ / Image sensor  
キーワード(2)（和/英） FSI / FSI  
キーワード(3)（和/英） 導波路 / Lightpipe  
キーワード(4)（和/英） カラー隔壁構造 / Separation wall  
キーワード(5)（和/英） 1.4μm 画素 / 1.4μm pixel  
キーワード(6)（和/英） /  
キーワード(7)（和/英） /  
キーワード(8)（和/英） /  
第1著者 氏名（和/英/ヨミ） 渡辺 尚志 / Hisashi Watanabe / ワタナベ ヒサシ
第1著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第2著者 氏名（和/英/ヨミ） 平井 純 / Jun Hirai / ヒライ ジュン
第2著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第3著者 氏名（和/英/ヨミ） 勝野 元成 / Motonari Katsuno / カツノ モトナリ
第3著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第4著者 氏名（和/英/ヨミ） 立川 景士 / Keishi Tachikawa / タチカワ ケイシ
第4著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第5著者 氏名（和/英/ヨミ） 片岡 雅雄 / Masao Kataoka / カタオカ マサオ
第5著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第6著者 氏名（和/英/ヨミ） 河岸 沙織 / Saori Kawagishi / カワギシ サオリ
第6著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第7著者 氏名（和/英/ヨミ） 久保 裕子 / Hiroko Kubo / クボ ヒロコ
第7著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第8著者 氏名（和/英/ヨミ） 矢野 尚 / Hisashi Yano / ヤノ ヒサシ
第8著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第9著者 氏名（和/英/ヨミ） 鈴木 繁 / Shigeru Suzuki / スズキ シゲル
第9著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第10著者 氏名（和/英/ヨミ） 岡崎 玄 / Gen Okazaki / オカザキ ゲン
第10著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第11著者 氏名（和/英/ヨミ） 山本 浩一 / Kouichi Yamamoto / ヤマモト コウイチ
第11著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第12著者 氏名（和/英/ヨミ） 藤中 洋 / Hiroshi Fujinaka / フジナカ ヒロシ
第12著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第13著者 氏名（和/英/ヨミ） 藤岡 崇志 / Takashi Fujioka / フジオカ タカシ
第13著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
第14著者 氏名（和/英/ヨミ） 鈴木 政勝 / Masakatsu Suzuki / スズキ マサカツ
第14著者 所属（和/英） パナソニック株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Corporation (略称： Panasonic)
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講演者 第1著者 
発表日時 2012-03-30 15:45:00 
発表時間 30分 
申込先研究会 IST 
資料番号 IST2012-14, CE2012-26 
巻番号（vol） vol.36 
号番号（no） no.18 
ページ範囲 pp.37-40 
ページ数 4 
発行日 2012-03-23 (IST, CE) 

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