講演抄録/キーワード |
講演名 |
2021-10-21 10:10
フォトンカウンティングの実現に向けた電荷増倍型結晶セレン膜と画素並列A/D変換回路を集積したCMOSイメージセンサ ○後藤正英・為村成亨(NHK) |
抄録 |
(和) |
光子を1つ1つ検出可能なフォトンカウンティングの実現を目指して,画素並列でA/D変換を行うCMOS回路上に,高効率な結晶セレン(c-Se)光電変換膜を積層したイメージセンサの研究を進めている.今回,128 × 96画素のセンサを試作して,特性評価を行ったところ,c-Se膜に印加する電圧によってセンサの感度が変化することを確認し,アバランシェ増倍動作を含む動画像を得ることができた.また,c-Se膜がX線にも感度を有することを利用して,軟X線を光源に用いた撮像実験も実施し,本センサの可視光/非可視光フォトンカウンティングへの適用可能性を示した. |
(英) |
We report crystalline-selenium (c-Se) photoconversion layer stacked CMOS image sensors with pixel-parallel 1-bit A/D converters (ADCs) using avalanche multiplication suitable for photon counting. The c-Se layer is introduced to separate photomultiplication function from circuits to achieve high sensitivity and high spatial resolution. The 1-bit ADCs with pulse output realize pixel-wise digital imaging. The prototype sensor with 128 × 96 resolution confirmed video images including avalanche multiplication operation, demonstrating feasibility of photon counting. The soft-X-ray imaging was also demonstrated as an invisible-light sensing application by exploiting the X-ray sensitivity of c-Se. |
キーワード |
(和) |
イメージセンサ / フォトンカウンティング / 結晶セレン / アバランシェ増倍 / A/D変換 / / / |
(英) |
image sensors / photon counting / crystalline selenium / avalanche multiplication / A/D conversion / / / |
文献情報 |
映情学技報, vol. 45, no. 30, IST2021-50, pp. 9-12, 2021年10月. |
資料番号 |
IST2021-50 |
発行日 |
2021-10-14 (IST) |
ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
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