お知らせ ◆映像情報メディア学会における研究会の開催について (新型コロナウイルス関連)2021年7月21日更新
映像情報メディア学会 研究会発表申込システム
講演論文 詳細
技報閲覧サービス
技報オンライン
 トップに戻る 前のページに戻る   [Japanese] / [English] 

講演抄録/キーワード
講演名 2014-03-14 12:00
1.2um裏面照射型イメージセンサにおける飽和信号増大と混色抑制のための三次元構造
篠原武一渡辺一史ソニーセミコンダクタ)・○阿部高志太田和伸ソニー)・中山 創ソニーセミコンダクタ)・森川隆史大野圭一ソニー)・杉本 大ソニーセミコンダクタ)・門村新吾平山照峰ソニー
抄録 (和) 新規に開発した1.20μm画素の裏面照射型CMOSイメージセンサに搭載した縦型転送ゲート(VTG)と埋め込み遮光メタル(BSM)に関して報告する。どちらの技術もSi基板内に絶縁材料と導電材料を埋め込んだ、三次元的な構造を持っている。我々は白点や暗電流、信頼性を悪化させることなく、VTGでは約60%の飽和特性の向上、BSMでは斜め光に対する混色を50%程度に抑える効果を実現した。 
(英) We propose two technologies, vertical transfer gate (VTG) and buried shielding metal (BSM), that can be applied to 1.20 μm pixel back-illuminated CMOS image sensor (BI-CIS). With the VTG and BSM, the new pixel design exhibited 60% higher saturation signals and 50% lower crosstalk at wide chief ray angle (CRA). Even though both technologies have a three-dimensional structure formed on Si substrate, our process technology enabled them to be applied without increasing white blemish count or dark current degradation.
キーワード (和) CMOSイメージセンサ / 裏面照射型CIS / 三次元構造 / 飽和信号 / クロストーク / VTG / BSM /  
(英) CMOS image sensor / Back-illuminated CIS / three-dimensional structure / saturation signals / crosstalk / VTG / BSM /  
文献情報 映情学技報, vol. 38, no. 15, IST2014-10, pp. 7-10, 2014年3月.
資料番号 IST2014-10 
発行日 2014-03-07 (IST) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970
PDFダウンロード

研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2014-03-14 - 2014-03-14 
開催地(和) NHK放送技術研究所 
開催地(英) NHK 
テーマ(和) 固体撮像技術および一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2014-03-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 1.2um裏面照射型イメージセンサにおける飽和信号増大と混色抑制のための三次元構造 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Three-dimensional Structures for High Saturation Signals and Crosstalk Suppression in 1.20 um Pixel Back-Illuminated CMOS Image Sensor 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) CMOSイメージセンサ / CMOS image sensor  
キーワード(2)(和/英) 裏面照射型CIS / Back-illuminated CIS  
キーワード(3)(和/英) 三次元構造 / three-dimensional structure  
キーワード(4)(和/英) 飽和信号 / saturation signals  
キーワード(5)(和/英) クロストーク / crosstalk  
キーワード(6)(和/英) VTG / VTG  
キーワード(7)(和/英) BSM / BSM  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 篠原 武一 / Takekazu Shinohara / シノハラ タケカズ
第1著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタ)
Sony Semiconductor Corporation (略称: Sony Semiconductor)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡辺 一史 / Kazufumi Watanabe / ワタナベ カズフミ
第2著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタ)
Sony Semiconductor Corporation (略称: Sony Semiconductor)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 阿部 高志 / Takashi Abe / アベ タカシ
第3著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony Corporation (略称: Sony)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 太田 和伸 / Kazunobu Ohta / オオタ カズノブ
第4著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony Corporation (略称: Sony)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 中山 創 / Hajime Nakayama / ナカヤマ ハジメ
第5著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタ)
Sony Semiconductor Corporation (略称: Sony Semiconductor)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 森川 隆史 / Takafumi Morikawa / モリカワ タカフミ
第6著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony Corporation (略称: Sony)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 大野 圭一 / Keiichi Ohno / オオノ ケイイチ
第7著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony Corporation (略称: Sony)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 杉本 大 / Dai Sugimoto / スギモト ダイ
第8著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタ)
Sony Semiconductor Corporation (略称: Sony Semiconductor)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 門村 新吾 / Shingo Kadomura / カドムラ シンゴ
第9著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony Corporation (略称: Sony)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 平山 照峰 / Teruo Hirayama / ヒラヤマ テルオ
第10著者 所属(和/英) ソニー株式会社 (略称: ソニー)
Sony Corporation (略称: Sony)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第11著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第12著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第13著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第14著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第15著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第16著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第17著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第18著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第19著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第20著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
講演者
発表日時 2014-03-14 12:00:00 
発表時間 30 
申込先研究会 IST 
資料番号 ITE-IST2014-10 
巻番号(vol) ITE-38 
号番号(no) no.15 
ページ範囲 pp.7-10 
ページ数 ITE-4 
発行日 ITE-IST-2014-03-07 


[研究会発表申込システムのトップページに戻る]

[映像情報メディア学会ホームページ]


ITE / 映像情報メディア学会