| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2019-09-20 13:45
横型オーバーフロー蓄積容量を用いた飽和電荷量120ke-,変換ゲイン160µV/e-を有する2.8µm裏面照射型画素の光学特性
○宮内 健・盛 一也・高柳 功・中村淳一（ブリルニクス）・須川成利（東北大） |
| 抄録 |
（和） |
本論文では，単一露光での広ダイナミックレンジセンサの更なる性能向上のために，裏面照射技術を用いた2.8µmサイズの横型オーバーフロー蓄積容量(LOFIC)画素を新規に採用した試作チップの光学特性について報告する．本画素構造により，160µV/e- の電荷-電圧変換ゲイン，120ke- の飽和電荷数，ブルーミング無しで量子効率70%以上，±20度での角度依存性 >91% (マイクロレンズ未最適化) を達成した． |
| （英） |
In this paper, we report about a prototype CMOS image sensor with a 2.8µm back side illuminated (BSI) pixel that employs the lateral overflow integration capacitor (LOFIC) to further expand dynamic range of our reported sensors. Owing to this structure, 160µV/e- conversion gain, 120ke- full well capacity, 70% peak quantum efficiency and 91% angular response at ±20° have been achieved without blooming. |
| キーワード |
（和） |
CMOSイメージセンサ / 横型オーバーフロー蓄積容量 / 広ダイナミックレンジ / 高感度 / 高飽和 / 単一露光型 / 裏面照射 / |
| （英） |
CMOS Image Sensor / Lateral Overflow Integration Capacitor / Wide Dynamic Range / High Sensitivity / High Full Well Capacity / Single Exposure / Back Side Illumination / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 43, no. 31, IST2019-48, pp. 21-24, 2019年9月. |
| 資料番号 |
IST2019-48 |
| 発行日 |
2019-09-13 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
| PDFダウンロード |
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| 研究会情報 |
| 研究会 |
IST |
| 開催期間 |
2019-09-20 - 2019-09-20 |
| 開催地（和） |
機械振興会館 |
| 開催地（英） |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） |
イメージセンサおよび一般 |
| テーマ（英） |
Image Sensor , etc. |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
IST |
| 会議コード |
2019-09-IST |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
横型オーバーフロー蓄積容量を用いた飽和電荷量120ke-,変換ゲイン160µV/e-を有する2.8µm裏面照射型画素の光学特性 |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
Optical Performance of A 120 ke- Full Well Capacity and 160µV/e- Conversion Gain 2.8µm Back Side Illuminated Pixel with Lateral Overflow Integration Capacitor |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
CMOSイメージセンサ / CMOS Image Sensor |
| キーワード(2)（和/英） |
横型オーバーフロー蓄積容量 / Lateral Overflow Integration Capacitor |
| キーワード(3)（和/英） |
広ダイナミックレンジ / Wide Dynamic Range |
| キーワード(4)（和/英） |
高感度 / High Sensitivity |
| キーワード(5)（和/英） |
高飽和 / High Full Well Capacity |
| キーワード(6)（和/英） |
単一露光型 / Single Exposure |
| キーワード(7)（和/英） |
裏面照射 / Back Side Illumination |
| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
宮内 健 / Ken Miyauchi / ミヤウチ ケン |
| 第1著者 所属（和/英） |
ブリルニクスジャパン株式会社 (略称： ブリルニクス)
BRILLNICS Japan Inc. (略称： BRILLNICS) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
盛 一也 / Kazuya Mori / モリ カズヤ |
| 第2著者 所属（和/英） |
ブリルニクスジャパン株式会社 (略称： ブリルニクス)
BRILLNICS Japan Inc. (略称： BRILLNICS) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
高柳 功 / Isao Takayanagi / タカヤナギ イサオ |
| 第3著者 所属（和/英） |
ブリルニクスジャパン株式会社 (略称： ブリルニクス)
BRILLNICS Japan Inc. (略称： BRILLNICS) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
中村 淳一 / Junichi Nakamura / ナカムラ ジュンイチ |
| 第4著者 所属（和/英） |
ブリルニクスジャパン株式会社 (略称： ブリルニクス)
BRILLNICS Japan Inc. (略称： BRILLNICS) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
| 第5著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2019-09-20 13:45:00 |
| 発表時間 |
30分 |
| 申込先研究会 |
IST |
| 資料番号 |
IST2019-48 |
| 巻番号（vol） |
vol.43 |
| 号番号（no） |
no.31 |
| ページ範囲 |
pp.21-24 |
| ページ数 |
4 |
| 発行日 |
2019-09-13 (IST) |