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講演抄録/キーワード
講演名 2019-01-25 10:30
[ポスター講演]絶縁膜としてアルミ陽極酸化膜厚を連続変化させたエレクトロウェッティング素子による光ビーム偏向制御
小野内雄一工藤幸寛高橋泰樹工学院大
抄録 (和) レーザープリンターやレーザー顕微鏡などのレーザー光を用いる機器では,レーザー光軸の偏向制御が必要となる.本研究では,アルミニウム陽極酸化膜を絶縁膜として用いてエレクトロウェッティング現象による液滴の移動を試みた.そして,素子にレーザー光を入射することで,高耐久,低電圧,広偏向角度となる偏向制御素子の実現を目指した.偏光制御素子は,絶縁膜として膜厚を連続的に変化させたストライプ状のアルミニウム陽極酸化膜を2箇所に成膜するが,その膜厚変化が逆になるようにかつ,隣り合わせになるよう1枚のアルミ基板上に構成した.そして,この上に撥水膜としてテフロンを成膜した.この基板に対し,液滴25 μlを滴下しレーザー光を入射することで偏向制御を行った.これにより最大駆動電圧90 Vにおいて偏向角度42.3°の偏向制御素子を実現した. 
(英) Optical devices using laser beams often require the beam deflection control. In this study, we propose a beam deflection devices using the electrowetting (EW) phenomenon. Where, an aluminum anodic film was used as an insulating film for the EW effect for realizing a deflection control with high durability, low voltage and wide angle. The insulator film forming process of the aluminum anodic method was very easy compared with a sputtering process forming Si3N4 film requiring a vacuum environment. In our deflection control device was used a pair of anodic Al films which thickness was continuously varied. As a result, a deflection control of the laser beams with maximum deflection angle of 42.3 ° under applying the driving voltage of 90 volts was realized in our basic experiment system.
キーワード (和) エレクトロウェッティング / レーザー偏向 / 光軸制御 / アルミ陽極酸化膜 / 傾斜膜厚 / / /  
(英) Electrowetting / Laser deflection / Deflection angle control / Anodization of Al / Graded film thickness / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 43, no. 1, IDY2019-19, pp. 101-104, 2019年1月.
資料番号 IDY2019-19 
発行日 2019-01-17 (IDY) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970

研究会情報
研究会 IDY IEICE-EID IEIJ-SSL SID-JC IEE-EDD  
開催期間 2019-01-24 - 2019-01-25 
開催地(和) 鹿児島大学 稲盛会館 
開催地(英)  
テーマ(和) 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IDY 
会議コード 2019-01-IDY-EID-SSL-JC-EDD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 絶縁膜としてアルミ陽極酸化膜厚を連続変化させたエレクトロウェッティング素子による光ビーム偏向制御 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A Laser Beam Deflection Control by Electrowetting Devices with Continuously Varying an Anodization Film Thickness of Al Using as an Insulation Layer 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) エレクトロウェッティング / Electrowetting  
キーワード(2)(和/英) レーザー偏向 / Laser deflection  
キーワード(3)(和/英) 光軸制御 / Deflection angle control  
キーワード(4)(和/英) アルミ陽極酸化膜 / Anodization of Al  
キーワード(5)(和/英) 傾斜膜厚 / Graded film thickness  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 小野内 雄一 / Yuichi Onouchi / オノウチ ユウイチ
第1著者 所属(和/英) 工学院大学 (略称: 工学院大)
Kogakuin University (略称: Kogakuin Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 工藤 幸寛 / Yukihiro Kudoh / クドウ ユキヒロ
第2著者 所属(和/英) 工学院大学 (略称: 工学院大)
Kogakuin University (略称: Kogakuin Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 高橋 泰樹 / Taiju Takahashi / タカハシ タイジュ
第3著者 所属(和/英) 工学院大学 (略称: 工学院大)
Kogakuin University (略称: Kogakuin Univ.)
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講演者
発表日時 2019-01-25 10:30:00 
発表時間
申込先研究会 IDY 
資料番号 ITE-IDY2019-19 
巻番号(vol) ITE-43 
号番号(no) no.1 
ページ範囲 pp.101-104 
ページ数 ITE-4 
発行日 ITE-IDY-2019-01-17 


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