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講演抄録/キーワード
講演名 2018-06-27 13:10
[ポスター講演]高紫外光感度・高飽和CMOSイメージセンサを用いたサブppmオーダのオゾン水対流のイメージング
村田真麻藤原康行青柳雄介黒田理人須川成利東北大
抄録 (和) 高紫外光感度・高飽和性能を有するCMOSイメージセンサを用いた紫外光吸光イメージングについて述べる.Si表面近傍に急峻なドーピングプロファイルをもつ高紫外光感度フォトダイオードを有し,高飽和を実現する1pFのLOFICを各画素に搭載したCMOSイメージセンサを開発した.設計,試作したイメージセンサが190-1000nmの広光波長帯域と8Me-の飽和電荷量,飽和近傍で約68dBのSNR (Signal to Noise Ratio) を有することを確認した.本イメージセンサを用い,光波長254nmの紫外光を照射し,サブppmオーダのオゾン水が超純水中を拡散・対流する様子をリアルタイムに撮影することに成功した. 
(英) This paper reports ultraviolet (UV) light spectral absorption imaging technology using a high UV light sensitivity and high saturation CMOS image sensor. The developed CMOS image sensor has photodiodes with surface high concentration layer with steep dopant profile for a high UV light sensitivity and 1pF Lateral Overflow Integration Capacitor (LOFIC) in each pixel for a high saturation. It has been designed, fabricated and tested. It exhibited a spectral response to a wide light waveband of 190-1000nm, a full well capacity of 8Me- and 68dB SNR around saturation. Using the image sensor, sub-ppm order ozonated water diffusion and convention in ultrapure water are visualized under 254nm ultraviolet light.
キーワード (和) 分光イメージング / 吸光分析 / 紫外光 / オゾン水 / 飽和電荷量 / CMOSイメージセンサ / /  
(英) Spectral imaging / Absorption analysis / Ultraviolet light / Ozonated water / Full well capacity / CMOS image sensor / /  
文献情報 映情学技報, vol. 42, no. 19, IST2018-34, pp. 13-16, 2018年6月.
資料番号 IST2018-34 
発行日 2018-06-20 (IST) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970

研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2018-06-27 - 2018-06-27 
開催地(和) 東京理大森戸記念館 
開催地(英) Tokyo Univ. Sci.-Morito-Kinenkan 
テーマ(和) 高機能イメージセンシングとその応用 
テーマ(英) Advanced Imaging systems and applications 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2018-06-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 高紫外光感度・高飽和CMOSイメージセンサを用いたサブppmオーダのオゾン水対流のイメージング 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Imaging of Sub-ppm Order Ozonated Water Convection Using High Ultraviolet Light Sensitivity and High Saturation CMOS Image Sensor 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 分光イメージング / Spectral imaging  
キーワード(2)(和/英) 吸光分析 / Absorption analysis  
キーワード(3)(和/英) 紫外光 / Ultraviolet light  
キーワード(4)(和/英) オゾン水 / Ozonated water  
キーワード(5)(和/英) 飽和電荷量 / Full well capacity  
キーワード(6)(和/英) CMOSイメージセンサ / CMOS image sensor  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 村田 真麻 / Maasa Murata / ムラタ マアサ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤原 康行 / Yasuyuki Fujihara / フジハラ ヤスユキ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 青柳 雄介 / Yusuke Aoyagi / アオヤギ ユウスケ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ
第5著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
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講演者
発表日時 2018-06-27 13:10:00 
発表時間 50 
申込先研究会 IST 
資料番号 ITE-IST2018-34 
巻番号(vol) ITE-42 
号番号(no) no.19 
ページ範囲 pp.13-16 
ページ数 ITE-4 
発行日 ITE-IST-2018-06-20 


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