| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2013-03-15 13:05
［招待講演］フェーズドアレイシステムを用いた高精細フラットパネル配線の非接触検査手法
○羽森 寛（OHT）・片桐英樹（広島大）・加藤浩介（広島工大） |
| 抄録 |
（和） |
フラットパネルの画質は近年飛躍的な進歩を遂げ、4k、8kといった超高精細モデルも現実的なものとなりつつある．一方で、それらを安定して生産するための製造歩留まり確保にはまだ多くの課題を残している．製造歩留まりを改善する方法としては、中間工程で早期に欠陥を見つけだしそれらを修復することで正常品へと復活させるリペアシステムが運用されているが、高精細パネル内の欠陥については安定した欠陥検出手法がなく、検出できなかった欠陥は最終検査で検出されパネルそのものが破棄されることとなる．本稿では、高精細パネルにおける配線の断線、短絡などの電気的欠陥に着目し、フェーズドアレイの原理を利用した非接触検査手法を提案するとともに、その有用性について実験データをもとに述べる． |
| （英） |
The quality of images on flat panels has been improving remarkably in recent years and as a result ultra high definition TVs such as 4K and 8K have become a reality today. However, manufacturers are yet to resolve many problems when a stable product line with a high throughput is considered. As a way of improving production yield, though there is a repair system that can detect electrical defects on normal flat panels in early stages of manufacturing process and repair them, there is still no method to detect defects on ultra high resolution panels. If those defects are not detected on early stages and only detected in the final stage then the panel will become useless. In this paper we propose a non-contact inspection technique based on phased array principle, that detects open circuits and close circuits on wirings of ultra high resolution flat panels and the experimental results reveal that the this method is useful and efficient for detecting electrical defects. |
| キーワード |
（和） |
電気検査 / 高精細配線 / フェーズドアレイ / 非接触 / / / / |
| （英） |
Electrical Inspection / High Resolution Pattern / Phased array / Non-Contact / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 37, no. 16, IDY2013-16, pp. 1-6, 2013年3月. |
| 資料番号 |
IDY2013-16 |
| 発行日 |
2013-03-08 (IDY) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 |
| PDFダウンロード |
|
| 研究会情報 |
| 研究会 |
IDY |
| 開催期間 |
2013-03-15 - 2013-03-15 |
| 開催地（和） |
機械振興会館 |
| 開催地（英） |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） |
ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム |
| テーマ（英） |
|
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
IDY |
| 会議コード |
2013-03-IDY |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
フェーズドアレイシステムを用いた高精細フラットパネル配線の非接触検査手法 |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
A Fast Non-Contact Inspection Method through Phased Array Systems for High Resolution Flat Panel Pattern |
| サブタイトル（英） |
|
| キーワード(1)（和/英） |
電気検査 / Electrical Inspection |
| キーワード(2)（和/英） |
高精細配線 / High Resolution Pattern |
| キーワード(3)（和/英） |
フェーズドアレイ / Phased array |
| キーワード(4)（和/英） |
非接触 / Non-Contact |
| キーワード(5)（和/英） |
/ |
| キーワード(6)（和/英） |
/ |
| キーワード(7)（和/英） |
/ |
| キーワード(8)（和/英） |
/ |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
羽森 寛 / Hiroshi Hamori / ハモリ ヒロシ |
| 第1著者 所属（和/英） |
オー・エイチ・ティー株式会社 (略称： OHT)
OHT (略称： OHT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
片桐 英樹 / Hideki Katagiri / カタギリ ヒデキ |
| 第2著者 所属（和/英） |
広島大学大学院 (略称： 広島大)
Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
加藤 浩介 / Kosuke Kato / カトウ コウス |
| 第3著者 所属（和/英） |
広島工業大学 (略称： 広島工大)
Hiroshima Institute of Technology (略称： HIT) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第4著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第5著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第6著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第7著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第8著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第9著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第10著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第11著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第12著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第13著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第14著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第15著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第16著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第17著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第18著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第19著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第19著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第20著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第20著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第21著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第21著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第22著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第22著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第23著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第23著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第24著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第24著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第25著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第25著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第26著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第26著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第27著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第27著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第28著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第28著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第29著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第29著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第30著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第30著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第31著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第31著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第32著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第32著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第33著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第33著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第34著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第34著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第35著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第35著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第36著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第36著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2013-03-15 13:05:00 |
| 発表時間 |
35分 |
| 申込先研究会 |
IDY |
| 資料番号 |
IDY2013-16 |
| 巻番号（vol） |
vol.37 |
| 号番号（no） |
no.16 |
| ページ範囲 |
pp.1-6 |
| ページ数 |
6 |
| 発行日 |
2013-03-08 (IDY) |