| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2022-08-09 14:00
近接容量センサを用いた高精度微小容量差計測
○渡部吉祥・須釜侑希・志波良信・黒田理人・白井泰雪・須川成利（東北大） |
| 抄録 |
（和） |
微小容量差計測のための近接容量センサを 0.18 μm CMOSテクノロジを用いて設計・試作した．設計・試作したセンサの測定を行い 入出力特性において広い容量範囲にわたる良好な線形性と ノイズキャンセル 動作 による低ノイズ信号 読み出 しを実現した．また，微小な容量差を高精度に計測するための最適なシステムパラメータの検討を行い，測定対象容量と検出電極寄生容量の値が近いほど高感度に微小容量差を測定できることを明らかにした．システムパラメータの検討結果をもとに微小容量変化測定を行い，基準容量に対して 1%以下の微小容量変化の検出を達成した． |
| （英） |
A proximity capacitance sensor for measuring small capacitance differences was designed and fabricated using 0.18 μm CMOS technology. Measurements of the prototype sensors were performed, and good linearity over a wide capacitance range in the input-output characteristics and low noise measurement by noise cancelling operation were achieved .The optimal system parameters for measuring small capacitance differences with high accuracy were investigated, and it was found that when the measurement capacitance value is close to the detection electrode parasitic capacitance value, -higher sensitivity is obtained toward measurement of small capacitance difference measurement. Based on these results, small capacitance change measurements were performed and a detection of small capacitance changes of 1 % relative to the back-ground capacitance was confirmed. |
| キーワード |
（和） |
近接容量 / センサ / 高精度 / 微小容量差 / ノイズキャンセリング / / / |
| （英） |
Proximity Capacitance / Sensor / High Precision / Small Capacitance Difference / Noise Cancelling / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 46, no. 23, IST2022-31, pp. 71-76, 2022年8月. |
| 資料番号 |
IST2022-31 |
| 発行日 |
2022-08-01 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
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