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講演抄録/キーワード
講演名 2021-10-21 10:50
大判12µm画素と高解像度2.8µm画素の高精度近接容量CMOSイメージセンサ
須釜侑希渡部吉祥黒田理人山本将大後藤哲也東北大)・安田俊朗村上真一羽森 寛オー・エイチ・ティー)・栗山尚也ラピスセミコンダクタ)・須川成利東北大
抄録 (和) 本稿では,新たに開発した2つの高精度近接容量CMOS イメージセンサ,12 µmピッチ画素で1.68 $cm^2$の撮像面積を持つ大判のチップAと,2.8 µmピッチ画素で180万画素の高解像度なチップBについて報告する.これらのチップは,入力電圧20 Vで100 zF($10^{-19}$ F)以下,300 Vで10 zF($10^{-20}$ F)以下の容量検出精度を達成した.さらに,複数の入力パルス振幅を用いることで,最大120 dBのダイナミックレンジを達成した.作製したチップによる近接容量イメージングの撮影例も紹介する. 
(英) This paper presents newly developed two high-precision CMOS proximity capacitance image sensors: Chip A with 12 µm pitch pixels with a large detection area of 1.68 $cm^2$; Chip B with 2.8 µm pitch 1.8 M pixels for a higher resolution. Both fabricated chips achieved a capacitance detection precision of less than 100 zF ($10^{-19}$ F) at an input voltage of 20 V and less than 10 zF ($10^{-20}$ F) at 300 V due to the noise cancelling technique. Furthermore, by using multiple input pulse amplitudes, a capacitance detection dynamic range of 120 dB was achieved. The examples of capacitance imaging using the fabricated chips are also demonstrated.
キーワード (和) CMOS / 近接容量 / イメージセンサ / 高精度 / 大判 / 高解像度 / /  
(英) CMOS / Proximity Capacitance / Image Sensor / High Precision / Large Format / High Resolution / /  
文献情報 映情学技報, vol. 45, no. 30, IST2021-51, pp. 13-16, 2021年10月.
資料番号 IST2021-51 
発行日 2021-10-14 (IST) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2021-10-21 - 2021-10-21 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英)  
テーマ(和) イメージセンサおよび一般 
テーマ(英) Image Sensor , etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2021-10-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 大判12µm画素と高解像度2.8µm画素の高精度近接容量CMOSイメージセンサ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) High-precision CMOS Proximity Capacitance Image Sensors with Large-format 12 µm and High-resolution 2.8 µm Pixels 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) CMOS / CMOS  
キーワード(2)(和/英) 近接容量 / Proximity Capacitance  
キーワード(3)(和/英) イメージセンサ / Image Sensor  
キーワード(4)(和/英) 高精度 / High Precision  
キーワード(5)(和/英) 大判 / Large Format  
キーワード(6)(和/英) 高解像度 / High Resolution  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 須釜 侑希 / Yuki Sugama / スガマ ユウキ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡部 吉祥 / Yoshiaki Watanabe / ワタナベ ヨシアキ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 山本 将大 / Masahiro Yamamoto / ヤマモト マサヒロ
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 後藤 哲也 / Tetsuya Goto / ゴトウ テツヤ
第5著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 安田 俊朗 / Toshiro Yasuda / ヤスダ トシロウ
第6著者 所属(和/英) オー・エイチ・ティー株式会社 (略称: オー・エイチ・ティー)
OHT inc. (略称: OHT)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 村上 真一 / Shinichi Murakami / ムラカミ シンイチ
第7著者 所属(和/英) オー・エイチ・ティー株式会社 (略称: オー・エイチ・ティー)
OHT inc. (略称: OHT)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 羽森 寛 / Hiroshi Hamori / ハモリ ヒロシ
第8著者 所属(和/英) オー・エイチ・ティー株式会社 (略称: オー・エイチ・ティー)
OHT inc. (略称: OHT)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 栗山 尚也 / Naoya Kuriyama / クリヤマ ナオヤ
第9著者 所属(和/英) ラピスセミコンダクタ株式会社 (略称: ラピスセミコンダクタ)
LAPIS Semiconductor Co. Ltd. (略称: LAPIS Semiconductor)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ
第10著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
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講演者
発表日時 2021-10-21 10:50:00 
発表時間 20 
申込先研究会 IST 
資料番号 ITE-IST2021-51 
巻番号(vol) ITE-45 
号番号(no) no.30 
ページ範囲 pp.13-16 
ページ数 ITE-4 
発行日 ITE-IST-2021-10-14 


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