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講演抄録/キーワード
講演名 2012-03-30 15:45
A 1.4um front-side illuminated image sensor with novel light guiding structure consisting of stacked lightpipes
Hisashi WatanabeJun HiraiMotonari KatsunoKeishi TachikawaMasao KataokaSaori KawagishiHiroko KuboHisashi YanoShigeru SuzukiGen OkazakiKouichi YamamotoHiroshi FujinakaTakashi FujiokaMasakatsu SuzukiPanasonic
抄録 (和) 高屈折率のシリコン窒化膜で形成した光導波路上に、低屈折率のシリコン酸化膜でカラーフィルタ間に分離した新規光学構造を有する1.4m画素の表面照射(FSI)型イメージセンサ。高性能を実現するために、300mmウェハの45nmCuプロセスを採用し、裏面照射(BSI)型イメージセンサを凌駕する75%の量子効率と40°の入射角特性を実現した。 
(英) A frontside illuminated image (FSI) sensor with novel light guiding structures consisting of stacked lightpipes was developed using 45nm Cu processing on 300 mm wafers. We demonstrated a high quantum efficiency (QE) of 75% and maximum incident angle of 40º, which exceeds the performance of backside illuminated image (BSI) sensors [1,2,3].
キーワード (和) イメージセンサ / FSI / 導波路 / カラー隔壁構造 / 1.4μm 画素 / / /  
(英) Image sensor / FSI / Lightpipe / Separation wall / 1.4μm pixel / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 36, no. 18, IST2012-14, pp. 37-40, 2012年3月.
資料番号 IST2012-14 
発行日 2012-03-23 (IST, CE) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893
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研究会情報
研究会 IST CE  
開催期間 2012-03-30 - 2012-03-30 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 固体撮像技術および一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2012-03-IST-CE 
本文の言語 英語 
タイトル(和)  
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A 1.4um front-side illuminated image sensor with novel light guiding structure consisting of stacked lightpipes 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) イメージセンサ / Image sensor  
キーワード(2)(和/英) FSI / FSI  
キーワード(3)(和/英) 導波路 / Lightpipe  
キーワード(4)(和/英) カラー隔壁構造 / Separation wall  
キーワード(5)(和/英) 1.4μm 画素 / 1.4μm pixel  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡辺 尚志 / Hisashi Watanabe / ワタナベ ヒサシ
第1著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 平井 純 / Jun Hirai / ヒライ ジュン
第2著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 勝野 元成 / Motonari Katsuno / カツノ モトナリ
第3著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 立川 景士 / Keishi Tachikawa / タチカワ ケイシ
第4著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 片岡 雅雄 / Masao Kataoka / カタオカ マサオ
第5著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 河岸 沙織 / Saori Kawagishi / カワギシ サオリ
第6著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 久保 裕子 / Hiroko Kubo / クボ ヒロコ
第7著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 矢野 尚 / Hisashi Yano / ヤノ ヒサシ
第8著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 鈴木 繁 / Shigeru Suzuki / スズキ シゲル
第9著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 岡崎 玄 / Gen Okazaki / オカザキ ゲン
第10著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 山本 浩一 / Kouichi Yamamoto / ヤマモト コウイチ
第11著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤中 洋 / Hiroshi Fujinaka / フジナカ ヒロシ
第12著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤岡 崇志 / Takashi Fujioka / フジオカ タカシ
第13著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) 鈴木 政勝 / Masakatsu Suzuki / スズキ マサカツ
第14著者 所属(和/英) パナソニック株式会社 (略称: パナソニック)
Panasonic Corporation (略称: Panasonic)
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講演者 第1著者 
発表日時 2012-03-30 15:45:00 
発表時間 30分 
申込先研究会 IST 
資料番号 IST2012-14, CE2012-26 
巻番号(vol) vol.36 
号番号(no) no.18 
ページ範囲 pp.37-40 
ページ数
発行日 2012-03-23 (IST, CE) 


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