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講演抄録/キーワード
講演名 2022-03-28 09:55
3Dシーケンシャル技術を用いたCMOSイメージセンサー
中澤圭一・○山元純平森 茂貴岡本晋太郎清水暁人馬場公一藤井宣年上原睦雄平松克規熊野秀臣松本 晃財津光一郎大沼英寿田谷圭司平野智之岩元勇人ソニーセミコンダクタソリューションズ
抄録 (和) 我々はフォトダイオードと画素トランジスタの層を別々の基板に形成し積層した“2層トランジスタ画素積層型CMOSイメージセンサー”( 2-Layer Pixel )を開発した。この新構造イメージセンサーは、熱的な安定性を備えた接合技術と、ディープコンタクト技術を適用した3Dシーケンシャルプロセスインテグレーションを用いて製造した。本技術の適用により、アンプトランジスタのサイズ拡大に成功した。また画素ピッチが0.7µmで6753×4928画素の裏面照射型CMOSイメージセンサーを実際に構築し、画出しに成功した。 
(英) We developed a new structure of pixel transistors stacked over photodiode named “2-Layer Transistor Pixel Stacked CMOS Image Sensor” (2-Layer Pixel). It was fabricated by 3D sequential process integration with new process techniques, such as thermally stable wafer bonding and deep contacts. With this technology, we successfully increased AMP size and demonstrated backside-illuminated CMOS image sensor of 6752 x 4928 pixels at 0.7um pitch to prove its functionality and integrity.
キーワード (和) CIS / イメージセンサー / 3Dシーケンシャル / 2-Layer Pixel / / / /  
(英) / / / / / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 46, no. 14, IST2022-12, pp. 9-12, 2022年3月.
資料番号 IST2022-12 
発行日 2022-03-21 (IST) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893  Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2022-03-28 - 2022-03-28 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英)  
テーマ(和) 固体撮像技術および一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2022-03-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 3Dシーケンシャル技術を用いたCMOSイメージセンサー 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) 3D Sequential Process Integraton for CMOS Image Sensor 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) CIS /  
キーワード(2)(和/英) イメージセンサー /  
キーワード(3)(和/英) 3Dシーケンシャル /  
キーワード(4)(和/英) 2-Layer Pixel /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 中澤 圭一 / Keiichi Nakazawa / ナカザワ ケイイチ
第1著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 山元 純平 / Junpei Yamamoto / ヤマモト ジュンペイ
第2著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 森 茂貴 / Shigetaka Mori / モリ シゲタカ
第3著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 岡本 晋太郎 / Shintarou Okamoto / オカモト シンタロウ
第4著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 清水 暁人 / Akito Shimizu / シミズ アキト
第5著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 馬場 公一 / Koichi Baba / ババ コウイチ
第6著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤井 宣年 / Nobutoshi Fujii / フジイ ノブトシ
第7著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 上原 睦雄 / Mutsuo Uehara / ウエハラ ムツオ
第8著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 平松 克規 / Katsunori Hiramatsu / ヒラマツ カツノリ
第9著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 熊野 秀臣 / Hideomi Kumano / クマノ ヒデオミ
第10著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 松本 晃 / Akira Matsumoto / マツモト アキラ
第11著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) 財津 光一郎 / Kouichirou Zaitsu / ザイツ コウイチロウ
第12著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) 大沼 英寿 / Hidetoshi Ohnuma / オオヌマ ヒデトシ
第13著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) 田谷 圭司 / Keiji Tatani / タタニ ケイジ
第14著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) 平野 智之 / Tomoyuki Hirano / ヒラノ トモユキ
第15著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) 岩元 勇人 / Hayato Iwamoto / イワモト ハヤト
第16著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semconductor Solutions Corp.)
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
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講演者
発表日時 2022-03-28 09:55:00 
発表時間 30 
申込先研究会 IST 
資料番号 ITE-IST2022-12 
巻番号(vol) ITE-46 
号番号(no) no.14 
ページ範囲 pp.9-12 
ページ数 ITE-4 
発行日 ITE-IST-2022-03-21 


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