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講演抄録/キーワード
講演名 2019-06-18 14:40
高SN比吸光イメージングによる真空チャンバー内ガス濃度分布計測
髙橋圭吾シパウバカルバリオダシルバ イヤンギリカルド沼尾直毅黒田理人藤原康行村田真麻石井秀和森本達郎諏訪智之寺本章伸須川成利東北大
抄録 (和) 高い信号対雑音比(SN比)と紫外波長帯域において高感度・高耐光性を有するLOFIC CMOSイメージセンサを用いた真空チャンバー内ガス濃度吸光イメージングについて述べる.測定に用いたイメージセンサが71.3dB のSN比,2430万個の飽和電子数(FWC),190-1000nmにおいて高い量子効率を達成していることを確認した.本イメージセンサと405nmのLED光源を用いて真空チャンバー内に流れるNO2ガス濃度の二次元吸光イメージングを行った.その結果 NO2ガスで濃度分布リアルタイム計測に資する良好な検量線を取得した. 
(英) This paper reports gas concentration absorption imaging in a vacuum chamber using a LOFIC CMOS image sensor with high signal-to-noise ratio (SNR) and high sensitivity and high reliability in the ultraviolet wavelength band. The image sensor used for the measurement achieved 71.3dB SNR, 24.3M e- FWC, 190-1000nm spectral sensitivity, with very high quantum efficiency. Using this image sensor and a 405 nm LED light source, a two-dimensional absorption image of NO2 gas concentration in the vacuum chamber was obtained. As a result, a good calibration curve contributing to real time measurement of concentration distribution was obtained with NO2 gas.
キーワード (和) 分光イメージング / 濃度センサ / 吸光分析 / CMOSイメージセンサ / / / /  
(英) Spectral imaging / Concentration sensor / Absorption spectrometry / CMOS image sensor / / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 43, no. 18, IST2019-37, pp. 11-14, 2019年6月.
資料番号 IST2019-37 
発行日 2019-06-11 (IST) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970

研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2019-06-18 - 2019-06-18 
開催地(和) 東京理科大森戸記念館 
開催地(英) Tokyo University of Sci. Morito Kinenkan 
テーマ(和) 高機能イメージセンシングとその応用 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2019-06-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 高SN比吸光イメージングによる真空チャンバー内ガス濃度分布計測 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Measurement of gas concentration distribution in vacuum chamber using high SN ratio absorption imaging 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 分光イメージング / Spectral imaging  
キーワード(2)(和/英) 濃度センサ / Concentration sensor  
キーワード(3)(和/英) 吸光分析 / Absorption spectrometry  
キーワード(4)(和/英) CMOSイメージセンサ / CMOS image sensor  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 髙橋 圭吾 / Keigo Takahashi / タカハシ ケイゴ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) シパウバカルバリオダシルバ イヤンギリカルド / Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva /
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 沼尾 直毅 / Naoki Numao / ヌマオ ナオキ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤原 康行 / Yasuyuki Fujihara / フジハラ ヤスユキ
第5著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 村田 真麻 / Maasa Murata / ムラタ マアサ
第6著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 石井 秀和 / Hidekazu Ishii / イシイ ヒデカズ
第7著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 森本 達郎 / Tatsuo Morimoto / モリモト タツオ
第8著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 諏訪 智之 / Tomoyuki Suwa / スワ トモユキ
第9著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ
第10著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ
第11著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
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講演者
発表日時 2019-06-18 14:40:00 
発表時間 30 
申込先研究会 IST 
資料番号 ITE-IST2019-37 
巻番号(vol) ITE-43 
号番号(no) no.18 
ページ範囲 pp.11-14 
ページ数 ITE-4 
発行日 ITE-IST-2019-06-11 


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