| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2021-10-21 14:00
TPD復調画素を用いた時間分解4タップイメージセンサに関する研究
○長江裕昭・大黒聖平・近藤啓太・安富啓太・香川景一郎・川人祥二（静岡大） |
| 抄録 |
（和） |
本稿では、Tapped Photo Diode(TPD)構造を用いた4タップ出力を持つ高速電荷変調画素を提案する。TPD構造は今まで基板と同電位としていた表面ピンニング層を分割し、電極として用いるという構造である。その構造より、今までのゲートを用いた構造では困難であった広開口と高速な電荷転送を同時に可能とする。実証試験に用いた試作機は0.11umCISプロセスによって製造されており、5.2um×5.2umという広開口でありながら開口中心で約60%の電位変調率を有し、また波長850nmの近赤外光に対して90%以上の変調コントラストを達成している。 |
| （英） |
In this paper, we propose a high-speed charge modulation pixel with four-tap output using a tapped photodiode (TPD) structure. In this structure, the surface pinning layer, which has the same potential as the substrate, is divided and used as an electrode. This structure enables both large aperture and high-speed carrier transfer, which have been difficult to achieve with conventional gate structures. The prototype used in the test is implemented by the 0.11um CIS process, and has a potential modulation ratio of about 60% at the center of the aperture despite a large aperture of 5.2um x 5.2um, and achieves a modulation contrast of over 90% for near-infrared light of 850nm wavelength.
Keyword TPD，large aperture，high-speed carrier transfer |
| キーワード |
（和） |
TPD / 広開口 / 高速転送 / / / / / |
| （英） |
TPD / large aperture / high-speed carrier transfer / / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 45, no. 30, IST2021-57, pp. 37-40, 2021年10月. |
| 資料番号 |
IST2021-57 |
| 発行日 |
2021-10-14 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
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