| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2022-03-28 16:10
低照度撮像及び測距用途に向けた320万画素裏面積層電荷収集型SPADイメージセンサ
○アブデルガファ愛満・森本和浩・岩田旬史・篠原真人・関根 寛・土屋宏之・黒田享裕・戸島研三・遠藤 航・前橋 雄・大田康晴・笹子知弥・前川晋太郎・彦坂慎吾・加納大幹・加藤愛子・手塚智之・吉﨑 聡・小川俊之・上平晃聖・江原アリス・乾 文洋・松野靖司・櫻井克仁・市川武史（キヤノン） |
| 抄録 |
（和） |
読み出しノイズレス、高時間分解能を両立する次世代のフォトンカウンティングイメージセンサを開発した。新たに提案する320万画素裏面積層電荷収集型SPADイメージセンサは、アバランシェフォトダイオードを用いたイメージセンサの中で世界最高の画素数を実現し、光子検出効率、DCR、時間分解能において最高クラスの性能を実証した。本提案技術により、低照度撮像および3次元測距用途の小型・高解像度SPADセンサの実現が可能となる。 |
| （英） |
A new generation of scalable photon counting image sensors, featuring zero read noise and 100ps temporal resolution. Newly proposed charge focusing single-photon avalanche diode (SPAD) is employed to resolve critical trade-offs in conventional SPAD pixels. A prototype 3.2 megapixel 3D-stacked backside-illuminated (BSI) image sensor with 1-inch format demonstrates the best-in-class photon detection efficiency (PDE), dark count rate (DCR) and timing jitter performance with the largest array size ever reported in avalanche photodiode (APD)-based image sensors. The proposed technology paves the way to compact and high-definition photon counting image sensors for low-light imaging and 3D time-of-flight sensing. |
| キーワード |
（和） |
SPADイメージセンサ / 3次元積層 / 裏面照射型 / 電荷収集型SPAD / 測距 / 光子検出効率 / / |
| （英） |
SPAD image sensor / 3D-stacked / Backside-illuminated / Charge focusing SPAD / Depth sensing / PDE / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 46, no. 14, IST2022-21, pp. 47-51, 2022年3月. |
| 資料番号 |
IST2022-21 |
| 発行日 |
2022-03-21 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
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