| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2024-12-06 09:50
［招待講演］3次元磁気メモリ応用のためのCoPt極薄膜およびナノ円柱のめっき形成技術
○高村陽太・黄 童雙（Science Tokyo）・Md. Mahmudul Hasan・齋藤美紀子（早大）・葛西伸哉（NIMS）・大島大輝・加藤剛志（名大）・中川茂樹（Science Tokyo） |
| 抄録 |
（和） |
次世代の情報ストレージメモリとして期待される3次元磁気メモリに向けたCoPt極薄膜およびナノワイヤーのめっき形成技術について最新の研究成果をまとめた．高アスペクト比の磁性ナノ円柱は，プロセス上の制約からめっきで作製する必要があり，したがって，めっきでスピントロニクスデバイス用の磁性材料を形成する技術が求められる．本報告では，直流めっき法による電析電位による組成および磁気特性の制御を行い，パルスめっき法により極薄膜領域でも角形比がほぼ1の垂直磁化膜が得られることを示した．また，メンブレンを用いてCo$_{80}$Pt$_{20}$ナノ円柱を作製し，その磁区構造を明らかにするとともに，電位変調により[Co$_{80}$Pt$_{20}$/Co$_{30}$Pt$_{70}$]$_N$多層ナノワイヤーを液中一貫で形成した成果を報告する． |
| （英） |
This report summarizes recent research on electrodeposition techniques for CoPt ultrathin films and nanowires for an application to next-generation 3D magnetic memory applications. Due to process limitations, high-aspect-ratio magnetic nanocolumns are required to be formed by electrodeposition technique. Therefore, development of ultrathin spintronic magnetic layers by electrodeposition is necessary. This study demonstrates electrodeposition of CoPt thin layers, and control of its composition and magnetic property. Pulsed electrodeposition achieved 7 nm thick Co$_{70}$Pt$_{30}$ showing perpendicular magnetic anisotropy. Additionally, Co$_{80}$Pt$_{20}$ nanowires were fabricated using membranes, and their magnetic domain structures were clarified. Multilayer [Co$_{80}$Pt$_{20}$/Co$_{30}$Pt$_{70}$]$_N$ nanowires were formed in a single bath by potential modulation. |
| キーワード |
（和） |
3次元磁気メモリ / レーストラックメモリ / めっき / CoPt / 極薄膜 / ナノワイヤー / / |
| （英） |
3D magnetic memory / race track memory / electrodeposition / CoPt / ultrathin films / nanowires / / |
| 文献情報 |
映情学技報 |
| 資料番号 |
|
| 発行日 |
|
| ISSN |
Online edition: ISSN 2424-1970 |
| PDFダウンロード |
|