講演抄録/キーワード |
講演名 |
2019-06-18 14:40
高SN比吸光イメージングによる真空チャンバー内ガス濃度分布計測 ○髙橋圭吾・シパウバカルバリオダシルバ イヤンギリカルド・沼尾直毅・黒田理人・藤原康行・村田真麻・石井秀和・森本達郎・諏訪智之・寺本章伸・須川成利(東北大) |
抄録 |
(和) |
高い信号対雑音比(SN比)と紫外波長帯域において高感度・高耐光性を有するLOFIC CMOSイメージセンサを用いた真空チャンバー内ガス濃度吸光イメージングについて述べる.測定に用いたイメージセンサが71.3dB のSN比,2430万個の飽和電子数(FWC),190-1000nmにおいて高い量子効率を達成していることを確認した.本イメージセンサと405nmのLED光源を用いて真空チャンバー内に流れるNO2ガス濃度の二次元吸光イメージングを行った.その結果 NO2ガスで濃度分布リアルタイム計測に資する良好な検量線を取得した. |
(英) |
This paper reports gas concentration absorption imaging in a vacuum chamber using a LOFIC CMOS image sensor with high signal-to-noise ratio (SNR) and high sensitivity and high reliability in the ultraviolet wavelength band. The image sensor used for the measurement achieved 71.3dB SNR, 24.3M e- FWC, 190-1000nm spectral sensitivity, with very high quantum efficiency. Using this image sensor and a 405 nm LED light source, a two-dimensional absorption image of NO2 gas concentration in the vacuum chamber was obtained. As a result, a good calibration curve contributing to real time measurement of concentration distribution was obtained with NO2 gas. |
キーワード |
(和) |
分光イメージング / 濃度センサ / 吸光分析 / CMOSイメージセンサ / / / / |
(英) |
Spectral imaging / Concentration sensor / Absorption spectrometry / CMOS image sensor / / / / |
文献情報 |
映情学技報, vol. 43, no. 18, IST2019-37, pp. 11-14, 2019年6月. |
資料番号 |
IST2019-37 |
発行日 |
2019-06-11 (IST) |
ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
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