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講演抄録/キーワード
講演名 2016-08-01 14:30
[招待講演]高NIR感度と高MTFを実現する新規積層フォトダイオード構造の開発
高橋広樹田中浩司小田真弘安藤三善新添真人TPSCo)・河合真一浅野拓也吉田 貢山田 徹PSCS
抄録 (和) 高い近赤外(NIR)感度と高い変調伝達関数(MTF)を同時に実現する為、2つのフォトダイオードを積層した新たな画素構造(Stacked Deep Photodiode : SDP)を開発した。 SDP構造の5.4μm 画素は、隣接する画素と完全に分離された10µm の深さを有するフォトダイオードにより、850nmの波長において、量子効率 (QE) 30% 、ナイキスト周波数においてMTF 40% を達成した。さらに、斜め入射光に対して最適化する事が可能なShifted-SDPは、入射角25 ºで850nmの波長においてクロストークを1.5%に抑制する事ができた。 
(英) Novel pixel structure with Stacked Deep Photodiode (SDP) has been newly developed for both high Near Infra-Red (NIR) sensitivity and high Modulation Transfer Function (MTF). SDP with 5.4µm pixel pitch has achieved Quantum Efficiency (QE) of 30% and MTF of 40% at Nyquist frequency at 850nm wavelength by stacking photodiode completely separated from neighboring pixels. Furthermore, Shifted SDP which can be optimized for oblique incident light has suppressed crosstalk as low as 1.5% at 25 º at 850 nm wavelength.
キーワード (和) NIR / MTF / 積層 / イメージセンサー / クロストーク / / /  
(英) NIR / MTF / Stack / Image sensor / Crosstalk / / /  
文献情報 映情学技報
資料番号  
発行日  
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IEICE-ICD IEICE-SDM IST  
開催期間 2016-08-01 - 2016-08-03 
開催地(和) 中央電気倶楽部 
開催地(英) Central Electric Club 
テーマ(和) アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路、低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 
テーマ(英) Analog, Mixed Analog and Digital, RF, and Sensor Interface, Low voltage/low power techniques, novel devices, circuits, and applications 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IEICE-SDM 
会議コード 2016-08-ICD-SDM-IST 
本文の言語 英語(日本語タイトルあり) 
タイトル(和) 高NIR感度と高MTFを実現する新規積層フォトダイオード構造の開発 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Novel Pixel Structure with Stacked Deep Photodiode to Achieve High NIR Sensitivity and High MTF 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) NIR / NIR  
キーワード(2)(和/英) MTF / MTF  
キーワード(3)(和/英) 積層 / Stack  
キーワード(4)(和/英) イメージセンサー / Image sensor  
キーワード(5)(和/英) クロストーク / Crosstalk  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 高橋 広樹 / Hiroki Takahashi / タカハシ ヒロキ
第1著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: TPSCo)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 田中 浩司 / Hiroshi Tanaka / タナカ ヒロシ
第2著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: TPSCo)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 小田 真弘 / Masahiro Oda / オダ マサヒロ
第3著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: TPSCo)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 安藤 三善 / Mitsuyoshi Ando / アンドウ ミツヨシ
第4著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: TPSCo)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 新添 真人 / Naoto Niisoe / ニイソエ ナオト
第5著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: TPSCo)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 河合 真一 / Shinichi Kawai / カワイ シンイチ
第6著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 浅野 拓也 / Takuya Asano / アサノ タクヤ
第7著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 吉田 貢 / Mitsugu Yoshita / ヨシタ ミツグ
第8著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 山田 徹 / Tohru Yamada / ヤマダ トオル
第9著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS)
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講演者
発表日時 2016-08-01 14:30:00 
発表時間 45 
申込先研究会 IEICE-SDM 
資料番号  
巻番号(vol) ITE-40 
号番号(no)  
ページ範囲  
ページ数 ITE- 
発行日  


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