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講演抄録/キーワード
講演名 2015-09-18 14:00
結晶性酸化物半導体回路とアバランシェ増倍型光電変換膜を用いた高感度イメージセンサ
黒川義元中川貴史前田修平王丸拓郎池田隆之鈴木康太山出直人宮入秀和半導体エネルギー研)・為村成亭菊地健司宮川和典・○大竹 浩久保田 節NHK)・池田 誠東大)・山崎舜平半導体エネルギー研
抄録 (和) アバランシェ電荷増倍を利用する高感度CMOSイメージセンサとして、画素に、結晶性セレン薄膜を用いた光電変換素子とCrystalline Oxide Semiconductor (OS) FETを用いた構成の可能性を検証する。OS FETは当該光電変換素子がアバランシェ電荷増倍を起こし得る20V超のバイアスに耐性を有していることを確認した。また、OS FET/CMOS FET 基板を模した画素電極上に形成した正孔が主たる走行キャリアであるアモルファスセレン系光電変換素子が良好な光電特性を示していることから、OS FET/CMOS FET hybrid processとの親和性を確認でき、今後、結晶性セレンを用いた光電変換素子において、アバランシェ電荷増倍が実現できる見込みが得られた。 
(英) To realize a high-sensitivity CMOS image sensor using avalanche multiplication, we investigate the feasibility of a pixel structure that uses a crystalline selenium-based photoelectric conversion element and a crystalline oxide semiconductor (OS)-based FET. The OS FET is shown to have a withstand voltage of over 20 V, with which the photoelectric conversion element can cause avalanche multiplication. An amorphous selenium-based photoelectric conversion element in which holes are mainly travelling carriers and which is formed on a pixel electrode on a pseudo OS FET/CMOS FET substrate exhibits favorable photoconductivity, indicating compatibility with an OS FET/CMOS FET hybrid process. This shows the potential for realizing an OS/CMOS image sensor using avalanche multiplication in a crystalline selenium-based photoelectric conversion element.
キーワード (和) 結晶性酸化物半導体 / 結晶セレン光電変換膜 / CMOSイメージセンサ / / / / /  
(英) Crystalline oxide semiconductor / Crystalline selenium-based photoconductor film / CMOS image sensor / / / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 39, no. 35, IST2015-51, pp. 33-36, 2015年9月.
資料番号 IST2015-51 
発行日 2015-09-11 (IST) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2015-09-18 - 2015-09-18 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) イメージセンサおよび一般、2015 IISWとVLSIシンポジウムからの発表報告 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2015-09-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 結晶性酸化物半導体回路とアバランシェ増倍型光電変換膜を用いた高感度イメージセンサ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) High-Sensitivity Image Sensor with Stacked Structure comprising Crystalline Selenium Photoconductor, Crystalline OS FET, and CMOS FET 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 結晶性酸化物半導体 / Crystalline oxide semiconductor  
キーワード(2)(和/英) 結晶セレン光電変換膜 / Crystalline selenium-based photoconductor film  
キーワード(3)(和/英) CMOSイメージセンサ / CMOS image sensor  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 黒川 義元 / Yoshiyuki Kurokawa / クロカワ ヨシユキ
第1著者 所属(和/英) 半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory (略称: SEL)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 中川 貴史 / Takashi Nakagawa / ナカガワ タカシ
第2著者 所属(和/英) 半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory (略称: SEL)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 前田 修平 / Shuhei Maeda / マエダ シュウヘイ
第3著者 所属(和/英) 半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory (略称: SEL)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 王丸 拓郎 / Takuro Ohmaru / オオマル タクロウ
第4著者 所属(和/英) 半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory (略称: SEL)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 池田 隆之 / Takayuki Ikeda / イケダ タカユキ
第5著者 所属(和/英) 半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory (略称: SEL)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 鈴木 康太 / Yasutaka Suzuki / スズキ ヤスタカ
第6著者 所属(和/英) 半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory (略称: SEL)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 山出 直人 / Naoto Yamade / ヤマデ ナオト
第7著者 所属(和/英) 半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory (略称: SEL)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 宮入 秀和 / Hidekazu Miyairi / ミヤイリ ヒデカズ
第8著者 所属(和/英) 半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory (略称: SEL)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 為村 成亭 / Shigeyuki Imura / イムラ シゲユキ
第9著者 所属(和/英) NHK放送技術研究所 (略称: NHK)
NHK Science and Technology Research Laboratories (略称: NHK)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 菊地 健司 / Kenji Kikuchi / キクチ ケンジ
第10著者 所属(和/英) NHK放送技術研究所 (略称: NHK)
NHK Science and Technology Research Laboratories (略称: NHK)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 宮川 和典 / Kazunori Miyakawa / ミヤカワ カズノリ
第11著者 所属(和/英) NHK放送技術研究所 (略称: NHK)
NHK Science and Technology Research Laboratories (略称: NHK)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) 大竹 浩 / Hiroshi Ohtake / オオタケ ヒロシ
第12著者 所属(和/英) NHK放送技術研究所 (略称: NHK)
NHK Science and Technology Research Laboratories (略称: NHK)
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) 久保田 節 / Misao Kubota / クボタ ミサオ
第13著者 所属(和/英) NHK放送技術研究所 (略称: NHK)
NHK Science and Technology Research Laboratories (略称: NHK)
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) 池田 誠 / Makoto Ikeda / イケダ マコト
第14著者 所属(和/英) 東京大学 (略称: 東大)
University of Tokyo (略称: *)
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) 山崎 舜平 / Shunpei Yamazaki / ヤマザキ シュンペイ
第15著者 所属(和/英) 半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory (略称: SEL)
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講演者 12 
発表日時 2015-09-18 14:00:00 
発表時間 30 
申込先研究会 IST 
資料番号 ITE-IST2015-51 
巻番号(vol) ITE-39 
号番号(no) no.35 
ページ範囲 pp.33-36 
ページ数 ITE-4 
発行日 ITE-IST-2015-09-11 


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