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講演抄録／キーワード
講演名 2026-03-13 15:00
［招待講演］動的ガス分離PVDシステムによる高移動度マルチレイヤーTFT
○武田悠二郎・マー ウェイチュン・リン ヨーロン・ルー エリオット（アプライドマテリアルズ台湾）・ファン デジュウ・キム ジャンバエ（アプライドマテリアルズ）・ヤン リン・ギルメイヤー ヨーガン（アプライドマテリアルズ台湾）・ハング ゼロ（アプライドマテリアルズ）・ベンダー マーカス（アプライドマテリアルズ有限合資会社）・チョイ スーヨン（アプライドマテリアルズ）
抄録 （和） 動的PVDシステムを用いた高移動度多層TFTを調査した。ガス分離ユニットにより、設置面積を大幅に増加させることなく同等のTFT性能を実現した。得られたTFTは26.2 cm²/V·sという高い電界効果移動度を示した。さらにプロセス最適化によりチャネル長を2μmまで短縮し、PBTSの信頼性を向上させ、ΔVth 0.8 Vを達成した。 
（英） We investigated high-mobility multilayer TFTs using the dynamic PVD system. The gas separation unit allows comparable TFT performance without a significant increase footprint. The resulting TFTs demonstrate a high field-effect mobility of 26.2 cm²/V·s. In addition, process optimizations enabled the reduction of the channel length to 2 μm, and improved PBTS reliability, with ΔVth 0.8 V.
キーワード （和） 高移動度 / 積層 / TFT / ダイナミックPVD / ガス分離 / / /  
（英） high mobility / multilayer / TFT / dynamic PVD / Gas separation / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 50, no. 10, IDY2026-31, pp. 24-28, 2026年3月.
資料番号 IDY2026-31 
発行日 2026-03-06 (IDY) 
ISSN Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IDY SID-JC  
開催期間 2026-03-13 - 2026-03-13 
開催地（和） オンライン（Zoom） 
開催地（英） online 
テーマ（和） ディスプレイ技術シンポジウム2026 
テーマ（英）  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IDY 
会議コード 2026-03-IDY-JC 
本文の言語 日本語 
タイトル（和） 動的ガス分離PVDシステムによる高移動度マルチレイヤーTFT 
サブタイトル（和）  
タイトル（英） Advanced High-Mobility Multilayer TFTs Using Dynamic PVD Gas Separation System 
サブタイトル（英）  
キーワード(1)（和/英） 高移動度 / high mobility  
キーワード(2)（和/英） 積層 / multilayer  
キーワード(3)（和/英） TFT / TFT  
キーワード(4)（和/英） ダイナミックPVD / dynamic PVD  
キーワード(5)（和/英） ガス分離 / Gas separation  
キーワード(6)（和/英） /  
キーワード(7)（和/英） /  
キーワード(8)（和/英） /  
第1著者 氏名（和/英/ヨミ） 武田 悠二郎 / Yujiro Takeda / タケダ ユウジロウ
第1著者 所属（和/英） アプライドマテリアルズ台湾 (略称： アプライドマテリアルズ台湾)
Applied Materials Taiwan (略称： Applied Materials Taiwan)
第2著者 氏名（和/英/ヨミ） マー ウェイチュン / Wei-Chun Ma / マー ウェイチュン
第2著者 所属（和/英） アプライドマテリアルズ台湾 (略称： アプライドマテリアルズ台湾)
Applied Materials Taiwan (略称： Applied Materials Taiwan)
第3著者 氏名（和/英/ヨミ） リン ヨーロン / You-Ron Lin / リン ヨーロン
第3著者 所属（和/英） アプライドマテリアルズ台湾 (略称： アプライドマテリアルズ台湾)
Applied Materials Taiwan (略称： Applied Materials Taiwan)
第4著者 氏名（和/英/ヨミ） ルー エリオット / Elliot Lu / ルー エリオット
第4著者 所属（和/英） アプライドマテリアルズ台湾 (略称： アプライドマテリアルズ台湾)
Applied Materials Taiwan (略称： Applied Materials Taiwan)
第5著者 氏名（和/英/ヨミ） ファン デジュウ / Dejiu Fan / ファン デジュウ
第5著者 所属（和/英） アプライドマテリアルズ (略称： アプライドマテリアルズ)
Applied Materials, Inc. (略称： Applied Materials)
第6著者 氏名（和/英/ヨミ） キム ジャンバエ / Jung Bae Kim / キム ジャンバエ
第6著者 所属（和/英） アプライドマテリアルズ (略称： アプライドマテリアルズ)
Applied Materials, Inc. (略称： Applied Materials)
第7著者 氏名（和/英/ヨミ） ヤン リン / Lynn Yang / ヤン リン
第7著者 所属（和/英） アプライドマテリアルズ台湾 (略称： アプライドマテリアルズ台湾)
Applied Materials Taiwan (略称： Applied Materials Taiwan)
第8著者 氏名（和/英/ヨミ） ギルメイヤー ヨーガン / Juergen Grillmayer / ギルメイヤー ヨーガン
第8著者 所属（和/英） アプライドマテリアルズ台湾 (略称： アプライドマテリアルズ台湾)
Applied Materials Taiwan (略称： Applied Materials Taiwan)
第9著者 氏名（和/英/ヨミ） ハング ゼロ / Zero Hung / ハング ゼロ
第9著者 所属（和/英） アプライドマテリアルズ (略称： アプライドマテリアルズ)
Applied Materials, Inc. (略称： Applied Materials)
第10著者 氏名（和/英/ヨミ） ベンダー マーカス / Marcus Bender / ベンダー マーカス
第10著者 所属（和/英） アプライドマテリアルズ有限合資会社 (略称： アプライドマテリアルズ有限合資会社)
Applied Materials GmbH & Co. KG (略称： Applied Materials GmbH & Co. KG)
第11著者 氏名（和/英/ヨミ） チョイ スーヨン / Soo Young Choi / チョイ スーヨン
第11著者 所属（和/英） アプライドマテリアルズ (略称： アプライドマテリアルズ)
Applied Materials, Inc. (略称： Applied Materials)
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講演者 第1著者 
発表日時 2026-03-13 15:00:00 
発表時間 20分 
申込先研究会 IDY 
資料番号 IDY2026-31 
巻番号（vol） vol.50 
号番号（no） no.10 
ページ範囲 pp.24-28 
ページ数 5 
発行日 2026-03-06 (IDY) 

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