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講演抄録/キーワード
講演名 2025-01-23 14:25
[ポスター講演]紫外発光ZnAl2O4薄膜の電気的および光学的特性の評価
竹舎大智保田将希小南裕子原 和彦静岡大)・大橋雄二山路晃広黒澤俊介東北大
抄録 (和) 新規紫外発光デバイスの開発を目指し、サファイア基板上にマグネトロンスパッタリング法を用いてZnO膜を堆積させ、アニールすることで膜-基板間の相互熱拡散によりアルミン酸亜鉛(ZnAl2O4)深紫外発光蛍光体薄膜を作製した。ZnAl2O4をELランプへ応用するためには誘電率のパラメータが必要である。そこで、エッチング処理をした試料について透過率測定及びインピーダンス測定を行い、屈折率、静電容量を得ることにより誘電率を求めることを試みた。 
(英) To develop a new ultraviolet light-emitting device, ZnO films were deposited on sapphire substrates using the magnetron sputtering method and annealed to form a zinc aluminate (ZnAl2O4) deep ultraviolet light-emitting phosphor thin film through mutual thermal diffusion between the film and the substrate. Additionally, to apply ZnAl2O4 to an EL lamp, the permittivity parameter is required. Therefore, transmittance measurement and impedance measurement were performed to obtain the refractive index and capacitance, thereby attempting to determine the permittivity.
キーワード (和) ZnAl2O4 / 薄膜 / 誘電率 / ELデバイス / 透過率 / 屈折率 / /  
(英) ZnAl2O4 / Thin film / Permittivity / EL device / Transmittance / Refractive index / /  
文献情報 映情学技報, vol. 49, no. 1, IDY2025-14, pp. 53-56, 2025年1月.
資料番号 IDY2025-14 
発行日 2025-01-16 (IDY) 
ISSN Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IEICE-EID IDY SID-JC IEIJ-SSL IEE-EDD  
開催期間 2025-01-23 - 2025-01-24 
開催地(和) 静岡大学 浜松キャンパス 佐鳴会館 
開催地(英)  
テーマ(和) 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IDY 
会議コード 2025-01-EID-IDY-JC-SSL-EDD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 紫外発光ZnAl2O4薄膜の電気的および光学的特性の評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Evaluation of electrical and optical properties of ultraviolet emitting ZnAl2O4 thin film 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ZnAl2O4 / ZnAl2O4  
キーワード(2)(和/英) 薄膜 / Thin film  
キーワード(3)(和/英) 誘電率 / Permittivity  
キーワード(4)(和/英) ELデバイス / EL device  
キーワード(5)(和/英) 透過率 / Transmittance  
キーワード(6)(和/英) 屈折率 / Refractive index  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 竹舎 大智 / Daichi Takeya / タケヤ ダイチ
第1著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 保田 将希 / Masaki Yasuda / ヤスダ マサキ
第2著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 小南 裕子 / Hiroko Kominami / コミナミ ヒロコ
第3著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 原 和彦 / Kazuhiko Hara / ハラ カズヒコ
第4著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 大橋 雄二 / Yuji Ohashi / オオハシ ユウジ
第5著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 山路 晃広 / Akihiro Yamaji / ヤマジ アキヒロ
第6著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 黒澤 俊介 / Shunsuke Kurosawa / クロサワ シュンスケ
第7著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2025-01-23 14:25:00 
発表時間 5分 
申込先研究会 IDY 
資料番号 IDY2025-14 
巻番号(vol) vol.49 
号番号(no) no.1 
ページ範囲 pp.53-56 
ページ数
発行日 2025-01-16 (IDY) 


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