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講演抄録/キーワード
講演名 2022-09-22 14:00
サブミクロン画素CMOSイメージセンサ対応の低ノイズマルチゲート画素トランジスタ
馬場公一北村章太君塚直彦本庄亮子黒部利博熊野秀臣豊福卓哉ソニーセミコンダクタソリューションズ)・竹内耕平西村翔大ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)・加藤昭彦平野智之大池祐輔ソニーセミコンダクタソリューションズ
抄録 (和) CMOS image sensors(CIS)の画素サイズは、モバイル向けの製品からの強い要求により急速な微細化が進んでいる。これに対応するため、サブミクロン画素CIS向け低ノイズマルチゲート画素トランジスタ(Tr.)を提案する。ソースフォロア(SF)アンプ向けにカスタマイズした新しい低ノイズマルチゲート画素Tr.をshallow trench isolation(STI)フルエッチングプロセスにより実現した。
今回提案したTr.は、フットプリントが等しい従来の平面型Tr.と比較して、ランダム・テレグラフ・シグナル・ノイズ(RTS雑音)は91%、1/fノイズは48%低減した。相互コンダクタンスも43%向上しており、これは熱雑音の改善に寄与する。本論文では、マルチゲート画素Tr.を適用したプロトタイプの0.7μm画素による初の低ノイズ撮像特性を紹介する。 
(英) As the pixel size of CMOS image sensors (CIS) is rapidly decreasing to sub-micron pixels due to strong demand from mobile applications, a low-noise multi-gate pixel transistor for sub-micron pixel CIS has been proposed. It has been fully customized for pixel transistors of source follower amplifiers in CIS by a shallow trench isolation full-etching process. Compared to a planar-type pixel transistor with the same footprint, the random telegraph signal and 1/f noise has been decreased by 91% and 48%, respectively. The transconductance has been improved by 43%. A prototype CIS with 0.7μm pixels successfully presented a full image capture for the first time using multi-gate pixel transistors.
キーワード (和) CMOSイメージセンサ / 低ノイズ / 画素トランジスタ / RTS / 1/fノイズ / / /  
(英) CMOS Image Sensor / Low Noise / Pixel Transistor / RTS / 1/f Noise / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 46, no. 29, IST2022-35, pp. 5-8, 2022年9月.
資料番号 IST2022-35 
発行日 2022-09-15 (IST) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893    Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2022-09-22 - 2022-09-22 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) イメージセンサ一般(プロセス・デバイス・回路モデリング・実装技術・画像処理アルゴリズム等)完成品に限らず、企画段階の検討についても発表可能です。 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2022-09-IST 
本文の言語 英語(日本語タイトルあり) 
タイトル(和) サブミクロン画素CMOSイメージセンサ対応の低ノイズマルチゲート画素トランジスタ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Low-Noise Multi-Gate Pixel Transistor for Sub-Micron Pixel CMOS Image Sensors 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) CMOSイメージセンサ / CMOS Image Sensor  
キーワード(2)(和/英) 低ノイズ / Low Noise  
キーワード(3)(和/英) 画素トランジスタ / Pixel Transistor  
キーワード(4)(和/英) RTS / RTS  
キーワード(5)(和/英) 1/fノイズ / 1/f Noise  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 馬場 公一 / Koichi Baba / ババ コウイチ
第1著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corp. (略称: SSS)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 北村 章太 / Shota Kitamura / キタムラ ショウタ
第2著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corp. (略称: SSS)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 君塚 直彦 / Naohiko Kimizuka / キミヅカ ナオヒコ
第3著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corp. (略称: SSS)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 本庄 亮子 / Akiko Honjo / ホンジョウ アキコ
第4著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corp. (略称: SSS)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 黒部 利博 / Toshihiro Kurobe / クロベ トシヒロ
第5著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corp. (略称: SSS)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 熊野 秀臣 / Hideomi Kumano / クマノ ヒデオミ
第6著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corp. (略称: SSS)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 豊福 卓哉 / Takuya Toyofuku / トヨフク タクヤ
第7著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corp. (略称: SSS)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 竹内 耕平 / Kouhei Takeuchi / タケウチ コウヘイ
第8著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
Sony Semiconductor Manufacturing Corp. (略称: SCK)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 西村 翔大 / Shota Nishimura / ニシムラ ショウタ
第9著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
Sony Semiconductor Manufacturing Corp. (略称: SCK)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 加藤 昭彦 / Akihiko Kato / カトウ アキヒコ
第10著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corp. (略称: SSS)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 平野 智之 / Tomoyuki Hirano / ヒラノ トモユキ
第11著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corp. (略称: SSS)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) 大池 祐輔 / Yusuke Oike / オオイケ ユウスケ
第12著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corp. (略称: SSS)
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講演者 第1著者 
発表日時 2022-09-22 14:00:00 
発表時間 30分 
申込先研究会 IST 
資料番号 IST2022-35 
巻番号(vol) vol.46 
号番号(no) no.29 
ページ範囲 pp.5-8 
ページ数
発行日 2022-09-15 (IST) 


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