| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2010-09-27 16:30
RTN測定の高精度・高速化技術とRTN特性に強い影響度を示すプロセス条件
○阿部健一・寺本章伸・須川成利・大見忠弘（東北大） |
| 抄録 |
（和） |
先進CMOSイメージセンサにおける課題のひとつとなっているRandom Telegraph Noise（RTN）について物理的な側面から現象を解析し，その低減を図ることが強く求められている．本報告ではCMOSイメージセンサ回路に基づいたアレイ型の大規模テスト回路を用い，RTNの時定数・振幅を高精度・高速に測定する新たな手法を提案し，RTN特性に対して強い影響度を示したプロセス条件について解析検討した結果について述べる． |
| （英） |
Physical analysis and reduction of random telegraph noise (RTN), which has become a major problem on advanced CMOS image sensor, are strongly required. This report proposes a new method to measure time constants and amplitudes of RTN with high precision and high speed by a large arrayed DUT test circuit based on CMOS image sensor technology. Moreover, we demonstrate some results from analysis of manufacturing process conditions which have strong effects on RTN characteristics. |
| キーワード |
（和） |
MOSFET / Random Telegraph Noise (RTN) / CMOSイメージセンサ / テスト回路 / / / / |
| （英） |
MOSFET / Random Telegraph Noise (RTN) / CMOS image sensor / test circuit / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 34, no. 38, IST2010-47, pp. 29-32, 2010年9月. |
| 資料番号 |
IST2010-47 |
| 発行日 |
2010-09-20 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 |
| PDFダウンロード |
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| 研究会情報 |
| 研究会 |
IST |
| 開催期間 |
2010-09-27 - 2010-09-27 |
| 開催地（和） |
機械振興会館 |
| 開催地（英） |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） |
特別企画「CCD誕生40周年記念講演-黎明期-」 携帯電話用カメラ，デジタルスチルカメラ，ビデオカメラ(ハイビジョン)とそのためのイメージセンサ，モジュール |
| テーマ（英） |
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| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
IST |
| 会議コード |
2010-09-IST |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
RTN測定の高精度・高速化技術とRTN特性に強い影響度を示すプロセス条件 |
| サブタイトル（和） |
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| タイトル（英） |
Techniques for high accurate and fast measurement of RTN and fabrication process conditions having a strong influence on RTN characteristics |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
MOSFET / MOSFET |
| キーワード(2)（和/英） |
Random Telegraph Noise (RTN) / Random Telegraph Noise (RTN) |
| キーワード(3)（和/英） |
CMOSイメージセンサ / CMOS image sensor |
| キーワード(4)（和/英） |
テスト回路 / test circuit |
| キーワード(5)（和/英） |
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| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
阿部 健一 / Kenichi Abe / アベ ケンイチ |
| 第1著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ |
| 第2著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
| 第3著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi / オオミ タダヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第20著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第20著者 所属（和/英） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2010-09-27 16:30:00 |
| 発表時間 |
30分 |
| 申込先研究会 |
IST |
| 資料番号 |
IST2010-47 |
| 巻番号（vol） |
vol.34 |
| 号番号（no） |
no.38 |
| ページ範囲 |
pp.29-32 |
| ページ数 |
4 |
| 発行日 |
2010-09-20 (IST) |